用于样品转移的方法和系统技术方案

可以使用样品转移系统在带电粒子仪器之间或在带电粒子仪器和手套箱之间转移气敏样品。所述样品转移系统包括用于接收样品载体的转移梭和可拆卸地联接到所述转移梭的转移杆。所述转移杆将所述样品载体移动进或移动出所述转移梭。述转移梭。述转移梭。

【技术实现步骤摘要】
用于样品转移的方法和系统

技术介绍

[0001]带电粒子显微术是一种众所周知且日益重要的用于成像和分析微观物体的技术。在涉及带电粒子显微镜的工作流程期间，样品可能需要在用于成像、处理、操纵和/或存储的多个工具之间转移。一些样品（例如电池样品）可能是气敏的，因此必须在真空或惰性气体环境中转移。申请人认识到，目前的样品转移系统体积庞大，难以操作，并且可能需要工具修改。

技术实现思路

[0002]在一个实施例中，一种用于将样品载体转移进或转移出真空室的样品转移系统包含：转移梭，该转移梭包括用于接收所述样品载体的梭室，以及转移杆，该转移杆可拆卸地联接到转移梭，其中可通过操作转移杆而将样品载体转移进或转移出梭室。
[0003]在另一实施例中，一种用于将样品转移到真空室中的方法包含：将转移梭的第一侧附接到固定在真空室的壁上的样品装载器，其中转移杆可拆卸地联接到转移梭的第二侧；向样品装载器提供真空；将转移梭的梭室与真空室流体连接；以及通过操作转移杆将样品载体从梭室转移到真空室中。
[0004]在又一实施例中，一种用于将样品转移出真空室的方法包含：将保持样品的样品载体机械地联接到转移梭的梭载体，其中将该梭载体锁定到与转移梭可拆卸地连接的转移杆；通过操作转移杆将样品载体从真空室转移到转移梭的梭室中；将梭室与样品装载器隔绝密封；以及将转移梭从真空室上拆下。
[0005]这样，可以在不接触空气的情况下，使用样品转移系统将气敏样品转移进和转移出真空室。在转移杆不附接到转移梭的情况下，可以通过仅将转移梭转移进或转移出手套箱而将样品转移进和转移出手套箱。在手套箱内，可以使用第二转移杆将样品转移进或转移出转移梭。由于转移梭的小轮廓，对于气敏样品的转移不需要手套箱的大前室。
[0006]应理解，提供以上概述是为了以简化的形式介绍在详细描述中另外描述的一些概念。其并非打算识别所要求保护主题的关键或必需特征，所要求保护主题的范围唯一地由实施方式之后的权利要求书来界定。此外，所要求保护主题并不限于解决上文或在本公开的任何部分中指出的任何缺点的实施方案。
附图说明
[0007]图1示出了带电粒子显微镜的实例。
[0008]图2A和图2B绘示了使用用于在工具之间转移气敏样品的样品转移系统。
[0009]图3示出了样品转移系统的实例，其中转移梭与样品装载器和转移杆未联接。
[0010]图4示出了样品转移系统，其中转移梭与样品装载器和转移杆联接。
[0011]图5A示出了转移梭。
[0012]图5B示出了转移杆。
[0013]图6A和图6B示出了从不同视角观察的样品转移系统的另一实例。
[0014]图7示出了转移杆的远端。
[0015]图8A是联接到转移杆上的转移梭的截面图。
[0016]图8B是与图8A相同的截面图，仅示出了转移梭。
[0017]图8C是联接到转移杆的转移梭的另一截面图。
[0018]图9是联接到转移杆的转移梭的另一截面图。
[0019]图10是联接到转移杆和样品装载器两者的转移梭的截面图。
[0020]图11A和11B是转移梭的两个截面图。
[0021]图12A、12B、12C和12D示出了转移杆的不同位置。
[0022]图13示出了一种用于将样品转移到带电粒子显微镜的方法。
[0023]图14示出了一种用于将样品从带电粒子显微镜转移到样品转移系统的方法。
[0024]图15示出了一种用于将样品从样品转移系统转移到手套箱的方法。
[0025]贯穿图式的若干视图，相同的附图标记指代对应部分。
具体实施方式
[0026]以下描述涉及用于将一个或多个样品转移进或转移出真空室的系统和方法。样品转移系统可用于在工具之间转移一个或多个样品，例如，在不同的带电粒子仪器之间或在带电粒子仪器和手套箱之间。带电粒子仪器可以是带电粒子显微镜或带电粒子处理装置。带电粒子仪器可以对样品进行成像和/或处理。在整个样品转移过程期间，样品与外部环境隔绝密封。这样，气敏样品，例如电池样品，在样品转移期间不被氧化。通过操作转移杆，例如通过沿转移杆滑动转移柱，可以将样品移动进或移动出转移系统。转移杆需要足够长以便将样品转移到真空室中的样品台上。在传统的样品转移系统中，转移杆永久地附接到转移系统的其余部分。申请人认识到，长的转移杆使得整个转移系统笨重且难以操纵。进一步地，转移杆增加了转移系统的整体轮廓，因此需要大前室用于将转移系统移动到手套箱中。
[0027]为了解决上述问题，本文提出了一种包括转移梭和可拆卸转移杆的样品转移系统。转移杆附接到转移梭，用于将样品移动进或移动出转移梭。当样品被安全地对接或锁定在梭室内部并且梭室被隔绝密封时，转移杆可以从转移梭上拆下/移除。梭室内的样品可以保持在真空或惰性气体环境中。在转移杆不附接到转移梭的情况下，样品也可以临时存储在转移梭的梭室中。在转移杆没有附接到转移梭的情况下，可以将保持气敏样品的转移梭移动到手套箱中。因此，与用于样品转移的传统转移系统相比，需要较小的前室。在手套箱内，可以使用第二转移杆将样品移动进或移动出转移梭。第二转移杆可以比用于将样品转移到带电粒子显微镜的转移杆短。
[0028]在一个实例中，转移梭包括由转移梭的壁封闭的梭室。梭室包括通过梭阀与外部环境隔绝密封的开口。梭室的第一侧可以通过开口与固定到真空室的壁上的样品装载器流体连接。梭室的相对的第二侧可以可拆卸地联接到转移杆上。梭载体可以与样品载体可拆卸地联接，用于保持一个或多个样品。在一些实例中，梭室内的气体压力可以用联接到转移梭的壁的压力传感器来监测。
[0029]在一个实例中，转移杆包括相对于圆柱形壳体可移动地滑动的转移柱。转移柱可以同轴地定位在沿转移杆的纵轴延伸的壳体内。转移柱包括远端和近端。通过操作转移柱近端的开关，转移柱的远端可以锁定到转移梭的梭载体上。通过沿转移杆的纵轴相对于壳
体滑动转移柱，可以将梭载体与锁定到梭载体上的样品载体一起移动进或移动出梭室。通过相对于壳体旋转转移柱，转移载体可以锁定到转移梭的壁上。当转移梭与转移杆和样品装载器两者联接时，转移柱的远端通过通道与样品装载器流体连接，绕过梭室。通道的至少一部分可以嵌入在转移梭的壁内部。通过将转移柱的远端与样品装载器流体连接，围绕转移柱的远端的任何残留空气可以通过通道被抽吸到样品装载器。
[0030]在一个实施例中，一种用于将样品转移到真空室中的方法包含：将转移梭的第一侧附接到固定在真空室的壁上的样品装载器，其中转移杆可拆卸地联接到转移梭的第二侧；向样品装载器提供真空；将转移梭的梭室与真空室流体连接；以及通过操作转移杆将样品载体从梭室转移到真空室中。当向样品装载器提供真空时，转移杆的远端与样品装载器流体连接，同时转移梭的梭室与样品装载器隔绝密封。样品装载器和转移杆的远端之间的流体连接通过形成在转移杆的转移柱的远端和样品室之间的通道实现。如果样品在真空中存储在穿梭室中，则在转移柱的远端周围形成真空之后，梭室和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1. 一种用于将样品载体转移进或转移出真空室的样品转移系统，其包含：转移梭，所述转移梭包括用于接收所述样品载体的梭室；以及转移杆，所述转移杆可拆卸地联接到所述转移梭，其中能够通过操作所述转移杆而将所述样品载体转移进或转移出所述梭室。2.根据权利要求1所述的样品转移系统，其中能够将所述转移杆与所述梭室隔绝密封。3.根据权利要求2所述的样品转移系统，其中所述转移梭可拆卸地联接到固定在所述真空室的壁上的样品装载器，并且所述转移杆的远端能够与所述样品装载器流体连接，同时与所述梭室隔绝密封。4.根据权利要求3所述的样品转移系统，其中所述转移杆的所述远端能够通过通道与所述样品装载器流体连接，所述通道的至少一部分嵌入在所述转移梭的壁中。5.根据权利要求1所述的样品转移系统，其中所述转移杆包括转移柱和沿所述转移杆的纵轴延伸的壳体，并且操作所述转移杆包括相对于所述壳体滑动所述转移柱。6.根据权利要求5所述的样品转移系统，其中所述转移柱包括与所述转移梭的梭载体可拆卸地联接的远端，所述样品载体可拆卸地联接到所述梭载体。7.根据权利要求1至6中任一项所述的样品转移系统，其中所述真空室是带电粒子仪器的样品室。8.根据权利要求1至6中任一项所述的样品转移系统，其中所述样品转移系统进一步包括压力传感器，所述压力传感器用于监测所述梭室中的压力。9.根据权利要求1至6中任一项所述的样品转移系统，其中一个或多个样品定位在所述样品载体上，并且当所述一个或多个样品由所述样品载体保持时，在所述真空室中用带电粒子束照射所述一个或多个样品中的至少一个样品。10.一种用于将样品转移到真空室中的方法，其包含：将转移梭的第一侧附接到固定在所述真空室的壁上的样品装载器，其中转移杆可拆卸地联接到所述转移梭的第二侧；向所述样品装载器提供真空；将所述转移梭的梭室与所述真空室流体连接；以及通过操作所述转移杆将样品载体从所述梭室转移到所述真空室中。11.根据权利要求10所述的方法，其进一步包含：在向所述样品装载器提供真空之前，将所述转移杆的远端与所述样品装载器流体...

【专利技术属性】
技术研发人员：K，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：