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一种样品批量检测装置及检测方法制造方法及图纸
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文档序号:41178573
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本发明涉及样品检测技术领域,其目的是提供一种样品批量检测装置及检测方法。这种样品批量检测装置批量检测样品时,仅需进行一次抽真空,节省工作时间和资源。上述样品批量检测装置包括:样品运输组件、样品转移组件、扫描电子显微镜设备和抽真空组件;样品运...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。
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