基板固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板固定装置，其能够实现马达的小型化，并且能够精密地控制基板相对于离子束的倾斜。本发明专利技术的基板固定装置具备：固定架，其固定被照射离子束的基板；以及驱动机构，其使固定架绕规定的轴旋转，来改变所固定的基板相对于离子束的倾斜；驱动机构具备：动力源，其输出使固定架旋转的动力；减速器，其设置于从动力源到固定架的动力传递路径的中途；第一轴部件，其通过从减速器输出的动力而与固定架一起旋转；第一检测器，其检测第一轴部件的旋转动作；以及动力控制部，其基于第一检测器的检测值控制动力源。器的检测值控制动力源。器的检测值控制动力源。

【技术实现步骤摘要】
基板固定装置


[0001]本专利技术涉及基板固定装置，其固定被离子束照射的基板。

技术介绍

[0002]作为这种基板固定装置，如专利文献1所示，有一种基板固定装置，其具有固定被离子束照射的基板的固定架、和通过使该固定架旋转来改变固定于固定架的基板相对于离子束的倾斜的驱动机构。
[0003]该驱动机构构成为，将所谓的直接驱动马达(以下，也称为DD马达)与固定架直接连结，通过控制该DD马达，能够精密地控制基板的倾斜。
[0004]然而，若为了使固定架旋转而输出高转矩，则会导致DD马达的大型化、高成本化。然而，若为了实现马达的小型化而使用减速器，则由于齿轮的磨损、齿隙(backlash)等，难以精密地控制基板的倾斜。
[0005][先前技术文献][0006][专利文献][0007][专利文献1]日本特开2004
‑
095434号公报。

技术实现思路

[0008][专利技术所要解决的问题][0009]因此，本专利技术是为了一举解决上述问题而完成的，其主要课题在于实现马达的小型化，并且能够精密地控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板固定装置，具备：固定架，其固定被离子束照射的基板；以及驱动机构，其使所述固定架绕规定的轴旋转，来改变所固定的基板相对于所述离子束的倾斜，其中，所述驱动机构具备：动力源，其输出使所述固定架旋转的动力；减速器，其设置于从所述动力源到所述固定架的动力传递路径的中途；第一轴部件，其通过从所述减速器输出的动力而与所述固定架一起旋转；第一检测器，其检测所述第一轴部件的旋转动作；以及动力控制部，其基于所述第一检测器的检测值来控制所述动力源。2.根据权利要求1所述的基板固定装置，其还具备介于所述动力源与所述第一轴部件之间的多个传递齿轮。3.根据权利要求2所述的基板固定装置，其中，与一个所述传递齿轮连接且介于该一个传递齿轮及所述固定架之间的轴部件、和与不同于所述一个传...

【专利技术属性】
技术研发人员：大槻佑介，小野田正敏，西村一平，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：