【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种带状束流离子源电源控制系统，尤其的涉及离子注入机，属于半导体器件制造设备领域。
技术介绍
离子源是离子注入机的ー个重要部件，其作用在于使需要注入的物质(如硼、磷、神)的原子电离成为离子，其性能好坏对整机的性能影响极大，尤其对束流的強度、品质、束流能量及整机注入的稳定性有着决定性的影响。离子源的性能，除与本身的结构设计有关外，还与使气体电离产生离子的灯丝电源、偏压电源和弧压电源有极大关系。对这几个电源的控制是离子源能产生所需离子的关键。带装束流离子源要求从离子源发出的离子束具有较大的宽度，本专利所涉及的离子源束流宽度超过了 300mm，为了使离子源产生较为均匀 的束流，满足集成电路エ艺和生产的要求，必须保证离子源电源控制系统的稳定和高效。
技术实现思路
本专利技术即是针对上述要求而提出的ー种结构简单、可靠性高的帯状束流离子源电源控制系统。本专利技术通过以下技术方案来实现一种带状束流离子源电源控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源出)。所述的光纤通信控制卡(2)插在主控计算...
【技术保护点】
本专利技术提供一种带状束流离子源电源控制系统，包括：主控计算机(1)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)。其特征在于灯丝电源(4)是两个，偏压电源(5)是两个，弧压电源(6)是一个。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张继恒，唐景庭，孙勇，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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