【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及离子源，尤其涉及用于离子注入装置的离子源。
技术介绍
1、在平板显示器制造工序、半导体制造工序中使用的离子注入装置以将生成离子束的离子源固定于装置主体的方式进行组装。以往，在进行配置于离子源内的部件的更换作业、离子源内部的清扫作业等的情况下，在从装置主体卸下离子源并进行了该作业之后，再次将离子源安装到装置主体。这样，作为在进行离子源相对于装置主体的拆装作业时使用的离子源的移动机构，已知有专利文献1所公开的移动机构。
2、专利文献1所公开的移动机构具备使用链滑车(chain block)能够使悬挂在链上的离子源在垂直方向以及水平方向上移动的悬挂机构。该移动机构构成为：将离子源的一部分悬挂到链上之后，驱动链滑车，逐渐地吊起离子源，由此能够将离子源从倒伏姿态改变成立起姿态。另外构成为：在用链悬挂离子源的状态下逐渐地放下链，由此将离子源从立起姿态改变成倒伏姿态。
3、在以往的离子源中，在进行离子源内部的维护作业的情况下，例如需要使用专利文献1所公开的移动机构，从装置主体卸下离子源整体，在进行了规定的作业后，...
【技术保护点】
1.一种离子源，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于，
4.根据权利要求2或3所述的离子源，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种离子源，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，
3....
【专利技术属性】
技术研发人员：西村一平，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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