【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及旋转制动，具体而言，涉及一种抱闸装置、运动台及抱闸装置控制方法。
技术介绍
1、近年来，随着大规模集成电路装备器件集成度不断提高，装备的旋转工作部件通常需要具备抱闸锁紧的功能；比如在光刻设备，量测设备等领域，为了实现旋转工作部件抱闸锁紧功能，需要额外设置抱闸制动装置。
2、现有技术中的抱闸制动装置通常采用电机或气缸来进行驱动，受抱闸力及响应速度限制，电机或气缸的体积通常不会太小，导致整个抱闸制动装置的体积不能很小，进而影响了设备的整体集成度，并且电机或气缸的使用寿命也会影响到抱闸制动装置的可靠性。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种抱闸装置、运动台及抱闸装置控制方法，以解决现有技术中的现有技术中抱闸制动装置结构复杂且体积较大的问题。
2、为了实现上述目的，根据本专利技术的第一方面，提供了一种抱闸装置，抱闸装置用于对转动的工作部件进行制动，抱闸装置包括：底座，底座用于安装在支撑基面上；抱闸部件，抱闸部件设置在底座的靠近工作部件的一侧，抱闸部件上设置有气路，气路与抱闸部件靠近工作部件的一侧连通，以通过向气路送气或从气路抽气来使抱闸部件与工作部件接触或分离；导向限位部件，导向限位部件的一部分与底座连接，导向限位部件的另一部分与抱闸部件连接，以使抱闸部件沿靠近或远离工作部件的方向相对于底座可运动地设置。
3、进一步地，抱闸装置包括多个可调支撑部件，可调支撑部件高度可调地设置在底座上，可调支撑部件位于底座和抱闸部件之间，以通过
4、进一步地，底座包括主底板、中间支撑板和多个侧部支撑板，中间支撑板位于主底板远离支撑基面一侧的中部，多个侧部支撑板绕中间支撑板的周向间隔设置，多个可调支撑部件一一对应地安装在多个侧部支撑板上。
5、进一步地，可调支撑部件为紧固件，紧固件的螺纹端与底座螺纹连接，紧固件的螺帽端用于支撑抱闸部件，以通过转动可调支撑部件来调节抱闸部件与工作部件分离时的分离距离。
6、进一步地，气路包括：一个负压气路；或者多个负压气路，至少两个负压气路间隔设置和/或至少两个负压气路相互连通；或者正压气路和负压气路，正压气路和负压气路间隔设置，以通过从负压气路抽气并同时向正压气路通气来调节抱闸部件与工作部件分离时的分离距离。
7、进一步地，抱闸部件包括相连接的基板和接触部，接触部设置在基板靠近工作部件的一侧，气路设置在基板上，气路的第一端延伸至基板的靠近工作部件的一侧，气路的第二端位于基板的靠近底座的一侧；接触部包括：多个环形凸缘，多个环形凸缘沿远离基板的中心的方向依次套设，以形成至少一个环形凹槽，气路的第一端位于环形凹槽内；和/或多个凸起块，多个凸起块间隔设置。
8、进一步地，抱闸部件包括多孔陶瓷吸盘和/或金属吸盘。
9、进一步地，抱闸部件包括相连接的基板和吸嘴，吸嘴安装在基板上且位于基板的靠近工作部件的一侧，吸嘴与位于基板上的气路连通。
10、进一步地，导向限位部件包括碟簧，碟簧的内圈与底座连接，碟簧的外圈与抱闸部件连接。
11、进一步地，导向限位部件为多个，多个导向限位部件环绕抱闸部件的中心线间隔设置；各个导向限位部件均设置为板簧，板簧的靠近抱闸部件的中心线的一侧与底座连接，板簧的远离抱闸部件的中心线的一侧与抱闸部件连接。
12、进一步地，导向限位部件为多个，多个导向限位部件环绕抱闸部件的中心线间隔设置；各个导向限位部件均包括滑动连接的导柱和导向套件，导柱和导向套件中的一个与底座连接，导柱和导向套件中的另一个与抱闸部件连接。
13、进一步地，导向限位部件为多个，多个导向限位部件环绕抱闸部件的中心线间隔设置；各个导向限位部件均包括滑动连接的导轨和滑块，导轨和滑块中的一个与底座连接，导轨和滑块中的另一个与抱闸部件连接。
14、根据本专利技术的第二方面，提供了一种运动台，运动台包括可转动的工作部件和上述的抱闸装置，抱闸装置的抱闸部件朝向工作部件设置，以用于对工作部件进行制动。
15、根据本专利技术的第三方面，提供了一种抱闸装置控制方法，抱闸装置控制方法适用于上述的抱闸装置，抱闸装置控制方法包括悬停步骤和制动步骤，其中，当接收到制动指令时，实行制动步骤，制动步骤包括：将气路与负压气源连通，以从抱闸部件与工作部件之间抽走气体，以使抱闸部件与工作部件之间形成真空，进而使抱闸部件在大气压力的作用下吸附在工作部件上，并对工作部件进行制动；当接收到启动指令时，实行悬停步骤，悬停步骤包括：停止抽走气路中的气体，以使抱闸部件受到的大气压力消失进而与工作部件分离，以释放工作部件。
16、根据本专利技术的第四方面，提供了一种抱闸装置控制方法，抱闸装置控制方法适用于上述的抱闸装置，抱闸装置的气路包括间隔设置的正压气路和负压气路，抱闸部件包括分别与正压气路和负压气路对应设置的正压区域和负压区域；抱闸装置控制方法包括悬停步骤和制动步骤，其中，当接收到启动指令时，实行悬停步骤，悬停步骤包括：将负压气路与负压气源连通，以从负压区域与工作部件之间抽走气体，进而使负压区域与工作部件之间形成真空，以使负压区域在大气压力的作用下吸附在工作部件上；将正压气路与正压气源连通，以向正压区域与工作部件之间输送气体，以克服负压区域所受到的大气压力，进而使负压区域和正压区域均与工作部件之间形成气隙；当接收到制动指令时，实行制动步骤，制动步骤包括：停止向正压气路输送气体，以使负压区域因受到大气压力作用而吸附在工作部件上，并对工作部件进行制动。
17、应用本专利技术的技术方案，本专利技术的抱闸装置用于对转动的工作部件进行制动，抱闸装置包括：底座，底座用于安装在支撑基面上；抱闸部件，抱闸部件设置在底座的靠近工作部件的一侧，抱闸部件上设置有气路，气路与抱闸部件靠近工作部件的一侧连通，以通过向气路送气或从气路抽气来使抱闸部件与工作部件接触或分离；导向限位部件，导向限位部件的一部分与底座连接，导向限位部件的另一部分与抱闸部件连接，以使抱闸部件沿靠近或远离工作部件的方向相对于底座可运动地设置。这样，本专利技术的抱闸装置不需要设置电机或气缸，仅在具有垂向自由度的抱闸部件上设置与其靠近工作部件的一侧连通的气路，以通过向气路送气或从气路抽气即可使抱闸部件与工作部件接触或分离，以较为简单的结构实现了对工作部件的锁定或解锁功能，使得抱闸装置具有扁平化的整体结构，减小了抱闸装置所需占用的安装空间，当使抱闸部件与工作部件之间接触时会产生较大的摩擦力来阻止工作部件的自由运动，提高了抱闸装置和具有其的运动台的集成度和可靠度，解决了现有技术中抱闸装置结构复杂且体积较大的问题，也解决了现有技术中抱闸装置采用电机驱动导致的可靠性问题。
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1.一种抱闸装置，其特征在于，所述抱闸装置用于对转动的工作部件（107）进行制动，所述抱闸装置包括：
2.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述抱闸装置包括多个可调支撑部件（104），所述可调支撑部件（104）高度可调地设置在所述底座（103）上，所述可调支撑部件（104）位于所述底座（103）和所述抱闸部件（101）之间，以通过调节所述可调支撑部件（104）在所述底座（103）上的高度来调节所述抱闸部件（101）与所述工作部件（107）分离时的分离距离。
3.根据权利要求2所述的抱闸装置，其特征在于，所述底座（103）包括主底板（1031）、中间支撑板（1032）和多个侧部支撑板（1033），所述中间支撑板（1032）位于所述主底板（1031）远离所述支撑基面一侧的中部，多个所述侧部支撑板（1033）绕所述中间支撑板（1032）的周向间隔设置，所述可调支撑部件（104）安装在所述侧部支撑板（1033）上。
4.根据权利要求2所述的抱闸装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述气路包括：
<...【技术特征摘要】
1.一种抱闸装置，其特征在于，所述抱闸装置用于对转动的工作部件（107）进行制动，所述抱闸装置包括：
2.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述抱闸装置包括多个可调支撑部件（104），所述可调支撑部件（104）高度可调地设置在所述底座（103）上，所述可调支撑部件（104）位于所述底座（103）和所述抱闸部件（101）之间，以通过调节所述可调支撑部件（104）在所述底座（103）上的高度来调节所述抱闸部件（101）与所述工作部件（107）分离时的分离距离。
3.根据权利要求2所述的抱闸装置，其特征在于，所述底座（103）包括主底板（1031）、中间支撑板（1032）和多个侧部支撑板（1033），所述中间支撑板（1032）位于所述主底板（1031）远离所述支撑基面一侧的中部，多个所述侧部支撑板（1033）绕所述中间支撑板（1032）的周向间隔设置，所述可调支撑部件（104）安装在所述侧部支撑板（1033）上。
4.根据权利要求2所述的抱闸装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述气路包括：
6.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述抱闸部件（101）包括相连接的基板（1011）和接触部（1012），所述接触部（1012）设置在所述基板（1011）靠近所述工作部件（107）的一侧，所述气路设置在所述基板（1011）上，所述气路的第一端延伸至所述基板（1011）的靠近所述工作部件（107）的一侧，所述气路的第二端位于所述基板（1011）的靠近所述底座（103）的一侧；所述接触部（1012）包括：
7.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述抱闸部件（101）包括多孔陶瓷吸盘和/或金属吸盘。
8.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述抱闸部件（101）包括相连接的基板（1011）和吸嘴（1013），所述吸嘴（1013）安装在所述基板（1011）上且位于所述基板（1011）的靠近所述工作部件（107）的一侧，所述吸嘴（1013）与位于所述基板（1011）上的所述气路连通。
9.根据权利要求1所述的抱闸装置，其特征在于，所述导向限位部件（102）包括碟簧（1021），所述碟簧（1021）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：高元桢，唐艳文，杜江，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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