【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及流体泵，特别涉及一种压电泵、控制方法、控制装置以及存储介质。
技术介绍
1、泵是输送流体或使流体增压的机械。传统流体泵一般由电机驱动，体积较大，且易受到环境中电磁信号的干扰，不适宜控制微小流量，与此相比，压电泵具有结构简单、体积小巧、无电磁干扰等特点，被广泛应用于精密控制领域。然而现有的压电泵又存在输出流量小、流体回流较多等问题。
2、为此，本说明书一些实施例提供了一种压电泵、控制方法、控制方法以及存储介质，旨在解决上述问题。
技术实现思路
1、本说明书一些实施例提供的一种压电泵、控制方法、控制装置以及存储介质，旨在减少泵内流体回流、提高其输出流量。
2、为了实现上述目的，本说明书一个或多个实施例提供了一种压电泵，包括流道，所述流道包括流道入口、流道出口以及位于所述流道入口和所述流道出口之间的两个以上形变区，所述形变区包括压力传感器且所述形变区的至少部分流道壁由柔性压电形变层形成；所述压力传感器用于获取其所在形变区的流道壁的压力值，进而获得其所在形变区的容积信息；所述形变区的柔性压电形变层能够在电信号的驱动下产生正向形变或负向形变，进而改变该形变区的容积；用于驱动所述柔性压电形变层的所述电信号与两个以上所述形变区中的压力传感器的输出信号相关，以使得相邻两个形变区中的第一形变区的容积缩小到目标小容积时，第二形变区的容积增大到目标大容积；其中，所述第一形变区相对于所述第二形变区更靠近所述流道入口。
3、根据本说明书一个或多个实施例所述的压
4、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，所述控制部包括处理器、驱动电源、调幅器和调频器；所述驱动电源、所述调幅器以及所述调频器均与所述处理器具有信号连接，所述处理器用于基于所述压力传感器的输出信号控制所述驱动电源产生初始电信号，并控制所述调幅器和/或所述调频器调整所述初始电信号的幅值和/或频率得到所述电信号，以便调整所述流道中流体的流量和/或流速。
5、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，在所述形变区中，所述压力传感器与所述柔性压电形变层相对设置。
6、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，每一所述形变区的所述柔性压电形变层正向形变时，其凸向所述流道外以增加其所在形变区的容积，每一所述形变区的所述柔性压电形变层负向形变时，其凸向流道内以减小其所在形变区的容积。
7、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，所述流道为直线形通道；所述直线形通道的两端开设有所述流道入口和所述流道出口，所述两个以上形变区沿所述直线形通道的长度方向依次布设。
8、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，所述形变区的流道壁上开设有贯穿至外界的第一开孔，所述第一开孔内设有周向台阶，当前形变区中的所述柔性压电形变层的边缘与所述周向台阶密封固定。
9、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，所述第一开孔上靠近外界的一端设置有密封盖，以将所述柔性压电形变层与外界隔离，当前形变区的所述柔性压电形变层上用于传输所述电信号的导线穿过所述密封盖引出到外界。
10、根据本说明书一个或多个实施例所述的压电泵，所述形变区的流道壁上开设有贯穿至外界的第二开孔，当前形变区中的所述压力传感器密封安装于所述第二开孔上，其信号线通过所述第二开孔引出到外界；所述压力传感器为压电陶瓷式压力传感器。
11、本说明书一个或多个实施例还提供了一种用于前述压电泵的控制方法，包括：当所述第一形变区的压力传感器的输出信号反映有流体进入所述第一形变区时，向所述第一形变区的柔性压电形变层输出正向电信号，以使第一形变区的容积达到目标大容积；当所述第二形变区的压力传感器的输出信号反映有流体进入所述第二形变区时，向所述第二形变区的柔性压电形变层输出正向电信号，以及向所述第一形变区的柔性压电形变层输出负向电信号，以使第一形变区的容积达到目标小容积，第二形变区的容积达到目标大容积。
12、根据本说明书一个或多个实施例所述的控制方法，向形变区的柔性压电形变层输出正向电信号，以使该形变区的容积达到目标大容积，包括：基于设定流量以及流量-压力关系，确定所述设定流量对应的正向压力值；当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值小于所述设定流量对应的正向压力值时，增加所述正向电信号的幅值，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值等于所述设定流量对应的正向压力值；当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值大于所述设定流量对应的正向压力值时，减小所述正向电信号的幅值，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值等于所述设定流量对应的正向压力值；或者包括：当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值小于所述柔性压电形变层最大正向形变程度对应的压力值时，增加所述正向电信号的幅值，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值等于所述最大正向形变程度对应的压力值。
13、根据本说明书一个或多个实施例所述的控制方法，向形变区的柔性压电形变层输出负向电信号，以使该形变区的容积达到目标小容积，包括：基于设定流量以及流量-压力关系，确定所述设定流量对应的负向压力值；当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值大于所述设定流量对应的负向压力值时，增加所述负向电信号的幅值，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值等于所述设定流量对应的负向压力值；当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值小于所述设定流量对应的负向压力值时，减小所述负向电信号的幅值，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值等于所述设定流量对应的负向压力值；或者包括：当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值大于柔性压电形变层最大负向形变程度对应的压力值时，增加所述负向电信号的幅值，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力值等于所述最大负向形变程度对应的压力值。
14、根据本说明书一个或多个实施例所述的控制方法，还包括：基于设定流速以及流速-压力变化率关系，确定所述设定流速对应的压力变化率；所述设定流速对应的压力变化率不大于预设的变化率阈值；当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力变化率大于所述设定流速对应的压力变化率时，降低所述电信号的频率，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力变化率等于所述设定流速对应的压力变化率；当所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力变化率小于所述设定流速对应的压力变化率时，提高所述电信号的频率，直到所述形变区的压力传感器的输出信号反映的压力变化率等于所述设定流速对应的压力变化率。
15、本说明书一个或多个实施例还提供了一种控制装置，包括处理器以及存储介质，所述存储介质存储有程序指令，所述处理器用于本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种压电泵，包括流道，其特征在于，所述流道包括流道入口、流道出口以及位于所述流道入口和所述流道出口之间的两个以上形变区，所述形变区包括压力传感器且所述形变区的至少部分流道壁由柔性压电形变层形成；
2.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，还包括控制部，每一所述形变区的所述压力传感器以及每一所述形变区的所述柔性压电形变层均与所述控制部具有信号连接，以便所述控制部获取所述压力传感器的输出信号，并基于所述压力传感器的输出信号输出所述电信号，来驱动柔性压电形变层产生形变。
3.根据权利要求2所述的压电泵，其特征在于，所述控制部包括处理器、驱动电源、调幅器和调频器；
4.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，在所述形变区中，所述压力传感器与所述柔性压电形变层相对设置。
5.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，每一所述形变区的所述柔性压电形变层正向形变时，其凸向所述流道外以增加其所在形变区的容积，每一所述形变区的所述柔性压电形变层负向形变时，其凸向流道内以减小其所在形变区的容积。
6.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在
7.根据权利要求1或6所述的压电泵，其特征在于，所述形变区的流道壁上开设有贯穿至外界的第一开孔，所述第一开孔内设有周向台阶，当前形变区中的所述柔性压电形变层的边缘与所述周向台阶密封固定。
8.根据权利要求7所述的压电泵，其特征在于，所述第一开孔上靠近外界的一端设置有密封盖，以将所述柔性压电形变层与外界隔离，当前形变区的所述柔性压电形变层上用于传输所述电信号的导线穿过所述密封盖引出到外界。
9.根据权利要求1或6所述的压电泵，其特征在于，所述形变区的流道壁上开设有贯穿至外界的第二开孔，当前形变区中的所述压力传感器密封安装于所述第二开孔上，其信号线通过所述第二开孔引出到外界；
10.一种用于如权利要求1~9任一项所述的压电泵的控制方法，其特征在于，包括：
11.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，向形变区的柔性压电形变层输出正向电信号，以使该形变区的容积达到目标大容积，包括：
12.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，向形变区的柔性压电形变层输出负向电信号，以使该形变区的容积达到目标小容积，包括：
13.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，还包括：
14.一种控制装置，包括处理器以及存储介质，所述存储介质存储有程序指令，所述处理器用于执行所述程序指令中的至少部分，以实现如权利要求10~13任一项所述的方法。
15.一种存储介质，存储有程序指令，当所述程序指令中的至少部分被处理器执行时，实现如权利要求10~13任一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种压电泵，包括流道，其特征在于，所述流道包括流道入口、流道出口以及位于所述流道入口和所述流道出口之间的两个以上形变区，所述形变区包括压力传感器且所述形变区的至少部分流道壁由柔性压电形变层形成；
2.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，还包括控制部，每一所述形变区的所述压力传感器以及每一所述形变区的所述柔性压电形变层均与所述控制部具有信号连接，以便所述控制部获取所述压力传感器的输出信号，并基于所述压力传感器的输出信号输出所述电信号，来驱动柔性压电形变层产生形变。
3.根据权利要求2所述的压电泵，其特征在于，所述控制部包括处理器、驱动电源、调幅器和调频器；
4.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，在所述形变区中，所述压力传感器与所述柔性压电形变层相对设置。
5.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，每一所述形变区的所述柔性压电形变层正向形变时，其凸向所述流道外以增加其所在形变区的容积，每一所述形变区的所述柔性压电形变层负向形变时，其凸向流道内以减小其所在形变区的容积。
6.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，所述流道为直线形通道；所述直线形通道的两端开设有所述流道入口和所述流道出口，所述两个以上形变区沿所述直线形通道的长度方向依次布设。
7.根据权利要求1或6所述的压电泵，其特征在于，所述形变区的流道壁上开设有贯穿至外界的第一开孔，所述第一开孔内...
【专利技术属性】
技术研发人员：王权，王振华，韩超，龚威，杨枢，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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