一种硅片脱胶机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片脱胶机，该硅片脱胶机的滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。采用本实用新型专利技术，可以通过加热管保持脱胶槽内的水恒温，而且采用机械化操作方式，控制稳定，减少硅片在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片脱胶机，它包括直立轨道、滑动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件，其特征在于滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐增宏，王土军，余城伟，
申请(专利权)人：浙江硅宏电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]