【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造，特别是涉及一种移位装置及工件处理方法。
技术介绍
1、在集成电路制造领域，精密运动台技术是装备制造系统的核心技术，一直受到行业内的高度重视。为了满足高效的生产要求，同时又将生产成本控制在一个合理的范围，装备制造系统需要具备相应的品质和产率，这就对精密运动系统提出了严格的要求。用于工件处理的装备制造系统结构越来越复杂，具备的功能也越来越多，为了实现多个装备制造系统之间组成一条产线进行自动化生产的产率要求，工件需要进行高效地流转。常规多轴运动的移位装置中的微动台结构只能作为一个整体进行工作，微动台带着工件在各个功能区域进行相应的动作，工件跟随微动台整体进行流转或单独流转，这种流转方式需要微动台带着工件轮流在各个功能区域之间往返运动，导致负载微动台的宏动台运动覆盖区域较大，流转效率较低；而且，微动台作为一个整体，其维护较为不便，尤其微动台承载单元所置功能组件，更是日常维护和检查的重点，需要移机拆机操作，占线工作量较大、时间较久。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种移位装置及工件处理方法，用于解决现有技术中工件流转效率低、日常更换检查困难的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种移位装置，包括：
3、主支撑框架，包括运动平面；
4、第一运动部，设置于所述运动平面上，所述第一运动部至少包括第一固定单元、第一平面运动台，所述第一平面运动台用于负载所述第一固定单元进行平面运
5、第二运动部，设置于所述运动平面上且与所述第一运动部间隔预设距离，所述第二运动部至少包括第二固定单元、第二平面运动台，所述第二平面运动台用于负载所述第二固定单元进行平面运动，所述第一运动部与所述第二运动部在同一所述运动平面上运动；
6、运动单元，位于所述第一运动部上方和/或位于所述第二运动部上方
7、转运支架，设置于所述第一运动部与所述第二运动部之间的所述运动平面的正上方，所述转运支架用于转运所述运动单元至所述第一固定单元以及所述第二固定单元上。
8、可选地，所述第一平面运动台包括第一平面运动主板以及第一平面驱动单元，所述第一平面驱动单元包括设置在第一平面运动主板上的第一动子线圈阵列以及第一定子磁钢阵列；所述第二平面运动台包括第二平面运动主板以及第二平面驱动单元，所述第二平面驱动单元包括设置在第二平面运动主板上的第二动子线圈阵列以及第二定子磁钢阵列，所述第一定子磁钢阵列和所述第二定子磁钢阵列均设置在所述运动平面上。
9、可选地，所述第一运动部中还设有用于供所述第一平面运动主板进行运动的第一线缆台组件，所述第一线缆台组件包括相连接的第一线缆、第二线缆以及第一横梁组件；所述第二运动部中还设有供所述第二平面运动主板运动的第二线缆台组件，所述第二线缆台组件包括相连接的第三线缆、第四线缆以及第二横梁组件。
10、可选地，所述转运支架用于将所述运动单元从所述第一固定单元转运至所述第二固定单元上以及将所述运动单元从所述第二固定单元转运至所述第一固定单元上。
11、可选地，所述第一固定单元中包括第一夹持结构，所述第二固定单元中包括第二夹持结构，所述运动单元中包括引线机构，所述运动单元位于所述第一运动部上方，所述引线机构与所述第一夹持机构相对应并卡合；所述运动单元位于所述第二运动部上方，所述引线机构与所述第二夹持机构相对应并卡合。
12、可选地，所述第一固定单元和所述第二固定单元包括竖直升降机构，所述运动单元包括水平运动机构；所述运动单元通过所述第一夹持机构与所述引线机构卡合固定于所述第一固定单元上，以构成微动台；所述运动单元通过所述第二夹持机构与所述引线机构卡合固定于所述第二固定单元上，以构成微动台。
13、可选地，所述运动单元包括多个，多个所述运动单元至少位于所述第一固定单元、所述第二固定单元以及所述转运支架中的两个上方。
14、可选地，所述运动单元中还包括依次层叠设置的运动件以及承件单元，所述承件单元用于承载工件，所述引线机构位于所述运动件侧壁。
15、可选地，所述转运支架包括连接架以及分别固定于所述连接架底部且相对设置的第一支座与第二支座。
16、可选地，所述第一支座的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第三引线板以及用于提供电信号的引线通道的第四引线板；所述第二支座的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第五引线板以及用于提供电信号的引线通道的第六引线板；所述运动单元中还包括第一引线板以及第二引线板，所述第一引线板用于提供电源的接线通道，所述第二引线板用于提供电信号的引线通道。
17、可选地，所述转运支架悬空设置于所述运动平面上方并与所述运动平面间隔预设距离。
18、本专利技术还提供一种工件处理方法，包括以下步骤：
19、提供一如上述所述的移位装置及至少一工件；
20、将所述运动单元置于所述第一固定单元上方，并将所述工件置于所述运动单元上方；
21、利用所述运动单元与所述第一固定单元构成的微动台对所述工件进行第一加工；
22、利用所述转运支架将所述运动单元转运至所述第二固定单元上；
23、利用所述运动单元与所述第二固定单元构成的微动台对所述工件进行第二加工；
24、并对第二加工后的所述工件进行下件。
25、可选地，所述移位装置中设有三个运动单元，三个所述运动单元分别位于所述第一固定单元、所述第二固定单元以及所述转运支架的上方，所述运动单元与所述第二固定单元构成的微动台与所述运动单元与所述第一固定单元构成的微动台可同时工作且互不影响。
26、如上所述，本专利技术的移位装置及工件处理方法，具有以下有益效果：通过设置所述运动单元分别与所述第一固定单元和所述第二固定单元组合成微动台，当所述运动单元上承载所述工件时，所述工件可以分别在所述第一固定单元或所述第二固定单元上进行加工，实现了同一所述运动平台上的不同的加工作业；此外，通过转运支架可将所述运动单元转运至第一固定单元及第二固定单元上，使所述移位装置可同时处理多个所述工件，并且保证每个所述工件上的处理流程和处理时间，增加了所述移位装置在单位时间内可处理的所述工件的数量，提高了所述移位装置的利用效率，此外，仅需进行所述运动单元的转运及替换即可完成所述工件的处理过程，减少了运转空间的占用率和运转重量，提高了所述工件的运转效率，并且便于所述移位装置的维护和检查。
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1.一种移位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述第一平面运动台(22)包括第一平面运动主板(221)以及第一平面驱动单元(222)，所述第一平面驱动单元(222)包括设置在第一平面运动主板(221)上的第一动子线圈阵列(222a)以及第一定子磁钢阵列(222b)；所述第二平面运动台(32)包括第二平面运动主板(321)以及第二平面驱动单元(322)，所述第二平面驱动单元(322)包括设置在第二平面运动主板(321)上的第二动子线圈阵列(322a)以及第二定子磁钢阵列(322b)，所述第一定子磁钢阵列(222b)和所述第二定子磁钢阵列(322b)均设置在所述运动平面上(11)。
3.根据权利要求2所述的移位装置，其特征在于：所述第一运动部(2)中还设有用于供所述第一平面运动主板(221)进行运动的第一线缆台组件(23)，所述第一线缆台组件(23)包括相连接的第一线缆(231)、第二线缆(232)以及第一横梁组件(233)；所述第二运动部(3)中还设有供所述第二平面运动主板(321)运动的第二线缆台组件(33)，所述第二
4.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)用于将所述运动单元(4)从所述第一固定单元(21)转运至所述第二固定单元(31)上以及将所述运动单元(4)从所述第二固定单元(31)转运至所述第一固定单元(21)上。
5.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述第一固定单元(21)中包括第一夹持结构(211)，所述第二固定单元(31)中包括第二夹持结构(311)，所述运动单元(4)中包括引线机构(41)，所述运动单元(4)位于所述第一运动部(2)上方，所述引线机构(41)与所述第一夹持机构(211)相对应并卡合；所述运动单元(4)位于所述第二运动部(3)上方，所述引线机构(41)与所述第二夹持机构(311)相对应并卡合。
6.根据权利要求5所述的移位装置，其特征在于：所述第一固定单元(21)和所述第二固定单元(31)包括竖直升降机构，所述运动单元(4)包括水平运动机构；所述运动单元(4)通过所述第一夹持机构(211)与所述引线机构(41)卡合固定于所述第一固定单元(21)上，以构成微动台；所述运动单元(4)通过所述第二夹持机构(311)与所述引线机构(41)卡合固定于所述第二固定单元(31)上，以构成微动台。
7.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述运动单元(4)包括多个，多个所述运动单元(4)至少位于所述第一固定单元(21)、所述第二固定单元(31)以及所述转运支架(5)中的两个上方。
8.根据权利要求5所述的移位装置，其特征在于：所述运动单元(4)中还包括依次层叠设置的运动件(42)以及承件单元(43)，所述承件单元(43)用于承载工件(9)，所述引线机构(41)位于所述运动件(42)侧壁。
9.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)包括连接架(51)以及分别固定于所述连接架(51)底部且相对设置的第一支座(52)与第二支座(53)。
10.根据权利要求9所述的移位装置，其特征在于：所述第一支座(52)的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第三引线板(521)以及用于提供电信号的引线通道的第四引线板(522)；所述第二支座(53)的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第五引线板(531)以及用于提供电信号的引线通道的第六引线板(532)；所述运动单元(4)中还包括第一引线板(44)以及第二引线板(45)，所述第一引线板(44)用于提供电源的接线通道，所述第二引线板(45)用于提供电信号的引线通道。
11.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)悬空设置于所述运动平面(11)上方并与所述运动平面(11)间隔预设距离。
12.一种工件处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
13.根据权利要求12所述的工件处理方法，其特征在于：所述移位装置中设有三个运动单元(4)，三个所述运动单元(4)分别位于所述第一固定单元(21)、所述第二固定单元(31)以及所述转运支架(5)的上方，所述运动单元(4)与所述第二固定单元(31)构成的微动台与所述运动单元(4)与所述第一固定单元(21)构成的微动台可同时工作且互不影响。
...【技术特征摘要】
1.一种移位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述第一平面运动台(22)包括第一平面运动主板(221)以及第一平面驱动单元(222)，所述第一平面驱动单元(222)包括设置在第一平面运动主板(221)上的第一动子线圈阵列(222a)以及第一定子磁钢阵列(222b)；所述第二平面运动台(32)包括第二平面运动主板(321)以及第二平面驱动单元(322)，所述第二平面驱动单元(322)包括设置在第二平面运动主板(321)上的第二动子线圈阵列(322a)以及第二定子磁钢阵列(322b)，所述第一定子磁钢阵列(222b)和所述第二定子磁钢阵列(322b)均设置在所述运动平面上(11)。
3.根据权利要求2所述的移位装置，其特征在于：所述第一运动部(2)中还设有用于供所述第一平面运动主板(221)进行运动的第一线缆台组件(23)，所述第一线缆台组件(23)包括相连接的第一线缆(231)、第二线缆(232)以及第一横梁组件(233)；所述第二运动部(3)中还设有供所述第二平面运动主板(321)运动的第二线缆台组件(33)，所述第二线缆台组件(33)包括相连接的第三线缆(331)、第四线缆(332)以及第二横梁组件(333)。
4.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)用于将所述运动单元(4)从所述第一固定单元(21)转运至所述第二固定单元(31)上以及将所述运动单元(4)从所述第二固定单元(31)转运至所述第一固定单元(21)上。
5.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述第一固定单元(21)中包括第一夹持结构(211)，所述第二固定单元(31)中包括第二夹持结构(311)，所述运动单元(4)中包括引线机构(41)，所述运动单元(4)位于所述第一运动部(2)上方，所述引线机构(41)与所述第一夹持机构(211)相对应并卡合；所述运动单元(4)位于所述第二运动部(3)上方，所述引线机构(41)与所述第二夹持机构(311)相对应并卡合。
6.根据权利要求5所述的移位装置，其特征在于：所述第一固定单元(21)和所述第二固定单元(31)包括竖直升降机构，所述运动单元(4)包括水...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚威，王振华，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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