【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种离子源灯丝及其夹持装置，特别适合于半导体工艺设备中的离子注入机。
技术介绍
离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。随着半导体器件集成度越来越高，半导体工艺设备越来越复杂，对离子源的的束流要求也越来越高，因此对于离子源灯丝的要求也越来越高。对于注入工艺，低能量大束流的离子注入机是发展的方向，而适用于该类离子注入机的离子源需要产生宽带束或扁状带束。本专利技术正是基于应用该类离子源而设计。
技术实现思路
针对现有半导体工艺中离子注入机设备发展的要求，本专利技术设计一种用于离子注入机离子源的灯丝及其夹持装置。该装置涉及到一种用于离子源的特别灯丝，用于发射强电子，以激发电极产出大量电子。该装置亦涉及到一种夹持灯丝的的夹持装置，该装置包括灯丝联接杆和丝夹，其中丝夹设计采用特别的刀形状，用于夹持灯丝联接杆；灯丝两端嵌入灯丝联接杆中。该装置亦设计到一种电源输入带与丝夹的联接，其采用双螺栓联接。本专利技术有以下几个显著特点I.功能效果明显；2.结构简单，便于加工...
【技术保护点】
一种离子源灯丝极其夹持装置，特别适用于离子注入机用离子源。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作专利技术一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡宝富，彭立波，伍三忠，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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