一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和供电结构制造技术

本发明专利技术提供一种用于离子注入机的离子淋浴器灯丝装夹和通电结构，包括：铜连接片(1)和(2)，用于给灯丝(8)通电，灯丝座压块(3)和(4)，灯丝引线连接块(5)和(6)，灯丝座(7)，灯丝(8)，弧室板(9)，灯丝连接杆(10)和(11)，灯丝压套(12)和(13)，灯丝杆螺母(14)和(15)。其特征在于，灯丝杆螺母(14)和(15)穿过灯丝引线连接块(5)和(6)，通过螺纹与穿过灯丝座(7)的灯丝连接杆(10)和(11)相连，灯丝(8)的两端分别装夹在灯丝连接杆(10)和(11)里，并通过灯丝杆螺母(14)和(15)调节灯丝(8)装夹的位置和松紧度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种用于离子注入机的离子淋浴器灯丝装夹和供电结构。更进一歩的，本专利技术涉及一种结构简单可靠的离子淋浴器灯丝装夹通电结构。本专利技术涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
技术介绍
随着科学技术的发展，离子注入技术得到了越来越广泛的应用，而在离子注入过程中，离子淋浴器作为低能电子发射器，广泛的应用于中和离子注入机中晶片的电荷积累。中和注入过程中晶片上的积累电荷，对于离子注入エ艺来说，具有非常重要的作用。本专利技术提供了一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和通电结构，其结构简单可靠， 能有效装夹灯丝并为其供电。
技术实现思路
本专利技术涉及一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和通电结构。本专利技术所涉及的实施例包括以下结构件铜连接片⑴和(2)，用于给灯丝⑶通电，灯丝座压块(3)和(4)，灯丝引线连接块(5)和(6)，灯丝座(7)，灯丝(8)，弧室板(9)，灯丝连接杆(10)和(11)，灯丝压套(12)和(13)，灯丝杆螺母(14)和(15)所述铜连接片(I)和(2)，其一端和灯丝引线连接块(5)和(6)相连，另一端连接电源，从而给灯丝(8)的两端供电。所述灯丝杆螺母(14)和(15)穿过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于离子注入机的离子淋浴器灯丝装夹和通电结构，包括：铜连接片(1)和(2)，用于给灯丝(8)通电，灯丝座压块(3)和(4)，灯丝引线连接块(5)和(6)，灯丝座(7)，灯丝(8)，弧室板(9)，灯丝连接杆(10)和(11)，灯丝压套(12)和(13)，灯丝杆螺母(14)和(15)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓颖辉，唐景庭，彭立波，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：