本发明专利技术提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，所述狭缝电极应用于离子束照射装置的离子源和电子束照射装置的电子源之类的带电粒子束发生装置。
技术介绍
以往，利用具有多个狭缝状开ロ部的狭缝电极作为引出电极系统，所述引出电极系统从离子束照射装置的离子源引出离子束。这种狭缝电极能够防止开ロ部形 状因离子源运转时的热量而产生变形。专利文献1(日本专利公开公报特公平7-34358号(图2、图3))公开了这种狭缝电极的具体例子。专利文献I公开的电极包括电极框体，具有开ロ部；以及多根电极棒，大致等间隔地并列设置于该电极框体的开ロ部内。在各电极棒之间形成有狭缝状开ロ部。另外，各电极棒的端部不固定，并且各电极棒以能沿其长度方向移动的状态支承在电极框体上，以允许各电极棒的长度方向的热伸縮。此外，专利文献2 (日本专利公开公报特开平8-148106号(图2、图4 图6)也公开了与专利文献I相同的电极结构。其公开的狭缝电极中，矩形的电极支承框上设有多个穿杆孔，当这些孔中插入多根杆时，穿杆孔的終端部和杆长度方向的端部之间形成余量部(间隙)。所述狭缝电极的各杆之间形成有狭缝状开ロ部。在离子源或电子源的引出电极系统采用专利文献I或专利文献2所述的狭缝电极时，离子束或电子束会冲击形成狭缝状开ロ部的电极棒或杆，使电极棒或杆被加热到高温。另ー方面，尽管支承电极棒的构件没有被加热到电极棒那样的高温，但也在离子源或电子源运转时被加热到一定高的温度。因此，电极棒的支承构件也因热量而产生伸縮。尽管专利文献I和专利文献2中公开了允许电极棒或杆热伸缩的结构，却没有公开如何处理电极框体或电极支承框的热伸缩，所述电极框体和电极支承框是支承电极棒或杆的支承构件。如果电极棒的支承构件发生热变形，则狭缝状开ロ部的形状也会相应发生变形。伴随这种形状变化，狭缝状开ロ部的位置产生偏移。而且，这种狭缝状开ロ部的变形和位置偏移，随着狭缝电极的尺寸加大而逐渐増大。因此，专利文献I和专利文献2所公开的狭缝电极结构不能充分抑制电极的热应变，当电极棒的支承构件产生热变形时，不能引出需要的离子束或电子束。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开ロ部的形状难以产生热变形。本专利技术的狭缝电极包括电极框体，具有开ロ部；以及多个电极単元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于，各电极单元包括多根电极棒，并列设置在所述开ロ部内；以及ー组电极棒支承构件，隔着所述开ロ部支承各电极棒的长度方向的端部。如上所述，由于设置多组用于支承电极棒的电极棒支承构件，并将所述电极棒和所述电极棒支承构件作为电极单元安装在电极框体上，所以与现有的结构相比，可以减小狭缝状开ロ部的热变形量。此外，优选的是，所述电极単元配置成在各电极单元之间具有间隙。按照上述配置，能够在一定程度上允许电极单元的热伸縮。而且，优选的是，所述电极单元还包括盖体，所述盖体能装拆地安装在所述电极棒支承构件上，并且所述盖体覆盖所述电极棒长度方向的端部的上表面。按照上述结构，仅取下盖体即可以更换电极棒。因此，当仅需更换电极棒时，由于 不需要将电极単元一起更换，所以能够节约更换构件时的构件费用。此外，本专利技术的带电粒子束发生装置的特征在于，带电粒子束引出用的电极包括上述的狭缝电极。按照本专利技术，由于设置多组用于支承电极棒的电极棒支承构件，并将所述电极棒和所述电极棒支承构件作为电极单元安装在电极框体上，所以与现有的结构相比，能够减小狭缝状开ロ部的热变形量。附图说明图I表示本专利技术狭缝电极的一例，㈧为平面图，⑶为沿㈧记载的A-A线的断面图。图2是表示在电极框体上安装构成图I所示狭缝电极的多个电极单元的状态的立体图。图3表示本专利技术狭缝电极的另一例，㈧为平面图，⑶为沿㈧记载的B-B线的断面图。图4表示从图3的狭缝电极上拆除了盖体时的状态，㈧为平面图，⑶为沿(A)记载的C-C线的断面图。图5是表示在电极框体上安装构成图3所示狭缝电极的多个电极单元的状态的立体图。图6是表示本专利技术狭缝电极所使用的电极框体的变形例的立体图。附图标记说明I…狭缝电极2…电极框体3…开ロ部4…狭缝状开ロ部5…电极棒6…电极棒支承构件7…支承部8…螺钉10…盖体U…电极单元具体实施例方式在以下的实施方式中，各图中表示的X、Y、Z各轴垂直相交。图I中表示了本专利技术狭缝电极I的一例。如图I的(A)的平面图所示，所述狭缝电极I主要包括电极框体2，具有开ロ部3 ;以及多根电极棒5 (图I的(A)中绘有阴影线的构件)，配置在开ロ部3内。各电极棒5以其长度方向沿X方向的方式被支承在电极棒支承构件6上，所述电极棒支承构件6安装在电极框体2上，并且各电极棒5沿Y方向以大致相等间隔并列设置在开ロ部3内。在沿Y方向并列设置于开ロ部3内的各电极棒5之间，以及位于Y方向端部的各电极棒5和电极框体2之间，形成有狭缝状开ロ部4。 图I的⑶中表示了沿图I的(A)记载的A-A线的断面的状态。电极棒支承构件6以沿X方向隔着开ロ部3的方式，通过螺钉8被安装在电极框体2上，所述电极棒支承构件6具有支承部7，该支承部7用干支承电极棒5长度方向的端部。而且，电极棒5以在其长度方向上能移动的方式支承干支承部7内，按照这种结构，与以往相同，能够允许电极棒5的热伸縮。沿Y方向设置多组电极棒支承构件6，每组电极棒支承构件6都在X方向隔着开ロ部3而配置。并且，隔着开ロ部3配置的一组电极棒支承构件6和支承在电极棒支承构件6的支承部7上的多根电极棒5组合在一起，作为电极单元U安装在电极框体2上。图2表示了上述状态。如图2所示，各电极单元U (此处为三个单元)沿图示箭头的方向被搬送到电极框体2内，并安装在电极框体2上。如上所述，利用螺钉8进行所述安装。具体而言，在构成电极单元U的电极棒支承构件6的未图示的通孔中插入螺钉8，并使螺钉8与电极框体2上形成的螺钉孔9螺纹连接。而在更换构件时，可以通过拧松所述螺钉8，将电极単元U从电极框体2上取下。如图I的(A)所示，优选在XY平面中，各电极单元U之间以及各电极单元U和电极框体2之间设置有一定间隙。利用所述间隙，可以防止由电极框体2和电极单元U的热伸缩而引起的构件相互间的干扰。另外，当构成电极单元U的电极棒支承构件6的形状为长方形时，在短边方向(图I中的X方向)上产生的热伸缩小于长度方向(图I中的Y方向)的热伸縮。如果所述短边方向上的热伸缩小到可以忽略，则也可以仅在各电极单元U的长度方向形成所述间隙。采用将电极单元U安装在电极框体2上的结构，在构件的更换作业方面也存在优势。专利文献I和专利文献2的结构中，需要一根一根更换电极棒或杆。此外，专利文献I的另ー结构中，需要分割电极框体以取下电极棒。而采用本专利技术的结构可以更换单个电极単元U。因此，可以在短时间内一次更换多根电极棒，并且更换作业更为简単。图3表示了本专利技术狭缝电极I的另一例。图3的(A)为平面图，图3的⑶表示了沿图3的(A)记载的B-B线的断面的状态。所述例示中，盖体10安装在电极棒支承构件6上，并且所述盖体10配置成覆盖电极棒5长度方向的端部上表面。这一点与图I的例示不同。以下详细说明所述不同点，对与图I的例示相同的组成部分，省略了说明。如图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.17 JP 2011-0586711.一种狭缝电极，包括 电极框体，具有开口部；以及 多个电极单元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于， 各电极单元包括多根电极棒，并列设置在所述开口部内；以及一组电极棒支承构件，隔着所述开口部支承各电极棒的长度方向的端部。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：井内裕，土肥正二郎，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。