【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于将防着板安装在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器内部的防着板支承部件以及具有该防着板支承部件的离子源。
技术介绍
在被称为等离子体CVD装置或PLAD的等离子体掺杂装置等等离子体处理装置、离子注入装置及离子束定向装置等离子束照射装置中，为了防止等离子体生成容器内壁受到腐蚀及高效地进行等离子体生成容器内的清洗，沿着等离子体生成容器内壁设置有如专利文献I的图3所示的、可装拆的衬里(也称为衬板、防着板)。专利文献I :日本专利公开公报特开平5-182623号(图3) 根据装置的运行情况，需要对防着板进行更换。例如，在使装置运行一定程度的期间之后，防着板上会附着堆积物。此外，由于等离子体生成容器内的热量，有时会使防着板产生热变形。如果任由这种状态而不管，会给装置的运行带来障碍，所以例如要定期地对防着板进行更换。防着板通常用螺栓固定在等离子体生成容器的内壁上。因此，在将防着板安装在等离子体生成容器的内壁上、或者将防着板从等离子体生成容器的内壁上拆下时，必须将固定防着板的螺栓全部安装上或者将固定防着板的螺栓全部拆下，这样的操作需要较...
【技术保护点】
一种防着板支承部件，配置在等离子体生成容器内，所述等离子体生成容器在等离子体处理装置及离子束照射装置中使用，所述防着板支承部件的特征在于，具有：主体部，至少一部分与所述等离子体生成容器的内壁抵接；以及端部，从所述主体部延伸设置，并且在将所述防着板支承部件组装在所述等离子体生成容器上时，所述端部从所述等离子体生成容器的内壁离开。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井内裕，土肥正二郎，谷井正博，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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