本发明专利技术公开了一种用于离子注入机的离子源灯丝及其夹持装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明专利技术一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。该装置特征在于，采用特别的灯丝(1)安装于灯丝联接杆(2)上，并采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)；灯丝(1)的设计可以发射高强度电子，丝夹(5)可以牢固的固定灯丝联接杆(2)，并起到输送高压的作用。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种离子源灯丝及其夹持装置，特别适合于半导体工艺设备中的离子注入机。
技术介绍
离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。随着半导体器件集成度越来越高，半导体工艺设备越来越复杂，对离子源的的束流要求也越来越高，因此对于离子源灯丝的要求也越来越高。对于注入工艺，低能量大束流的离子注入机是发展的方向，而适用于该类离子注入机的离子源需要产生宽带束或扁状带束。本专利技术正是基于应用该类离子源而设计。
技术实现思路
针对现有半导体工艺中离子注入机设备发展的要求，本专利技术设计一种用于离子注入机离子源的灯丝及其夹持装置。该装置涉及到一种用于离子源的特别灯丝，用于发射强电子，以激发电极产出大量电子。该装置亦涉及到一种夹持灯丝的的夹持装置，该装置包括灯丝联接杆和丝夹，其中丝夹设计采用特别的刀形状，用于夹持灯丝联接杆；灯丝两端嵌入灯丝联接杆中。该装置亦设计到一种电源输入带与丝夹的联接，其采用双螺栓联接。本专利技术有以下几个显著特点I.功能效果明显；2.结构简单，便于加工制造；附图说明图I是一种用于离子源灯丝及其夹持装置组件的等轴测视图。图2是离子源灯丝的正视图。图3是丝夹的正视图。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步介绍，但不作为对本专利技术专利的限定。本专利技术公开了一种用于离子注入机的离子源的灯丝及其夹持装置，如图I所示，和离子注入机用离子源一起使用。该离子源可以产生宽带束或扁状带束。该装置为使其正常工作强电子流。该装置主要包括灯丝(I)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。如图I所示灯丝(I)嵌于灯丝联接杆(2)上；其中灯丝(I)采用迷宫式旋转对称结构，如图2所示，通过此种结构增加电流通过的长度，以使灯丝产生大量的电子。采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)，其中丝夹(5)采用刀形结构，如图2所示，这样的结构既可以牢固的夹持灯丝联接杆(2)，又有很好的导电性。石墨支撑板(3)安装在绝缘陶瓷座(4)上，用来支撑附属结构。绝缘陶瓷座(4)与丝夹(5)采用双螺栓联接，增加联接的紧固。其中，，绝缘陶瓷座(4)用于整个灯丝结构与其他装置的联接，并起到隔离高电压的作用。电源输入带￠)与丝夹(5)通过双螺栓联接，其中电源输入带(6)采用可变形金 属材料，易于和电源相接。本专利技术的特定实施例已对本专利技术的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。权利要求1.一种离子源灯丝极其夹持装置，特别适用于离子注入机用离子源。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作专利技术一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括灯丝(I)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。2.如权力要求I所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，采用特别的灯丝(I)安装于灯丝联接杆(2)上。3.如权力要求I所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)。4.如权力要求I所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，丝夹(5)与电源输入带(6)通过双螺栓联接。5.如权力要求2所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，离子源的灯丝(I)采用迷宫式旋转对称结构。6.如权力要求3所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，丝夹(5)采用刀形结构，既可以牢固的夹持灯丝联接杆(2)，又有很好的导电性。全文摘要本专利技术公开了一种用于离子注入机的离子源灯丝及其夹持装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作专利技术一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。该装置特征在于，采用特别的灯丝(1)安装于灯丝联接杆(2)上，并采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)；灯丝(1)的设计可以发射高强度电子，丝夹(5)可以牢固的固定灯丝联接杆(2)，并起到输送高压的作用。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。文档编号H01J37/08GK102956421SQ20111024113公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日专利技术者胡宝富, 彭立波, 伍三忠 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种离子源灯丝极其夹持装置，特别适用于离子注入机用离子源。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作专利技术一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡宝富，彭立波，伍三忠，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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