【技术实现步骤摘要】
本技术涉及干泵,具体为一种具有导引结构的干泵。
技术介绍
1、干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵,用于在某一封闭空间中改善、产生和维持真空。半导体产品制造过程中所需的真空系统,需要具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等功能,因此油封式机械泵无法满足半导体产业。
2、干泵在使用时有时需要对进气口的高度进行调节更好的使用,而现有的进气口未设置有导向机构,当需要进行位置调节时工作人员要进行手动调节,在调节完毕后又需要重新对其进行重新固定较为繁琐;鉴于此,我们需要一种具有导引结构的干泵。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种具有导引结构的干泵,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有导引结构的干泵,包括车体,车体上固定安装有泵体,泵体的外壁上固定安装有固定板,固定板的外壁与承载弹簧的一端固定连接,承载弹簧的另一端上固定连接有支撑架,支撑架的外壁上固定安装有固定块,固定块上固定安装有紧固环,泵体的外壁上设置有调节机构
...【技术保护点】
1.一种具有导引结构的干泵,包括车体(1),车体(1)上固定安装有泵体(2),其特征在于:所述泵体(2)的外壁上固定安装有固定板(3),固定板(3)的外壁与承载弹簧(4)的一端固定连接,承载弹簧(4)的另一端上固定连接有支撑架(5),支撑架(5)的外壁上固定安装有固定块(6),固定块(6)上固定安装有紧固环(7),所述泵体(2)的外壁上设置有调节机构(8),调节机构(8)包括有:
2.根据权利要求1所述的一种具有导引结构的干泵,其特征在于:挤压弹簧(82)的端部固定安装有限位杆(83),限位杆(83)贯穿套筒(81)的内部。
3.根据权利要求2
...【技术特征摘要】
1.一种具有导引结构的干泵,包括车体(1),车体(1)上固定安装有泵体(2),其特征在于:所述泵体(2)的外壁上固定安装有固定板(3),固定板(3)的外壁与承载弹簧(4)的一端固定连接,承载弹簧(4)的另一端上固定连接有支撑架(5),支撑架(5)的外壁上固定安装有固定块(6),固定块(6)上固定安装有紧固环(7),所述泵体(2)的外壁上设置有调节机构(8),调节机构(8)包括有:
2.根据权利要求1所述的一种具有导引结构的干泵,其特征在于:挤压弹簧(82)的端部固定安装有限位杆(83),限位杆(83)贯穿套筒(81)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种具有...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈刚,马学龙,
申请(专利权)人:陆芯真空技术苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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