【技术实现步骤摘要】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第二基础光谱数值不同于所述第一基础光谱数值，并且所述第二数目的区段中的每个区段的所述尺寸不同于所述第一数目的区段中的每个区段的所述尺寸。
4.根据权利要求1至3所述的方法，所述方法包括以下步骤：
5.根据权利要求1至4所述的方法，所述方法包括以下步骤：响应于在所述样品上扫描的所述射束而更新和/或修改至少一个区段。
6.一种用于检查样品的带电粒子显微镜，所述带电粒子显微镜包括：
【技术特征摘要】
1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第二基础光谱数值不同于所述第一基础光谱数值，并且所述第二数目的区段中的每个区段的所述尺寸不同于所述第一数目的区段中的每个区段...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·克卢塞克，P·赫拉文卡，M·瓦纳特卡，O·瓦维尔卡，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
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