【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及样品检测，具体涉及一种样品批量检测装置及检测方法。
技术介绍
1、sem（扫描电子显微镜）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的装置，是观测微观世界的有力工具。扫描电子显微镜在高真空环境下利用聚焦的高能电子束来扫描样品表面，通过光束与物质间的相互作用，来获得各种电子信号，对这些信号进行收集、放大、转换、成像，可以放大几千倍去观测样品涂层的微观颗粒状态，以达到对样品微观形貌表征的目的。
2、现有的样品检测装置就采用扫描电子显微镜对样品的微观形貌表征进行检测，检测时打开样品仓将样品放在样品台上，然后将样品仓抽真空，再通过扫描电子显微镜观测看像。由于扫描电子显微镜需要在真空环境下才能观测看像，这就导致现有的样品检测装置每检测一个样品就需要抽一次真空，在批量对样品进行检测时耗费时间和资源较多，工作效率较低。
技术实现思路
1、因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的样品检测装置每检测一个样品就需要抽一次真空，在批量对样品进行检测时耗费时间和资源较多，工作效率较低的缺陷，从而提供一种可以批量对多个样品进行检测，且每批次样品仅需进行一次抽真空，节省工作时间和资源，工作效率较高的样品批量检测装置及检测方法。
2、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种样品批量检测装置，包括：
3、样品运输组件，所述样品运输组件包括：运输管道、样品平台和平台移动机构，所述样品平台具有多个样品放置工位，所述平台移动机构设置于所述运输管道内，其移动端与所
4、样品转移组件，所述样品转移组件包括：转移管道和转移机构，所述转移管道与所述运输管道连接，所述转移机构设置于所述转移管道内；
5、扫描电子显微镜设备，所述扫描电子显微镜设备的样品入口与所述运输管道连接，所述转移机构适于将所述样品放置工位上放置的样品转移至所述样品入口处的样品检测台上；
6、抽真空组件，所述抽真空组件的抽气端与所述运输管道连接。
7、可选的，所述样品平台包括：承台，所述承台上间隔设置有多个凹槽，每个所述凹槽的顶端设置有一个平台，每个所述平台对应一个所述样品放置工位。
8、可选的，所述平台移动机构包括：滑轨和滑块，所述滑轨固定设置于所述运输管道内壁，所述滑块滑动设置于所述滑轨上，所述样品平台固定设置于所述滑块上。
9、可选的，所述转移机构包括：机械臂，所述机械臂固定设置于所述转移管道内。
10、可选的，所述转移管道和所述运输管道垂直设置，所述机械臂的端部可沿所述转移管道的延伸方向伸缩。
11、可选的，所述扫描电子显微镜设备设置于所述转移组件的对侧，且所述转移管道与所述运输管道的连接口与所述扫描电子显微镜设备的所述样品入口正对。
12、可选的，所述抽真空组件包括：机械泵和分子泵，所述机械泵与所述分子泵连接，所述分子泵与所述运输管道连接。
13、可选的，还包括控制组件：所述控制组件与所述样品运输组件、所述样品转移组件、所述扫描电子显微镜设备和所述抽真空组件电连接。
14、一种样品批量检测方法，应用于所述的样品批量检测装置，包括以下步骤：
15、s1：样品平台移动至第一个样品放置工位于扫描电子显微镜设备的样品入口处；
16、s2：机械臂将样品转移至样品检测台上；
17、s3：所述扫描电子显微镜设备对所述样品检测台上的所述样品进行检测；
18、s4：检测完的样品通过所述机械臂重新放回至所述样品平台上；
19、s5：所述样品平台移动使下一样品放置工位至所述样品入口处，并重复上述s2-s4步骤。
20、可选的，在所述s1：样品平台移动至第一个样品放置工位于扫描电子显微镜设备的样品入口处步骤之前还包括对装置内部进行抽真空的步骤。
21、本专利技术具有以下优点：
22、1.本专利技术提供的样品批量检测装置，包括：样品运输组件、样品转移组件、扫描电子显微镜设备和抽真空组件。其中样品运输组件包括：运输管道、样品平台和平台移动机构，样品平台具有多个样品放置工位，因此可同时在样品平台上放置多个样品。平台移动机构设置于运输管道内，其移动端与样品平台连接，从而可以带动样品平台在所述运输管道内沿运输管道的延伸方向移动，将样品平台从运输管道的入口处运输至扫描电子显微镜设备处进行检测。样品转移组件包括：转移管道和转移机构，转移管道与运输管道连接，转移机构设置于转移管道内，扫描电子显微镜设备的样品入口与运输管道连接，转移机构可以将样品放置工位上放置的样品转移至样品入口处的样品检测台上，以便于检测。抽真空组件的抽气端与运输管道连接以将管道内抽成真空状态，这是由于扫描电子显微镜设备需在真空状态下才可进行工作。这种装置每次可以对多个样品进行检测，并且仅需抽真空一次即可，在持续检测过程中并不会破坏内部真空状态，适合批量检测样品，并且能大大的节省工作时间和资源，提高工作效率。
23、2.本专利技术提供的样品批量检测装置，样品平台包括承台，承台上设置有多个凹槽，每个凹槽顶端设置有一个平台，平台上可以放置样品，这种样品平台可以规律的放置多个样品，能提高检测效率。
24、3.本专利技术提供的样品批量检测装置，转移机构包括：机械臂，转移管道和运输管道连接，且与运输管道相垂直，机械臂设置在转移管道内，并且机械臂的端部可以沿转移管道的延伸方向伸缩。扫描电子显微镜设置在转移组件的对侧，并且样品入口与转移管道和运输管道的连接口正对。这样便于机械臂直接将样品平台上的样品转移到样品检测台上，简化工序，提高效率。
25、4.本专利技术提供的样品批量检测方法，包括以下步骤：s1：样品平台移动至第一个样品放置工位于扫描电子显微镜设备的样品入口处；s2：机械臂将样品转移至样品检测台上；s3：扫描电子显微镜设备对样品检测台上的样品进行检测；s4：检测完的样品通过机械臂重新放回至样品平台上；s5：样品平台移动使下一样品放置工位至样品入口处，并重复s2-s4步骤。按此步骤循环就可将样品平台上的多个样品依次进行检测，并且检测过程持续进行，不需要多次抽真空，节省工作时间和资源，提高检测效率。
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1.一种样品批量检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述样品平台（12）包括：承台（121），所述承台（121）上间隔设置有多个凹槽，每个所述凹槽的顶端设置有一个平台（122），每个所述平台（122）对应一个所述样品放置工位。
3.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述平台移动机构（13）包括：滑轨（131）和滑块（132），所述滑轨（131）固定设置于所述运输管道（11）内壁，所述滑块（132）滑动设置于所述滑轨（131）上，所述样品平台（12）固定设置于所述滑块（132）上。
4.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述转移机构包括：机械臂（221），所述机械臂（221）设置于所述转移管道（21）内。
5.根据权利要求4所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述转移管道（21）和所述运输管道（11）垂直设置，所述机械臂（221）的端部可沿所述转移管道（21）的延伸方向伸缩。
6.根据权利要求5所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述扫描电子显
7.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述抽真空组件包括：机械泵和分子泵，所述机械泵与所述分子泵连接，所述分子泵与所述运输管道（11）连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的样品批量检测装置，其特征在于，还包括控制组件：所述控制组件与所述样品运输组件、所述样品转移组件、所述扫描电子显微镜设备（3）和所述抽真空组件电连接。
9.一种样品批量检测方法，应用于权利要求1-8任一项所述的样品批量检测装置，其特征在于，包括以下步骤：
10.根据权利要求9所述的样品批量检测方法，其特征在于，在所述S1:样品平台（12）移动至第一个样品放置工位于扫描电子显微镜设备（3）的样品入口处步骤之前还包括对装置内部进行抽真空的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种样品批量检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述样品平台（12）包括：承台（121），所述承台（121）上间隔设置有多个凹槽，每个所述凹槽的顶端设置有一个平台（122），每个所述平台（122）对应一个所述样品放置工位。
3.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述平台移动机构（13）包括：滑轨（131）和滑块（132），所述滑轨（131）固定设置于所述运输管道（11）内壁，所述滑块（132）滑动设置于所述滑轨（131）上，所述样品平台（12）固定设置于所述滑块（132）上。
4.根据权利要求1所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述转移机构包括：机械臂（221），所述机械臂（221）设置于所述转移管道（21）内。
5.根据权利要求4所述的样品批量检测装置，其特征在于，所述转移管道（21）和所述运输管道（11）垂直设置，所述机械臂（221）的端部可沿所述转移管道（21）的延伸方向伸缩...
【专利技术属性】
技术研发人员：周宏，刘其武，靳佳，孟祥良，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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