一种气敏测试复合探针及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种气敏测试复合探针及其应用，包含探针架、探针底座以及调节螺杆。其探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4。结构简单，可用板材简单加工而成；探针悬臂梁有一定弹性，可便于调节探针力度；探针高度可通过改变螺杆在调节孔中不同位置以及螺母和支撑弹簧，而方便的获得；多根探针的设置，可一次性实现多个传感器器件性能的测量。

【技术实现步骤摘要】
专利
本专利技术属于半导体敏感元件测试领域，尤其涉及一种气敏测试复合探针及其应用，一种半导体气敏元件测试系统的测试电极。
技术介绍
半导体金属氧化物气体传感器由于具有成本低、响应时间和恢复时间快、小型化、低能耗等特点，近年来在大气和室内环境监测、企业安全生产、医疗等领域的应用越来越广泛。半导体气体传感器有旁热式、薄膜式等多种形式。薄膜式由于可用丝网印刷等方式大面积加工，因此具有广泛的应用。对于薄膜气体传感器的性能测试，一般在传感器基片底部镀有导电电极，而外部测试仪通过探针与电极相连，来测量气氛的变化过程中，传感器电阻的变化。目前相关的测试仪，探针多采用光学的探针台结构，可多维度调节探针位置，但是结构复杂，体积较大，价格较为昂贵。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种气敏测试复合探针，一种用于气体传感器性能测试的复合探针。该探针结构简单，位置可调，价格便宜，且带多个探针，可同时测量多个传感器性能。一种气敏测试复合探针，其特征在于包含探针架、探针底座以及调节螺杆。其探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4。其探针底座包括探针底座板6、与探针底座板垂直折弯的带孔的一对下支架7以及在探针底座板中部与探针底座板垂直的带孔的一对螺杆支架8。其调节螺杆包括螺杆9、与螺杆末端连接的开孔的转动环10、套在螺杆外面的弹簧11以及调节高度的螺母12。一种气敏测试复合探针用于气体传感器性能测试的应用。本专利技术具有如下优点：1、结构简单，可用板材简单加工而成；2、探针悬臂梁有一定弹性，可便于调节探针力度；3、探针高度可通过改变螺杆在调节孔中不同位置以及螺母和支撑弹簧，而方便的获得；4、多根探针的设置，可一次性实现多个传感器器件性能的测量。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作出详细的说明，其中：图1为本专利技术较佳实施例的探针架结构示意图；图2为本专利技术较佳实施例的探针底座结构示意图；图3为本专利技术较佳实施例的调节螺杆结构示意图；图4为本专利技术较佳实施例的复合探针整体示意图。具体实施方式如图1-4所示，为本专利技术较佳实施例的结构示意图，所述的一种气敏测试复合探针，包含探针架、探针底座以及调节螺杆等。所述的探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4；所述的探针底座包括探针底座板6、与探针底座板垂直折弯的带孔的一对下支架7以及在探针底座板中部与探针底座板垂直的带孔的一对螺杆支架8；所述调节螺杆包括螺杆9、与螺杆末端连接的开孔的转动环10、套在螺杆外面的弹簧11以及调节高度的螺母12。复合探针，通过插销将探针架与探针底座连接在一起，调节螺杆连接在探针底座，通过改变螺杆在调节孔中不同位置，同时通过螺母的调节以及弹簧的压力，可调节探针架的高度，进而调节探针高度，实现探针与传感器基片的接触，便于传感器性能的测试。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气敏测试复合探针，其特征在于包含探针架、探针底座以及调节螺杆。

【技术特征摘要】
1.一种气敏测试复合探针，其特征在于包含探针架、探针底座以及调节螺杆。2.按照权利要求1所述的一种气敏测试复合探针，其特征在于，其探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4。3.按照权利要求1所述的一种气敏测试复合探针，其特征在于，其探...

【专利技术属性】
技术研发人员：何丹农，尹桂林，卢静，金彩虹，
申请(专利权)人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31