【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种固化装置，特别涉及一种悬臂式探针卡固化装置。
技术介绍
随着我国集成电路产业链迅猛发展，作为该产业链中的重要一环一芯片测试设备在市场的份额不断扩大，悬臂式探针卡的需求量也快速增加。悬臂式探针卡作为集成电路工艺领域重要器件，被用在集成电路尚未封装之前，对半导体晶圆上电阻、电容、晶体管等器件的电性参数进行测量。悬臂式探针卡一般包括与晶片上的电极接触的探针和向该探针发送检测信号的电路板。在放探针过程中，环氧树脂会流到针杆上造成探针的针尖到环氧树脂的长度不一致，并在切割多余的环氧树脂过程中很容易损伤探针，另外切割多余的环氧树脂过程需要很长的操作时间。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种悬臂式探针卡固化装置，其保证环氧树脂不流到探针的针尖上，节省时间且提高工作效率。为解决所述技术问题，本技术提供了一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于，其包括放针架和树脂薄膜贴，树脂薄膜贴粘贴在放针架的中间。优选地，所述放针架的形状为凹口状。本技术的积极进步效果在于本技术悬臂式探针卡固化装置保证环氧树脂不流到探针的针尖上，省去加工架子的成本和提高了工作效率。附图说明图1...
【技术保护点】
１．一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于，其包括放针架和树脂薄膜贴，树脂薄膜贴粘贴在放针架的中间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张宛平，张雷，
申请(专利权)人：上海依然半导体测试有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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