本实用新型专利技术是一种测试探针卡,该测试探针卡包含有可彼此组装、拆卸的一转接模组与一探针模组;其中该转接模组中主要系以一固定框提供一线路转接板组设其中,该探针模组主要系于一框体中装设一介面层与一探针组件,再藉由一固定框装设于转接模组的固定框上,且使该线路转接板、介面层与该探针组件构成电性连接;因此,当操作人员欲更换本实用新型专利技术中的构件时,可先拆离该转接模组与探针模组,并对其中的构件进行更换,更换后再组装转接模组与探针模组即可,或采取转接模组或探针模组整个模组更换的方式进行;是以,本实用新型专利技术不需将所有的构件一一拆离,系有效提升构件替换作业的速度与效率。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
本技术是一种测试装置,特别是指一种用于晶圆检测用途的测试探针卡。
技术介绍
晶圆测试机系用于检测晶圆良率的机具,主要系以探针接触待测晶圆中的每一晶片单元上的接点,并施以检测信号以对晶圆进行功能性检测,进而筛选出不良品。请参考图10所示的一现有晶圆测试机的探针卡,该探针卡主要在一配线基板50 下侧设置一固定座51,该固定座51具有一朝下的开口 510,该固定座51内部设有上下堆迭的一介面层52与一线路转换板53,该配线基板50、介面层52与该线路转换板53皆设有导电接点而彼此构成电性接触;又,该固定座51的开口 510中设有一探针组件M,该探针组件M系由设置在该固定座51下侧的限位板55顶掣在该固定座51的开口 510中,并使探针组件M上的复数探针与该线路转换板53的导电接点构成电性接触,其中该固定座51与限位板55系由螺栓56锁固在配线基板50上。操作时,探针组件M上的探针将接触待测晶圆,并可由一微电脑对待测晶圆传送测试信号,测试信号自配线基板50经由介面层52、线路转换板53与探针组件M而传送到待测晶圆,待测晶圆的反应信号再由探针组件M回传到微电脑,由微电脑进行功能性分析,藉此进行晶圆的检测目的。若介面层52、线路转换板53与探针组件M其中的一构件损坏而必须更换时,因该固定座51与该限位板55仅由螺栓56锁固在配线基板50上,必须先将螺栓56拆离,此时固定座51、介面层52、线路转换板53、探针组件M与限位板55将彼此分离,从而将损坏的构件替换为可正常使用的构件;然而,因固定座51、介面层52、线路转换板53、探针组件M 与限位板55已呈分离的态样,又因无法判别介面层52、线路转换板53与探针组件M中的何构件损坏,造成作业人员须逐一进行检测,再将损坏的构件予以更换后,将前述所有构件重新安装组合在配线基板50,造成作业上的繁琐不便。此外,当组设线路转换板53于介面层52上时,为确保介面层52、线路转换板53与探针组件M间的导电接点系正确电连接,介面层52与线路转换板53间的导电接点必须经过一次校正;又,当组设探针组件M于线路转换板53上时,探针组件M与线路转换板53 间的导电接点必须再经过一次校正,因此校正步骤繁复,造成使用上的不便。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种测试探针卡,希望改善现有探针卡于介面层、 线路转换板与探针组件中的任一构件损坏时,须全部构件拆解且逐一检测后,再将每一构件重新组装的作业繁琐不便等问题,以及组装过程中校正步骤繁复的问题。为达前揭目的,本技术所采用的技术手段是提供一种测试探针卡,其包含有一转接模组,包含有一固定框,其中间部位形成一镂空区;及一线路转接板,系可拆组的装设在该固定框中,该线路转接板于相应固定框的镂 空区处设有复数转接线路,每ー转接线路于线路转接板相対的两侧面分別形成接点;以及一探针模組,包含有ー框体,其中间部位形成有一镂空区;一介面层,设置在该框体中,该介面层中具有复数中介线路,每一中介线路于介面 层相对的两侧面分別形成接点;一探针组件,设置在该框体中,该探针组件包含有复数探针,每ー探针与介面层中 相应的中介线路的接点形成电性接触;及一固定板,提供框体、探针组件与介面层组设其中,该固定板相应于探针组件的复 数探针处形成ー开ロ,探针模组以固定板组设于转接模组的固定框上,介面层的每一中介 线路的接点与线路转接板相应的转接线路的接点构成电性接触。所述的测试探针卡,其中该探针组件上设有复数窥孔,且该复数探针设置在该复 数窥孔所围的区域内,该介面层于窥孔对应的位置设有定位參考点。藉由前述测试探针卡设计,其主要系利用转接模组及探针模组两独立模组组装而 成的构造,若当线路转接板、介面层或探针组件中的任一或以上有损坏的情况而欲更换吋, 系可先将转接模组及探针模组彼此拆离,进而独立替换线路转接板、介面层或探针组件,或 以个别模组直接更换;因此,相较于先前技木,本技术避免将测试装置整体完全拆离, 并可以模组化方式替换,而可提升重新组装本技术的速度与便利性,井能有效提升作 业效率。此外,因探针组件与介面层系组设在框体上,又探针组件上设有复数窥孔,且该介 面层于窥孔对应的位置设有定位參考点,组装时,只须将窥孔与定位參考点间进行对准较 正,即可确保介面层与探针组件正确连接,相较于先前技木,系方便许多。附图说明图1 本技术测试探针卡的一较佳实施例立体分解示意图;图2 图1所示测试探针卡较佳实施例与一电路载板的立体分解图;图3 图2组合立体外观图;图4:图2局部放大平面示意图;图5:图4的剖视示意图;图6 图5局部放大示意图;图7 本技术中的电转接板立体外观图;图8 本技术中的电转接板另ー立体外观图;图9 本技术中的较佳实施例使用状态示意图;图10 现有晶圆测试装置部视示意图。附图主要标号说明1转接模组10电路载板100接点11固定框110镂空区111外环槽112设置槽12线路转接板120接点2探针模组20框体200底框01上框202镂空区203定位凹部204定位槽205容置槽206镂空区207延伸部21探针组件210陶瓷板211探针212窥孔213弹簧22界面层220定位参考点221上导电接点222下导电接点23固定板230 开口Ml容槽232 缺 Π50配线基板510 开口51固定座52上电转接板53下电转接板54探针组件55限位板56螺栓具体实施方式请参考图1所示的较佳实施例,本技术测试探针卡包含有一转接模组1及一探针模组2。该转接模组1包含有一固定框11及一线路转接板12。其中该固定框11的中间部位形成镂空区110,于本较佳实施例中,该固定框11于镂空区110上侧再外扩形成一较大外环槽111,于镂空区110下侧尚可再外扩形成一设置槽 112(如图5所示)。该线路转接板12系设置在该固定框11的镂空区110中,或如本较佳实施例,令线路转接板12组设于镂空区110的设置槽112中,线路转接板12于相应固定框11的镂空区 110处设有复数转接线路,每一转接线路于线路转接板12相对的两侧面分别形成接点120。该探针模组2包含有一框体20、一探针组件21、一介面层22与一固定板23。其中该框体20可为单一构件或为复数构件的组合体,于本较佳实施例中,该框体20包含有一底框200及一上框201。该底框200系形成一椭圆的环状体,且其中间部位形成一矩形的镂空区202,底框200上侧于矩形镂空区202的相对长边外围分别形成一定位凹部 203,于两相对短边上侧形成定位槽204,且底框200下侧于镂空区202外围再形成一容置槽205(如图5所示)该上框201系一矩形框体,其中间部位形成有一镂空区206,该上框 201系设置在该底框200上侧,并位在底框200的镂空区202中,该上框201四个端部形成延伸部207以供设置在底框200的定位槽204中。该探针组件21设置在该框体20中,其包含有单一陶瓷板210以及复数个探针211。该陶瓷板210系设置在该底框200与上框201上侧,并容置在底框200的定位凹部203 中,该陶瓷板210的外环处形成有复数纵向贯穿的窥孔212,且该陶瓷板210外环处的厚度于相邻窥孔212之间形成较薄;该复数探针211系本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种测试探针卡,其特征在于,其包含有:一转接模组,包含有:一固定框,其中间部位形成一镂空区;及一线路转接板,系可拆组的装设在该固定框中,该线路转接板于相应固定框的镂空区处设有复数转接线路,每一转接线路于线路转接板相对的两侧面分别形成接点;以及一探针模组,包含有:框体,其中间部位形成有一镂空区;一介面层,设置在该框体中,该介面层中具有复数中介线路,每一中介线路于介面层相对的两侧面分别形成接点;一探针组件,设置在该框体中,该探针组件包含有复数探针,每一探针与介面层中相应的中介线路的接点形成电性接触;及一固定板,提供框体、探针组件与介面层组设其中,该固定板相应于探针组件的复数探针处形成一开口,探针模组以固定板组设于转接模组的固定框上,介面层的每一中介线路的接点与线路转接板相应的转接线路的接点构成电性接触。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王嘉煜,卢忻杰,李荣富,
申请(专利权)人:颖崴科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71
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