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基板固定装置制造方法及图纸
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文档序号:37508057
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本发明涉及一种基板固定装置,其能够实现马达的小型化,并且能够精密地控制基板相对于离子束的倾斜。本发明的基板固定装置具备:固定架,其固定被照射离子束的基板;以及驱动机构,其使固定架绕规定的轴旋转,来改变所固定的基板相对于离子束的倾斜;驱动机构...
该专利属于日新离子机器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。
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