【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、带电粒子显微镜法是众所周知且日益重要的用于对微观物体进行成像的技术，特别是呈电子显微镜法的形式。从历史上看，电子显微镜的基本类已经演变成许多众所周知的设备种类，如透射电子显微镜(tem)、扫描电子显微镜(sem)和扫描透射电子显微镜(stem)，以及各种子类，如所谓的“双束”工具(例如，fib-sem)，所述工具另外采用“机械加工”聚焦离子束(fib)，例如允许进行支持性活动，如离子束铣削或离子束诱导沉积(ibid)。更具体来说：
2、在sem中，扫描电子束对样品的照射促进“辅助”辐射例如以二次电子、背散射电子、x射线和光致发光(红外、可见光和/或紫外光子)的形式从样品发出；然后检测该发出辐射通量的一个或多个分量，并将其用于图像累积目的。
3、在tem中，用于照射样品的电子束被选择为具有足够高的能量以穿透样品(为此目的，样品通常将比在sem样品的情况中更薄)；然后，可使用从样品中发出的透射电子的通量来创建图像。当这种tem以扫描模式操作(因此成为stem)时，所讨论的图像将在照射电子束的扫描运动期
【技术保护点】
1.一种用于带电粒子显微镜中的样品架尖端，其中所述样品架尖端包括：-细长构件，所述细长构件具有近侧端部和远侧端部，其中用于以可释放方式接收样品的样品接收区设置在所述细长构件的所述远侧端部附近；和
2.根据权利要求1所述的样品架尖端，其中所述第一夹持臂的所述近侧端部以可移动方式连接到所述细长构件，并且所述第一夹持臂的所述远侧端部的至少一部分被构造成装配在所述样品接收区内并且当处于闭合位置时提供抵靠所述样品的周边的夹持力。
3.根据权利要求2所述的样品架尖端，其中所述第一夹持臂的所述远侧端部的至少一半被构造成装配在所述样品接收区内并且当处于闭合位置...
【技术特征摘要】
1.一种用于带电粒子显微镜中的样品架尖端，其中所述样品架尖端包括：-细长构件，所述细长构件具有近侧端部和远侧端部，其中用于以可释放方式接收样品的样品接收区设置在所述细长构件的所述远侧端部附近；和
2.根据权利要求1所述的样品架尖端，其中所述第一夹持臂的所述近侧端部以可移动方式连接到所述细长构件，并且所述第一夹持臂的所述远侧端部的至少一部分被构造成装配在所述样品接收区内并且当处于闭合位置时提供抵靠所述样品的周边的夹持力。
3.根据权利要求2所述的样品架尖端，其中所述第一夹持臂的所述远侧端部的至少一半被构造成装配在所述样品接收区内并且当处于闭合位置时提供抵靠所述样品的所述周边的夹持力。
4.根据前述权利要求中任一项所述的样品尖端，其中所述夹持机构还包括第二夹持臂，所述第二夹持臂以可移动方式连接在所述细长构件的所述近侧端部处。
5.根据权利要求4所述的样品尖端，其中所述第二夹持臂的所述远侧端部被构造成装配在所述样品接收区内并且当处于闭合位置时提供抵靠所述样品的所述周边的夹持力。
6.根据权利要求4或5所述的样品尖端，其中所述第二夹持臂定位在所述第一夹持臂内，并且当处于与所述第一夹持臂分开的闭合位置时提供抵靠所述样品的所述周边的夹持力。
7.根据前述权利要求中任一项所述的样品尖端，其中当所述第一夹持臂或所述第一夹持臂和所述第二夹持臂处于所述闭合位置时，所述第一夹持臂或所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的所述远侧端部在所述样品的整个周边上提供夹持力。
8.根据权利要求7所述的样品尖端，其中所述第一夹持臂提供抵靠所述样品的所述周边的约60％至约80％的夹持力，并且所述第二夹持臂提供抵靠所述样品的所述周边的约20％至约40％的夹持力。
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