FEI公司专利技术

FEI公司共有518项专利

  • 本发明公开了一种设备,该设备用于分别使第一样本夹持器在第一起始位置与第一终点位置之间移动并且使第二样本夹持器在第二起始位置与第二终点位置之间移动,该设备包括引导组件,该引导组件被配置为:将第一样本夹持器沿着第一路径从第一起始位置引导到第...
  • 本发明涉及一种用于降低带电粒子系统的功耗的方法,该带电粒子系统包括至少一个带电粒子光学元件和被配置用于冷却该至少一个带电粒子光学元件的冷却组件,该方法包括在待机模式下运行带电粒子系统的步骤,其中与在操作模式下运行带电粒子系统相比,带电粒...
  • 本文描述了用于从透射电子显微镜(TEM)柱转移样本的系统和方法。在一个方面中,一种方法可包括:将定位在TEM样本保持器的保持器封壳中的样本从TEM的真空腔室转移到该TEM的负载锁中;用保护气体填充该负载锁;在该保护气体下密封该TEM样本...
  • 自适应端点检测应用于利用动态和预定参数的组合对多层样品进行去层。在信号特性出现时,对波峰和波谷的回顾性评估可对端点进行重新分类,从而使得能够将端点精确映射到层。所描述的技术可与分析操作整合并且可跨越广泛范围的装置类型和制造过程而应用。
  • 带电粒子显微镜设备的应用程序管理。本文公开了科学仪器支持系统,以及相关的方法、计算设备和计算机可读介质。例如,在一些实施方案中,示例性方法可包括由位于楼宇处的第一设备并且经由网络并且从位于该楼宇外部的第二设备接收用于位于该楼宇处的带电粒...
  • 用于带电粒子显微镜成像的自动选择和模型训练。本文公开了CPM支持系统,以及相关方法、计算装置和计算机可读介质。例如,在一些实施方案中,一种方法可包括:基于指示显微镜学成像数据的区域的选择的选择数据来确定用于机器学习模型的训练数据。该方法...
  • 本发明涉及一种用于电子成像应用中的传感器保护的系统,该系统包括射束控制设备,该射束控制设备被配置为基于输入射束信号来提供射束信号,其中该射束信号包括改变的射束强度,其中该射束控制设备被进一步配置为接收控制信号并且基于该控制信号来激活。该...
  • 根据本发明的包括分裂多极的用于带电粒子柱的光学校正器模块包括至少一个分裂多极,该分裂多极由间隔距离小于10mm、1m、100μm和/或10μm的两个多极组成。各个多极中的每一个多极可包括至少两个电极,这两个电极被定位成部分地限定通过该多...
  • 本发明题为“带电粒子光学器件部件及其制造”。本发明涉及具有至少两个电极或如本领域通常已知的多极部件的电极部件。这些电极中的每个电极可设置有形成游离电极的束相邻区段或端部区段。该区段是暴露于高电压(即,大于10KV)的区段,并且仍然旨在关...
  • 本发明涉及用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的球面像差的紧凑型校正器,根据本公开,强六极被配置成当向其施加电压时产生强六极场,并且弱六极被定位在该强六极与样品之间。该强六极被定位成使得带电粒子系统的带电粒子束的交叉点不穿过该强六...
  • 本发明涉及一种用于带电粒子显微镜(诸如透射电子显微镜)中的样品架尖端;包括该样品架尖端的样品架以及使用该样品架尖端和样品架的方法。
  • 提供了一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法。该方法包括:提供带电粒子射束并在该样品的区域上扫描该射束;响应于在该样品的该区域上扫描的该带电粒子射束而检测来自该样品的光谱发射;以及识别第一多个基本类似的光谱发射。确定与该第一多个基本类似的...
  • 本发明公开了生产用于电子发射器的微棒的方法以及相关联的微棒和电子发射器。在一个示例中,一种生产用于电子发射器的微棒的方法包括:提供块状晶锭;从该块状晶锭移除第一板;减小该第一板的厚度以生产第二板;以及铣削该第二板以生产一个或多个微棒。在...
  • 本发明公开了,通过特别是在散焦CPB照明盘的边缘处扫描对准孔来确定带电粒子束(CPB)源位置的变化,该对准孔相对于CPB中的束限定孔是固定的。该对准孔可操作以将CPB部分传输到二次发射表面,该二次发射表面产生引导到闪烁体元件的二次发射。...
  • 本发明涉及为薄片样本制备自动选择感兴趣结构。本文公开的是科学仪器支持系统以及相关方法、计算设备和计算机可读介质。例如,在一些实施例中,为带电粒子显微镜提供支撑装置。支撑装置被配置为将自动图像处理应用于表示薄片样本的图像以将该图像分割成多...
  • 根据本发明的用于预对准样本以通过宽离子束(BIB)系统更有效地处理多个样本的系统和方法包括:将样本固定到样本保持器的可调整部分;将该样本保持器与具有第一掩模边缘的第一掩模嵌套,其中该第一掩模定位在BIB系统外部;以及对准该样本以使得其与...
  • 用于更有效地处理多个样本的宽离子束(BIB)系统。本发明公开了用于在样本制备工作流程中操作具有改进正常运行时间的宽离子束(BIB)抛光器的系统和方法。根据本发明的用于操作具有改进正常运行时间的宽离子束(BIB)抛光器的示例性方法包括:当...
  • 本发明公开了用于在样本制备工作流程中操作组合激光和宽离子束(BIB)抛光器的系统和方法。根据本发明的用于操作组合激光和宽离子束(BIB)抛光器的示例性方法包括:将样本定位在该组合BIB和激光样本制备系统的该内部体积内,致使该组合BIB和...
  • 本发明公开了用于通过BIB系统有效地处理多个样本的系统和方法。根据本发明的用于通过BIB系统有效地处理多个样本的示例性方法包括:从该BIB系统内的存储位置移除包含样本的单独样本保持器,其中该BIB系统包括定位在一个或多个存储位置中的多个...
  • 公开了用于容器盖的装置和方法,适用于用于透射电子显微镜样本或类似的轻或薄物体的薄片载体的可靠自动化处理和运输。一种用于容器的盖,该容器具有一个或多个可以通过容器的顶部表面触及的空腔。该盖可以包括具有平坦表面的刚性构件。附接到该刚性构件的...
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