本申请公开了一种扫描电镜用夹持转移装置，包括：穿通结构、连接杆、接头、载样台。穿通结构与空腔室的侧壁密封连接并设有中空部。连接杆轴向转动设置在中空部内，连接杆靠近空腔室的一端设有第一锁定结构。接头与穿通结构靠近空腔室的一端连接，接头上设有第一插接结构。载样台设置在空腔室内，载样台上设有与第一插接结构插接配合的第二插接结构、与第一锁定结构卡接配合的第二锁定结构以及用于固定样品的装样孔。本申请用于解决：在使用现有的扫描电镜用夹持转移装置对样品进行夹持转移时，存在密封性差和夹持转移装置无法及时与样品分离的技术问题。品分离的技术问题。品分离的技术问题。
【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜用夹持转移装置
[0001]本申请涉及扫描电镜
，具体涉及一种扫描电镜用夹持转移装置。
技术介绍
[0002]扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。
[0003]扫描电镜在真空腔内进行工作，需要通过夹持转移装置将样品转移至适当的位置，现有的扫描电镜用夹持转移装置存在以下问题：夹持转移装置的操作端设置在真空腔外部，在对样品进行夹持转移时容易导致外部空气进入真空腔内影响扫描电镜的工作效果；夹持转移装置在对样品进行位置转移后还与样品连接在一起，导致扫描电镜在对样品进行扫描时夹持转移装置会影响光束的照射，从而影响扫描效果。
技术实现思路
[0004]本申请要解决：在使用现有的扫描电镜用夹持转移装置对样品进行夹持转移时，存在密封性差和夹持转移装置无法及时与样品分离的技术问题。从而提供一种扫描电镜用夹持转移装置。
[0005]为解决上述技术问题，本申请的技术方案如下：一种扫描电镜用夹持转移装置，包括：
[0006]穿通结构，与空腔室的侧壁密封连接，设有中空部；
[0007]连接杆，轴向转动设置在所述中空部内，所述连接杆靠近空腔室的一端设有第一锁定结构；
[0008]接头，与所述穿通结构靠近空腔室的一端连接，所述接头上设有第一插接结构；
[0009]载样台，设置在空腔室内，设有与所述第一插接结构插接配合的第二插接结构、与所述第一锁定结构卡接配合的第二锁定结构以及用于固定样品的装样孔；
[0010]所述穿通结构适于沿轴向穿插移动并带动所述第一插接结构与所述第二插接结构插接配合或分离，所述连接杆适于带动所述第一锁定结构轴向转动并与所述第二锁定结构处于卡接或松卸状态，从而实现所述载样台与所述穿通结构的连接或分离。
[0011]优选地，所述第一插接结构为导头或导孔，相应的，所述第二插接结构为导孔或导头，所述导头与所述导孔相对设置。
[0012]优选地，所述穿通结构包括与空腔室侧壁密封连接的穿通板和穿设在所述穿通板上并连通空腔室内部和外部的穿通管，所述穿通管与所述穿通板的连接处设有密封件。
[0013]优选地，所述第一锁定结构为锁匙或锁扣，相应的，所述第二锁定结构为锁扣或锁
匙，所述锁扣朝向所述锁匙设置，所述锁扣包括两个相对设置的“L”型的卡件，两个所述卡件的开口相对设置，两个所述卡件中间围合成“T”型的卡接部，所述锁匙朝向所述锁扣的一端设有与所述卡接部卡接配合的“T”型卡块。
[0014]优选地，两个所述卡件分别设置在所述锁扣的斜对角上。
[0015]优选地，所述接头上沿轴向设有通孔，所述锁匙的所述卡块穿设在所述通孔外部。
[0016]优选地，所述锁匙外壁上沿周向设有两端不连通的限位槽，所述穿通管上固定设有位于所述限位槽内的限位件，所述限位件与所述限位槽的两端抵接时，所述锁匙和所述锁扣恰好对应为卡接或松卸状态。
[0017]优选地，所述锁匙的外壁上沿周向设有两端连通的密封槽，所述密封槽通过所述密封件与所述穿通管的内壁密封连接。
[0018]优选地，所述穿通管远离空腔室的一端固定连接有把手座，所述把手座上设有与所述穿通管轴向同向的限位孔，所述限位孔内滑动设有导向杆，所述导向杆的一端与所述穿通板连接。
[0019]优选地，所述把手座远离空腔室的一端轴向转动连接有把手，所述把手与所述连接杆连接。
[0020]本申请技术方案，具有如下优点：
[0021]1、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，设置了载样台以便于对样品进行固定。通过第一插接结构和第二插接结构的插接配合，以及第一锁定结构和第二锁定结构的卡接配合，使得接头和载样台实现固定连接后便于对载样台进行夹持转移，当完成对载样台的夹持转移后使第一锁定结构和第二锁定结构处于松卸状态，使第一插接结构和第二插接结构处于分离状态，再使接头远离载样台，从而避免扫描电镜在对样品进行扫描时接头或穿通结构过于靠近样品而影响光束照射的问题。此外，穿通结构通过密封件与空腔室的侧部连接，即使穿通结构与空腔室侧壁产生相对位移也不容易破坏空腔室的封闭性。本装置操作方便，结构设计合理，工作稳定性强，经济性高，适用于广泛推广应用。
[0022]2、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，“T”型的卡接部与“T”型卡块卡接后可以限制卡块与载样台发生轴向位移，再配合导头与导孔的插接夹持配合，使得接头与载样台的连接更稳固。当需要使卡块与卡接部处于松卸状态时，只需转动连接杆，连接杆带动卡块转动，当卡块与卡接部处于错位时即可切换为松卸状态，便于操作。相比于将两个卡件垂直或水平相对设置，将两个卡件设置在锁扣的斜对角上有助于提高卡块与卡接部卡接配合时的稳定性。
[0023]3、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，本装置结构紧凑，占用的空间小，在工作过程中密封可靠，可根据实际传递距离与位置需求改变穿通管、连接杆、锁匙等零部件的长度，适配性强，有助于广泛应用。
[0024]4、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，锁匙的卡块通过接头上的通孔再与卡件卡接，通孔对锁匙起到限位的作用，防止锁匙发生偏移，也有助于减小夹持转移装置占用空腔室的空间，提高了本装置的精密性。
[0025]5、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，限位槽和限位件的作用在于限制锁匙的转动区间，当限位件与限位槽的一端抵接时，卡块和卡件恰好处于卡接状态，当限位件与限位槽的另一端抵接时，卡块和卡件恰好处于松卸状态。设置了限位槽和限位件后可
以对卡块和卡件在卡接/松卸状态之间精确切换。
[0026]6、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，在锁匙的外壁上设置了密封槽，密封槽通过密封件与穿通管的内壁密封连接，当锁匙在穿通管内发生转动时锁匙和穿通管之间依旧能保持良好的密封性。
[0027]7、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，限位孔和导向杆的作用在于限制穿通管只能沿轴向移动，防止穿通管发生偏移，防止导头与导孔无法对齐，防止锁匙与锁扣无法对齐，提高了本装置使用时的精确度和稳定性。
[0028]8、在本申请提供的扫描电镜用夹持转移装置中，设置了把手座和把手，通过把手座控制穿通管的轴向移动，通过把手控制连接杆的转向转动，便于对本装置进行操作。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜用夹持转移装置，其特征在于，包括：穿通结构，与空腔室(1)的侧壁密封连接，设有中空部；连接杆(16)，轴向转动设置在所述中空部内，所述连接杆(16)靠近空腔室(1)的一端设有第一锁定结构；接头(3)，与所述穿通结构靠近空腔室(1)的一端连接，所述接头(3)上设有第一插接结构；载样台(2)，设置在空腔室(1)内，设有与所述第一插接结构插接配合的第二插接结构、与所述第一锁定结构卡接配合的第二锁定结构以及用于固定样品的装样孔(18)；所述穿通结构适于沿轴向穿插移动并带动所述第一插接结构与所述第二插接结构插接配合或分离，所述连接杆适于带动所述第一锁定结构轴向转动并与所述第二锁定结构处于卡接或松卸状态，从而实现所述载样台(2)与所述穿通结构的连接或分离。2.根据权利要求1所述的扫描电镜用夹持转移装置，其特征在于，所述第一插接结构为导头(9)或导孔(19)，相应的，所述第二插接结构为导孔(19)或导头(9)，所述导头(9)与所述导孔(19)相对设置。3.根据权利要求1所述的扫描电镜用夹持转移装置，其特征在于，所述穿通结构包括与空腔室(1)侧壁密封连接的穿通板(10)和穿设在所述穿通板(10)上并连通空腔室(1)内部和外部的穿通管(4)，所述穿通管(4)与所述穿通板(10)的连接处设有密封件(11)。4.根据权利要求3所述的扫描电镜用夹持转移装置，其特征在于，所述第一锁定结构为锁匙(12)或锁扣(20)，相应的，所述第二锁定结构为锁扣(20)或锁匙(12)，所述锁扣(20)朝向所述锁匙(12)设置，所述锁扣(20)包括两个相对设置的“L”型的卡件(21)，两个所述卡件(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘其武，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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