离子源移动装置及离子植入装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及离子源移动装置及离子植入装置,目的在于能够令离子源平稳地升降，使对装置本体装卸离子源的作业的作业性提升。本发明专利技术的离子源移动装置是能对于要以在第一水平方向与装置本体对置的方式固定至装置本体且具有腔室的离子源，能够使该离子源以一边使离子源的重心升降并一边使相对于装置本体的倾斜度变化的方式移动；该离子源移动装置构成为具备：支持构件，能支持固定在腔室的外侧的第一被支持构件；可动构件，连结在支持构件；及升降机构，能一边限制可动构件往与既定的第二方向交叉的方向移动，并一边使可动构件沿第二方向升降移动。升降移动。升降移动。

【技术实现步骤摘要】
离子源移动装置及离子植入装置


[0001]本专利技术涉及有关能在对装置本体装卸离子(ion)源的作业中使用的离子源移动装置及具备该离子源移动装置的离子植入装置。

技术介绍

[0002]平面显示器(flat panel display)制程和半导体制程中所使用的离子植入装置是将产生离子束(beam)的离子源固定至装置本体来组装。此外，当进行配置在离子源内部的零件的更换作业时和进行离子源内部的清扫作业等时，必须在将离子源从装置本体拆除并进行上述作业后，重新将离子源安装回装置本体。就在将离子源安装至装置本体的作业时或将离子源从装置本体拆除的作业时使离子源移动的移动机构而言，已知有下述的专利文献1揭示的移动机构。
[0003]下述的专利文献1揭示的移动机构具备使用链条吊车(chain block)而能够令通过链条垂吊起来的离子源沿铅直方向及水平方向移动的垂吊机构。该移动机构构成为在将链条钩挂在离子源的一部分后，驱动链条吊车将离子源慢慢地吊起，据此能够将离子源从倒伏姿势改变成立起姿势。此外，构成为在将离子源以链条垂吊起来的状态下慢慢地降下链条，据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子源移动装置，对于要以在第一水平方向与离子植入装置的装置本体相对置的方式固定至所述离子植入装置的装置本体且具有腔室的离子源，使所述离子源以一边使所述离子源的重心升降并一边使其相对于所述装置本体的倾斜度变化的方式移动；所述离子源移动装置具备：支持构件，能支持固定在所述腔室的外侧的第一被支持构件；可动构件，连结在所述支持构件；及升降机构，能一边限制所述可动构件往与既定的第二方向交叉的方向移动，并一边使所述可动构件沿所述第二方向升降移动。2.根据权利要求1所述的离子源移动装置，其中，一对所述第一被支持构件分别固定在所述腔室的在水平方向相对置的一对侧壁；所述可动构件构成为能在所述支持构件将各所述第一被支持构件一起支持的状态下沿所述第二方向移动。3.根据权利要求1所述的离子源移动装置，其中，所述第二方向为铅直方向；且构成为在所述离子源固定在所述装置本体的状态下而从侧视观看时，所述离子源的重心与所述第一被支持构件沿铅直方向位在同一直线上。4.根据权利要求2所述的离子源移动装置，其中，所述第二方向为铅直方向；且构成为在所述离子源固定在所述装置本体的状态而从侧视观看时，所述离子源的重心与所述第一被支持构件沿铅直方向位在同一直线上。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村一平，小野田正敏，丹羽雄一，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：