一种样品批量检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及样品检测技术领域，其目的是提供一种样品批量检测装置及检测方法。这种样品批量检测装置批量检测样品时，仅需进行一次抽真空，节省工作时间和资源。上述样品批量检测装置包括：样品运输组件、样品转移组件、扫描电子显微镜设备和抽真空组件；样品运输组件包括：运输管道、样品平台和平台移动机构，样品平台可放置多个样品，平台移动机构可带动样品平台在运输管道内移动；样品转移组件包括：转移管道和转移机构，转移管道与运输管道连接，转移机构设置于转移管道内，转移机构可将样品转移至扫描电子显微镜设备的样品检测台上。本发明专利技术解决现有技术中的样品检测装置在批量对样品进行检测时耗费时间和资源较多，工作效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及样品检测，具体涉及一种样品批量检测装置及检测方法。

技术介绍

1、sem（扫描电子显微镜）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的装置，是观测微观世界的有力工具。扫描电子显微镜在高真空环境下利用聚焦的高能电子束来扫描样品表面，通过光束与物质间的相互作用，来获得各种电子信号，对这些信号进行收集、放大、转换、成像，可以放大几千倍去观测样品涂层的微观颗粒状态，以达到对样品微观形貌表征的目的。

2、现有的样品检测装置就采用扫描电子显微镜对样品的微观形貌表征进行检测，检测时打开样品仓将样品放在样品台上，然后将样品仓抽真空，再通过扫描电子显微镜观测看像。由于扫描电子显微镜需要在真空环境下才能观测看像，这就导致现有的样品检测装置每检测一个样品就需要抽一次真空，在批量对样品进行检测时耗费时间和资源较多，工作效率较低。

技术实现思路

1、因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的样品检测装置每检测一个样品就需要抽一次真空，在批量对样品进行检测时耗费时间和资源较多，工作效率较低的缺陷，从而提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种样品批量检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述样品平台（12）包括：承台（121），所述承台（121）上间隔设置有多个凹槽，每个所述凹槽的顶端设置有一个平台（122），每个所述平台（122）对应一个所述样品放置工位。

3.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述平台移动机构（13）包括：滑轨（131）和滑块（132），所述滑轨（131）固定设置于所述运输管道（11）内壁，所述滑块（132）滑动设置于所述滑轨（131）上，所述样品平台（12）固定设置于所述滑块（132）上。</p>

4.根据...

【技术特征摘要】

1.一种样品批量检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述样品平台（12）包括：承台（121），所述承台（121）上间隔设置有多个凹槽，每个所述凹槽的顶端设置有一个平台（122），每个所述平台（122）对应一个所述样品放置工位。

3.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述平台移动机构（13）包括：滑轨（131）和滑块（132），所述滑轨（131）固定设置于所述运输管道（11）内壁，所述滑块（132）滑动设置于所述滑轨（131）上，所述样品平台（12）固定设置于所述滑块（132）上。

4.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述转移机构包括：机械臂（221），所述机械臂（221）设置于所述转移管道（21）内。

5.根据权利要求4所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述转移管道（21）和所述运输管道（11）垂直设置，所述机械臂（221）的端部可沿所述转移管道（21）的延伸方向伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：周宏，刘其武，靳佳，孟祥良，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：