一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品制造方法及图纸

本公开提供了一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品，涉及精密制造技术领域。本公开涉及的自动对焦方法包括：控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置；控制载物台的第三运动模组在第三方向上运动，以使得载物台从第三方向上的扫描起始位置起，在第三方向上运动一次或多次，每次运动的位移量为预设步距；控制第三运动模组在第三方向上运动，以使得载物台达到对焦位置；对焦位置从第三方向上一次或多次的运动对应的位置中确定出。

【技术实现步骤摘要】

本说明书涉及精密制造，特别涉及一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品。

技术介绍

1、在精密制造
中，常通过成像技术确定被加工对象（在一些实施例中，也可称为被拍摄物体）的误差信息。具体的，为了精确测量误差数据，需要对被加工对象进行准确对焦进而获得高清晰的图像，然后通过图像处理技术获取被加工对象的误差数据。由此可见，能否对被加工对象进行准确对焦，将会影响加工质量及效率。

2、为此，本说明书一些实施例提供了一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品，以期提高对焦精准度以及效率。

技术实现思路

1、本说明书一个或多个实施例提供了一种自动对焦方法，包括：控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到所述第一方向上的第一目标位置以及所述第二方向上的第二目标位置；控制所述载物台的第三运动模组在第三方向上运动，以使得所述载物台从第三方向上的扫描起始位置起，在所述第三方向上运动一次或多次，每次运动的位移量为预设步距；控制所述第三运动模组在所述第三方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动对焦方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直；所述预设步距不超过20nm或不超过10nm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二运动模组堆叠设置于所述第一运动模组上，所述第三运动模组堆叠设置于所述第二运动模组上，所述载物台设置于所述第三运动模组上。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制载物台的第一运动模组在第一方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第...

【技术特征摘要】

1.一种自动对焦方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直；所述预设步距不超过20nm或不超过10nm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二运动模组堆叠设置于所述第一运动模组上，所述第三运动模组堆叠设置于所述第二运动模组上，所述载物台设置于所述第三运动模组上。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制载物台的第一运动模组在第一方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：

7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述运动参数包括加速度和/或加加速度。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述冲击补偿参数基于下式计算得到：

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述至少基于所述冲击补偿参数生成第三驱动信号，包括：

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【专利技术属性】
技术研发人员：张申恺，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：