【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及参数测量，具体涉及一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质。
技术介绍
1、扫描电镜是电子光学研究过程中常用的仪器，由于扫描电镜图像的分辨率高达纳米级，在新材料、新能源等研究领域，扫描电镜发挥着无法替代的作用。为了使得扫描电镜样品室保持高真空状态，常常在扫描电镜上设置分子泵，分子泵抽取扫描电镜样品室的的空气，使其保持真空状态。在扫描电镜使用过程中，分子泵会产生微振动，为了及时了解分子泵的运行状态，需要对分子泵的微振动物理量进行测量。
2、在现有技术中，常常采用速度传感器、加速度传感器以及位移传感器等器件对分子泵的速度、加速度以及位移等微振动物理量进行测量。然而，在实际测量过程中，传感器等电子器件易受到电磁干扰，进而影响测量结果的准确性。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质，以解决现有技术中采用传感器等电子器件进行测量，因易受电磁干扰，导致测量结果准确性低的问题。
2、第一方面，本专利技术提供了一种分子泵微振动测量方法，该方法包括：
3、获取相干双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号；
4、将散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形；
5、基于多普勒时域波形利用快速傅里叶变换以及短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数。
6、本专利技术通过采集双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号表征分子泵微振动信号，对散射光信号进行信
7、在一种可选的实施方式中，将散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形，包括：
8、将散射光信号转换为模拟信号，再将模拟信号转换为多普勒时域波形。
9、本专利技术通过将散射光信号进行数模转换，以便于对散射光信号进行分析，并提取转换后的数字信号中的多普勒信息的时域波形，以便于根据多普勒时域波形实现分子泵微振动的测量。
10、在一种可选的实施方式中，微振动测量参数包括振动频率，基于多普勒时域波形利用快速傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，包括：
11、将多普勒时域波形进行快速傅里叶变换，得到分子泵的多普勒微振动频谱；
12、对多普勒微振动频谱进行细化与校正处理，从细化与校正处理后的多普勒微振动频谱中提取分子泵振动频率。
13、本专利技术通过对多普勒时域波形进行快速傅里叶变换，以将多普勒时域波形从时域转换为频域，从而得到多普勒微振动频谱，通过对多普勒微振动频谱进行细化校正处理，进而从细化与校正处理后的多普勒微振动频谱中提取分子泵振动频率，以减小频率误差，提高频率分辨率，提高振动频率的准确性。
14、在一种可选的实施方式中，微振动测量参数还包括振动速度，基于多普勒时域波形利用短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，还包括：
15、将多普勒时域波形进行短时傅里叶变换，得到分子泵微振动的多普勒时频图；
16、利用激光多普勒效应，根据所述多普勒时频图计算分子泵的振动速度。
17、本专利技术通过对多普勒时域波形进行短时傅里叶变换，得到多普勒时域波形的时频图，从时频图中提取分子泵微振动多普勒频移量，根据多普勒效应利用分子泵微振动频移量计算振动速度，以实现对分子泵微振动参数的测量。
18、在一种可选的实施方式中，按照如下公式计算振动速度，包括：
19、
20、其中，υd为分子泵微振动的多普勒频移量，vx为分子泵的振动速度，θ为光与光轴的夹角角度，λ为双光束的波长。
21、本专利技术通过双光束在分子泵表面发生干涉的原理计算振动速度，以进一步提高振动速度结果的准确性。
22、第二方面，本专利技术提供了一种分子泵微振动测量系统，该系统包括目标激光器、分束器、光电探测器以及计算机设备，其中：
23、目标激光器发射的激光通过分束器形成相干双光束，相干双光束照射在分子泵表面发生干涉后产生散射光信号；
24、光电探测器用于将采集到的分子泵表面产生的散射光信号；
25、计算机设备和光电探测器连接，用于将散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形，基于多普勒时域波形利用快速傅里叶变换以及短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数。
26、本专利技术通过分束器将目标激光器发射的激光分为相干双光束，以形成相干双光束，通过光电探测器采集相干双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号，通过计算机设备对散射光信号进行信号转换，对信号转换后的多普勒时域波形进行傅里叶变换，以计算分子泵的微振动测量参数，从而实现分子泵微振动的测量，无需采用接触式测量器件对微振动物理量进行测量，对分子泵本身微振动不产生影响，不受电磁干扰，提高分子泵微振动测量结果的准确性。
27、第三方面，本专利技术提供了一种分子泵微振动测量装置，该装置包括：
28、获取模块，用于获取相干双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号；
29、信号转换模块，用于将散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形；
30、计算模块，用于基于多普勒时域波形利用快速傅里叶变换以及短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数。
31、第四方面，本专利技术提供了一种计算机设备，包括：存储器和处理器，存储器和处理器之间互相通信连接，存储器中存储有计算机指令，处理器通过执行计算机指令，从而执行上述第一方面或其对应的任一实施方式的分子泵微振动测量方法。
32、第五方面，本专利技术提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机指令，计算机指令用于使计算机执行上述第一方面或其对应的任一实施方式的分子泵微振动测量方法。
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1.一种分子泵微振动测量方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数包括振动频率，基于所述多普勒时域波形利用快速傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数还包括振动速度，基于所述多普勒时域波形利用短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，按照如下公式计算分子泵的振动速度，包括：
6.一种分子泵微振动测量系统，其特征在于，所述系统包括目标激光器、分束器、光电探测器以及计算机设备，其中，
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括数字示波器，所述数字示波器和所述光电探测器连接，用于将光电探测器采集到的散射光信号转换为模拟信号。
8.一种分子泵微振动测量装置，其特征在于，所述装置包括：
9.一种计算机设备，其特征
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机指令，所述计算机指令用于使计算机执行权利要求1至5中任一项所述的分子泵微振动测量方法。
...【技术特征摘要】
1.一种分子泵微振动测量方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数包括振动频率，基于所述多普勒时域波形利用快速傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数还包括振动速度，基于所述多普勒时域波形利用短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，按照如下公式计算分子泵的振动速度，包...
【专利技术属性】
技术研发人员：李赫奕，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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