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本公开提供了一种压电泵、控制方法、控制装置及存储介质,涉及流体泵技术领域。本公开涉及的压电泵包括流道,所述流道包括流道入口、流道出口以及位于所述流道入口和所述流道出口之间的两个以上形变区,所述形变区包括压力传感器且所述形变区的至少部分流道壁...该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。
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