【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种离子源系统，特别是涉及一种热阴极离子源系统。
技术介绍
离子源系统为离子注入机中一个必不可少的组件。图I所示便为一种常见的热阴极离子源系统。如图I中由实线表示的组件所示，当该热阴极离子源系统为一三电极系统时，其将包括一等离子体电极I’、一抑制极2’以及一接地极3’，该等离子体电极I’处于较高的正电位(例如IOkV)，该抑制极2’处于较低的负电位(例如-IOkV)，该接地极3’则处于零电位。如图I中的全部组件所示，当该热阴极离子源系统为一四电极系统时，其除了上述的三个电极之外，在该等离子体电极I’与该抑制极2’之间还将具有一梯度电极4’(在 图I中以虚线表示)，该梯度电极4’相对于该等离子体电极I’而言处于更低的正电位。在现有的热阴极离子源系统中，上述的各个电极通常都需要利用复杂的机械电气设备来实现精确的移动或定位。而当注入任务较为稳定单一，例如在执行带状离子束对太阳能晶片的离子注入时，如果仍然利用上述的机械电气设备来移动或定位各个电极，则反而会导致控制方式的复杂化，此外还会引入较高的设备成本。另外，继续参考图1，由于上述的各个电极均是处在一真空...
【技术保护点】
一种热阴极离子源系统，其包括多个电极以及分别与该多个电极相应的多个馈通，每个馈通均包括一导通至相应的电极的第一导体，其特征在于，该多个电极之间采用绝缘材料相互固接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钱锋，陈炯，洪俊华，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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