温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源，能提高将防着板向等离子体生成容器安装及将防着板从等离子体生成容器拆下时的工作效率。防着板支承部件(15)配置在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器(4)内，具有至...
该专利属于日新离子机器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。