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本公开提供了一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品，涉及精密制造技术领域。本公开涉及的自动对焦方法包括：控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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