一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，涉及扫描电镜领域。提供一种能够固定样品并便于区分样品的用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台。该样品台包括基台，基台中心设置有安装结构,基台的顶面上设置有内外标记、周向标记和多个样品孔,样品孔的形状为半球形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔，同层的样品孔均匀间隔布置,内外标记用于标记样品孔的内外位置，周向标记用于标记样品孔的周向位置。基台上的球形孔为球形或类球形样品提供匹配的固定位，样品放入样品孔，不易移动；再通过导电胶可将样品牢固地固定到样品台上。牢固地固定到样品台上。牢固地固定到样品台上。

【技术实现步骤摘要】
一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台


[0001]本技术涉及扫描电镜领域，尤其涉及一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台。

技术介绍

[0002]扫描电镜主要用于样品表面微观形貌观察和显微结构分析。扫描电镜具有分辨率高、视野大、样品制备简单以及综合分析能力强等优点，在材料学、物理学、生物学以及微加工等领域有广泛应用。扫描电镜测试的过程包括将样品固定到样品台上，对不导电样品进行喷金操作，然后将样品放入扫描电镜仓中进行测试。为了获得好的扫描电镜成像结果，样品的制备和固定至关重要。针对不同形状(比如：粉末、薄膜、块体等)的样品固定，需选取相应的平面或截面样品台，通过导电胶将样品固定到样品台上，用于后续扫描电镜测试。但对于一类球形或类球形的样品，市面上尚缺乏相对应的样品台。球形或类球形样品由于其弧形底面与普通类型样品台的接触面积小，使其固定不牢固，在测试的过程中可能发生图像漂移的情况，甚至出现样品掉落到扫描电镜仓中造成污染。此外，当样品数量较多时，多批次制样将导致喷金、人力和时间的浪费，而一次制备多个样品受扫描电镜有限的低倍视窗影响，容易造成样品混淆的问题。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：提供一种能够固定样品并便于区分样品的用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台。
[0004]为解决上述问题采用的技术方案是：一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台包括基台，基台中心设置有安装结构,基台的顶面上设置有内外标记、周向标记和多个样品孔,样品孔的形状为半球形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔，同层的样品孔均匀间隔布置,内外标记用于标记样品孔的内外位置，周向标记用于标记样品孔的周向位置。
[0005]进一步的是：各样品孔的半径不同。
[0006]进一步的是：内外标记包括标记线以及位于标记线上的英文字母；周向标记为数字。
[0007]进一步的是：基台的形状为圆形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个圆形线布置。
[0008]进一步的是：基台的形状为正方形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个正方形线布置。
[0009]进一步的是：基台的形状为正方形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个圆形线布置。
[0010]进一步的是：安装结构为螺纹盲孔。
[0011]进一步的是：基台的底面上设置有内外标记、周向标记和多个样品孔，基台的底面
的内外标记、周向标记和样品孔的设置方式与基台顶面的内外标记、周向标记和样品孔的设置方式相同。
[0012]进一步的是：一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台包括固定堵头，安装结构为螺纹通孔，固定堵头与螺纹通孔连接。
[0013]本技术的有益效果是：1、基台上的球形孔为球形或类球形样品提供匹配的固定位，样品放入样品孔，不易移动；再通过导电胶可将样品牢固地固定到样品台上。可避免样品固定不牢导致的测试的过程中发生图像漂移，或掉落到扫描电镜仓中造成污染和样品丢失等问题。
[0014]2、样品孔设置多个，各样品孔可以是不同直径；或者几个样品孔直径相同，形成几组直径不同的样品孔。从而样品台可以放置多个样品，多个样品可以是直径不同的。此后的检测过程中，移动基台即可进行多个样品的检测，可提高检测效率，降低检测成本。内外标记和周向标记可以准确对各个样品进行位置标记，方便根据定位需要的样品；也方便对样品进行编号和记录，保证记录信息准确；从而可避免样品定位或记录错误。
附图说明
[0015]图1是用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台的第一种顶面图；
[0016]图2是用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台的第二种顶面图；
[0017]图3是用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台的第三种顶面图；
[0018]图4是用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台的第一种截面图；
[0019]图5是用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台的第二种截面图；
[0020]图6是用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台安装状态图；
[0021]图中标记为：基台1、样品孔2、安装结构3、内外标记4、英文字母5、标记线6、周向标记7、固定堵头8、安装螺杆9。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明。
[0023]如图1至图4所示，一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台包括基台1，基台1中心设置有安装结构3,基台1的顶面上设置有内外标记4、周向标记7和多个样品孔2,样品孔2的形状为半球形，各样品孔2沿以基台1中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔2，同层的样品孔2均匀间隔布置,内外标记4用于标记样品孔2的内外位置，周向标记7用于标记样品孔2的周向位置。
[0024]基台1上的球形的样品孔2为球形或类球形样品提供匹配的固定位，样品放入样品孔2，不易移动；再通过导电胶可将样品牢固地固定到样品台上。可避免样品固定不牢导致的测试的过程中发生图像漂移，或掉落到扫描电镜仓中造成污染和样品丢失等问题。
[0025]样品孔设置多个，各样品孔2可以是不同直径；或者几个样品孔2直径相同，形成几组直径不同的样品孔2。从而样品台可以放置多个样品，多个样品可以是直径不同的。此后的检测过程中，移动基台1即可进行多个样品的检测，可提高检测效率，降低检测成本。内外标记4和周向标记7可以准确对各个样品进行位置标记，方便根据定位需要的样品；也方便对样品进行编号和记录，保证记录信息准确；从而可避免样品定位或记录错误。
[0026]内外标记4和周向标记7的具体设置方式可以如下：内外标记4包括标记线6以及位于标记线6上的英文字母5；周向标记7为数字。如此放入样品孔2的样品可以标记为A1、A2、A3
…
B1、B2、B3等。内外标记4和周向标记7当然可以是其他的形式，例如罗马数字等。
[0027]基台1及样品孔的具体设置方式可以有以下几种。第一种为基台1的形状为圆形，各样品孔2沿以基台1中心为中心的多个圆形线布置。第二种为基台1的形状为正方形，各样品孔2沿以基台1中心为中心的多个正方形线布置。第三种为基台1的形状为正方形，各样品孔2沿以基台1中心为中心的多个圆形线布置。
[0028]安装结构3可以为常规的螺纹盲孔，与扫描电镜上的安装螺杆9匹配。
[0029]为了能够设置更多不同直径的样品孔2，如图5所示优选基台1的底面上设置有内外标记4、周向标记7和多个样品孔2，基台1的底面的内外标记4、周向标记7和样品孔2的设置方式与基台1顶面的内外标记4、周向标记7和样品孔2的设置方式相同。
[0030]基台1的底面的样品孔2的设置方式与基台1顶面的样品孔2的设置方式相同是指布置方式相同，孔的直径一般应当是不同的。将基台1翻面安装，基台1的底面向上，即可使用基台1底面的孔。
[0031]为了适应基台1正反面安装，安装结构3应当做相应的设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，包括基台(1)，基台(1)中心设置有安装结构(3),其特征在于：包括固定堵头(8)，基台(1)的顶面上设置有内外标记(4)、周向标记(7)和多个样品孔(2),样品孔(2)的形状为半球形，各样品孔(2)沿以基台(1)中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔(2)，同层的样品孔(2)均匀间隔布置,内外标记(4)用于标记样品孔(2)的内外位置，周向标记(7)用于标记样品孔(2)的周向位置；基台(1)的底面上设置有内外标记(4)、周向标记(7)和多个样品孔(2)，基台(1)的底面的内外标记(4)、周向标记(7)和样品孔(2)的设置方式与基台(1)顶面的内外标记(4)、周向标记(7)和样品孔(2)的设置方式相同；安装结构(3)为螺纹通孔，固定堵头(8)与螺纹通孔连接。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：余凌竹，鲁建，谭言飞，孟国龙，路姣，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：新型
国别省市：