一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及参数测量领域，公开了一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质，该方法包括：获取相干双光束在分子泵表面发生干涉后产生散射光信号；将散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形；将多普勒时域波形进行快速傅里叶变换以及短时傅里叶变换得到分子泵的微振动测量参数，本发明专利技术采集双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号，对散射光信号进行信号转换，对信号转换后得到的多普勒时域波形进行数据处理，以计算分子泵的微振动测量参数，从而实现分子泵微振动的测量，无需采用接触式测量器件对微振动物理量进行测量，对分子泵本身微振动不产生影响，不受电磁干扰，提高分子泵微振动测量结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及参数测量，具体涉及一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质。

技术介绍

1、扫描电镜是电子光学研究过程中常用的仪器，由于扫描电镜图像的分辨率高达纳米级，在新材料、新能源等研究领域，扫描电镜发挥着无法替代的作用。为了使得扫描电镜样品室保持高真空状态，常常在扫描电镜上设置分子泵，分子泵抽取扫描电镜样品室的的空气，使其保持真空状态。在扫描电镜使用过程中，分子泵会产生微振动，为了及时了解分子泵的运行状态，需要对分子泵的微振动物理量进行测量。

2、在现有技术中，常常采用速度传感器、加速度传感器以及位移传感器等器件对分子泵的速度、加速度以及位移等微振动物理量进行测量。然而，在实际测量过程中，传感器等电子器件易受到电磁干扰，进而影响测量结果的准确性。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质，以解决现有技术中采用传感器等电子器件进行测量，因易受电磁干扰，导致测量结果准确性低的问题。

2、第一方面，本专利技术提供了一种分子泵微振本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种分子泵微振动测量方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数包括振动频率，基于所述多普勒时域波形利用快速傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数还包括振动速度，基于所述多普勒时域波形利用短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，还包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，按照如下公式计算分子泵的振动速度，包括...

【技术特征摘要】

1.一种分子泵微振动测量方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数包括振动频率，基于所述多普勒时域波形利用快速傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微振动测量参数还包括振动速度，基于所述多普勒时域波形利用短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，还包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，按照如下公式计算分子泵的振动速度，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李赫奕，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：