本发明专利技术提供了一种运动平台用限位装置、运动平台及电子束检测装置。该运动平台用限位装置包括底座、限位杆、限位结构、内磁套以及外磁套，限位杆的第一端设置在底座上；限位结构设置在限位杆的第二端，限位结构的至少部分被构造为能够位于运动平台内，限位结构包括第一限位座和第二限位座，第一限位座固定在限位杆的第二端，且具有第一限位表面；第二限位座固定在限位杆的第二端，第二限位座具有第二限位表面，内磁套套设在限位杆的外周并与限位杆连接；外磁套套设在内磁套的外周与运动平台连接，外磁套与内磁套之间具有磁性悬浮力。本发明专利技术的技术方案的运动平台用限位装置磁浮重力补偿功能，能有效简化运动平台的结构。能有效简化运动平台的结构。能有效简化运动平台的结构。
【技术实现步骤摘要】
运动平台用限位装置、运动平台及电子束检测装置
[0001]本专利技术涉及半导体检测设备
，具体而言，涉及一种运动平台用限位装置、运动平台及电子束检测装置。
技术介绍
[0002]在半导体高端设备中，如电子束装备中，广泛应用了粗微动双层运动结构，从而构成一个超精密运动平台，其中的纳米级六自由度微动运动平台的定位精度决定了电子束装备的曝光精度，运行速度决定了生产效率。例如在电子束光刻或晶圆检测领域，纳米级的运动平台是必备的用于控制运动精度的设备。
[0003]由于在半导体领域中，运动平台上的晶圆与扫描电镜之间的距离很小，最大不超过1mm，因此，必须通过限位装置限定运动平台的移动范围，如果没有限位装置，容易造成运动平台的驱动装置的竖直方向驱动位移过大，容易导致晶圆与扫描电镜碰撞，造成晶圆和扫描电镜的损坏。
[0004]专利技术人所知的现有技术中的运动平台中具有多个功能部件，包括限位装置、驱动装置、重力补偿装置等，多个功能部件各自占据一定空间相互作用，使得运动平台内部结构复杂装配困难。由于各部件之间相互独立，使得运动平台不能很好地做到扁平化，限制了运动平台的运用环境。
技术实现思路
[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种运动平台用限位装置、运动平台及电子束检测装置，限位装置具有磁浮重力补偿功能，能有效简化运动平台的结构。
[0006]为了实现上述目的，根据本专利技术的一方面，提供了一种运动平台用限位装置，包括：底座；限位杆，限位杆的第一端设置在底座上；以及限位结构，设置在限位杆的第二端，限位结构的至少部分被构造为能够位于运动平台内，限位结构包括：第一限位座，第一限位座固定在限位杆的第二端，且第一限位座具有第一限位表面；第二限位座，第二限位座固定在限位杆的第二端，第二限位座具有第二限位表面，第一限位表面和第二限位表面之间形成限位空间；运动平台用限位装置还包括：内磁套，套设在限位杆的外周并与限位杆连接；以及外磁套，套设在内磁套的外周与运动平台连接，外磁套与内磁套磁性配合，且外磁套相对于内磁套可移动地设置，以使外磁套与内磁套之间具有磁性悬浮力，以利用磁性悬浮力对运动平台进行作用力的补偿，其中，第二限位座部分被套设在外磁套内。
[0007]进一步地，第一限位座与第二限位座分体设置，第一限位座套设在限位杆的外周，第一限位座包括相互连接且外径依次减小的第一轴向限位段和第一径向限位段，第一限位表面位于第一轴向限位段朝向第二限位座的端面上，第二限位座套设在限位杆外周，第二限位座包括相互连接且外径依次增大的第二径向限位段和第二轴向限位段，第二限位表面位于第二轴向限位段朝向第一限位座的端面上。
[0008]进一步地，第一限位座相对于限位杆沿限位杆的轴向方向可移动地设置，以调整
第一限位座相对限位杆的高度。
[0009]进一步地，限位杆相对于底座沿限位杆的轴向方向可移动地设置，以调整整个限位结构相对底座的高度，限位杆与底座螺纹连接，限位杆能够通过旋拧的方式相对于底座轴向移动。
[0010]进一步地，限位杆的第一端套设在底座上，且限位杆的第一端上设置有锁紧孔，限位装置还包括锁紧件，锁紧件穿过锁紧孔与底座抵接。
[0011]进一步地，第二限位座还具有沿周向延伸的第三限位表面，第三限位表面能够限制运动平台水平方向的移动范围；和/或，第一限位座还具有沿周向延伸的第四限位表面，第四限位表面被构造为能够限制运动平台水平方向的移动范围。
[0012]进一步地，第一限位座为柔性件，第四限位表面的直径大于第三限位表面的直径；或者，第二限位座为柔性件，第三限位表面的直径大于第四限位表面的直径。
[0013]进一步地，底座包括依次相连接且外径依次减小的固定段、定位段和调节段，限位杆的第一端沿竖直方向开设有调节孔，定位段和调节段插入调节孔内部，限位杆上开设有与调节孔相连通的排气孔，以在真空环境下排出调节孔内部的空气。
[0014]根据本专利技术的一方面，还提供了一种运动平台，包括框架组件、驱动装置以及上述的运动平台用限位装置，框架组件包括微动框架和基座，限位装置沿竖直方向设置，底座与基座连接，驱动装置固定在微动框架和基座之间。
[0015]进一步地，微动框架开设有限位孔，限位结构的至少部分位于限位孔内，第一限位表面与限位孔的内壁之间形成竖直方向的第一微动间隙a2，第二限位表面与微动框架的下端面之间形成竖直方向的第二微动间隙a1，第三限位表面与限位孔的内壁之间形成水平方向的第三微动间隙b1，第四限位表面与限位孔的内壁形成水平方向的第四微动间隙b2。
[0016]进一步地，第二限位座为柔性件，第三微动间隙b1小于第四微动间隙b2。
[0017]进一步地，框架组件还包括固定盘，固定盘位于微动框架上，限位装置的最高点低于固定盘的最低点。
[0018]进一步地，驱动装置设置有至少三个，至少三个驱动装置周向均匀分布在基座上，驱动装置位于多个限位装置的内侧；和/或，限位装置设置为双数，所有限位装置周向均匀分布在基座上。
[0019]进一步地，框架组件还包括位于微动框架与基座之间的磁屏蔽罩壳。
[0020]根据本专利技术的一方面，还提供了一种电子束检测装置，包括水平运动台、扫描电镜、干涉仪以及上述的运动平台，运动平台位于水平运动台和扫描电镜之间，干涉仪位于运动平台的一侧。
[0021]应用本专利技术的技术方案，第一限位座和第二限位座相互配合实现限位的功能，内磁套和外磁套相互配合实现作用力补偿的功能，两种功能集成在同一个运动平台用限位装置中，相互之间结构紧凑、互不影响，相比于传统的多个功能部件独立的方式，本专利技术的运动平台用限位装置减小了各个功能部件对运动平台的空间的占用，使运动平台能够做到扁平化，减少对运动平台的运用环境的限制。
附图说明
[0022]构成本专利技术的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示
意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了本专利技术的实施例一的运动平台用限位装置的结构示意图；图2示出了图1的运动平台用限位装置的底座的结构示意图；图3示出了图1的运动平台用限位装置的限位杆的结构示意图；图4示出了图1的运动平台用限位装置的内磁套和外磁套的结构示意图；图5示出了图1的运动平台用限位装置与运动平台配合的部分截面示意图；图6示出了本专利技术的实施例二的运动平台用限位装置的结构示意图；图7示出了本专利技术的实施例三的运动平台的剖视图；图8示出了图7中运动平台的局部放大示意图；图9示出了本专利技术的实施例三的运动平台的结构示意图；图10示出了本专利技术的实施例三中驱动装置为压电驱动模组的结构示意图；图11示出了本专利技术的实施例三中磁屏蔽罩壳为方形的结构示意图；图12示出了本专利技术的实施例三中磁屏蔽罩壳为波浪折边型的结构示意图；图13示出了本专利技术的实施例四的电子束检测装置的结构示意图；图14示出了图13中固定盘表面有剩磁的仿真图；图15示出了图13中增加方形的磁屏蔽罩壳后固定盘表面有剩磁的仿真图；以及图1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种运动平台用限位装置，其特征在于，包括：底座（101）；限位杆（102），所述限位杆（102）的第一端设置在所述底座（101）上；以及限位结构，设置在所述限位杆（102）的第二端，所述限位结构的至少部分被构造为能够位于运动平台内，所述限位结构包括：第一限位座，所述第一限位座固定在所述限位杆（102）的第二端，且第一限位座具有第一限位表面；以及第二限位座，所述第二限位座固定在所述限位杆（102）的第二端，所述第二限位座具有第二限位表面，所述第一限位表面和所述第二限位表面之间形成限位空间；所述运动平台用限位装置还包括：内磁套（104），套设在所述限位杆（102）的外周并与所述限位杆（102）连接；以及外磁套（103），套设在所述内磁套（104）的外周与所述运动平台连接，所述外磁套（103）与所述内磁套（104）磁性配合，且所述外磁套（103）相对于所述内磁套（104）可移动地设置，以使所述外磁套（103）与所述内磁套（104）之间具有磁性悬浮力，以利用所述磁性悬浮力对所述运动平台进行作用力的补偿，其中，所述第二限位座的部分被套设在所述外磁套（103）内。2.根据权利要求1所述的运动平台用限位装置，其特征在于，所述第一限位座与所述第二限位座分体设置，所述第一限位座套设在所述限位杆（102）的外周，所述第一限位座包括相互连接且外径依次减小的第一轴向限位段和第一径向限位段，所述第一限位表面位于所述第一轴向限位段朝向所述第二限位座的端面上，所述第二限位座套设在所述限位杆（102）外周，所述第二限位座包括相互连接且外径依次增大的第二径向限位段和第二轴向限位段，所述第二限位表面位于所述第二轴向限位段朝向所述第一限位座的端面上。3.根据权利要求2所述的运动平台用限位装置，其特征在于，所述第一限位座相对于所述限位杆（102）沿所述限位杆（102）的轴向方向可移动地设置，以调整第一限位座相对所述限位杆（102）的高度。4.根据权利要求1至3中任一项所述的运动平台用限位装置，其特征在于，所述限位杆（102）相对于所述底座（101）沿所述限位杆（102）的轴向方向可移动地设置，以调整整个所述限位结构相对所述底座（101）的高度，所述限位杆（102）与所述底座（101）螺纹连接，所述限位杆（102）能够通过旋拧的方式相对于所述底座（101）轴向移动。5.根据权利要求1至3中任一项所述的运动平台用限位装置，其特征在于，所述限位杆（102）的第一端套设在所述底座（101）上，且所述限位杆（102）的第一端上设置有锁紧孔（108），所述限位装置还包括锁紧件，所述锁紧件穿过所述锁紧孔（108）与所述底座（101）抵接。6.根据权利要求1至3中任一项所述的运动平台用限位装置，其特征在于，所述第二限位座还具有沿周向延伸的第三限位表面，所述第三限位表面能够限制所述运动平台水平方向的移动范围；和/或，所述第一限位座还具有沿周向延伸的第四限位表面，所述第四限位表面被构造为能够限制所述运动平台水平方向的移动范围。7.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：周羽，江旭初，彭仁强，陈啸虎，雒佳，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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