晶圆测试装置以及具有该装置的处理设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种晶圆测试装置以及具有该装置的处理设备。该晶圆测试装置包含晶圆转移部，后者沿转移路径转移晶圆，且位于待转移晶圆的边缘附近，其检查晶圆边缘是否存在裂纹或颗粒，并区分裂纹与颗粒。晶圆测试装置中设置有检查器，当存在裂纹或颗粒时，检查器沿另一转移路径取出晶圆。此外，本发明专利技术提供具有该晶圆测试装置的处理设备，其可检查即将送入一组制程的晶圆的质量，并根据质量检查结果判定是否应将晶圆送入处理腔室或下一组制程、或是将晶圆自其中取出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术有涉及一种处理设备，特别是涉及一种如下所述的晶圆测试装置以及具有 此装置的处理设备，所述晶圆测试装置可检查即将送入一组制程的晶圆的质量，并根据质 量检查结果判定是否应将晶圆送入处理腔室或下一组制程、或是将晶圆自其中取出。
技术介绍
通常薄膜晶体管液晶显示器包含其上形成薄膜晶体管的下部玻璃基板、其上形成 彩色滤光片的上部玻璃基板及位于下部玻璃基板与上部玻璃基板之间的液晶。用于搁置薄膜晶体管及彩色滤光片的所述玻璃基板在进行一列处理时，其边缘将 有所受损，因此当边缘受损或有其它受损情况的所述玻璃基板进入下一制程或处理腔室 时，会出现如下问题，即，玻璃基板在腔室中或在接近下一制程的某一空间处可能碎裂。通常而言，其恢复将非常耗时。此外，视觉检查是检查基板状态的传统方法。若仅仅藉由视觉检查来观察玻璃基板的边缘受损或有其它受损情况(如裂纹)， 则会将基板上的外来物质(如颗粒)误认为是受损，而其原本可于下一清除制程中加以清 除。同样，当碎裂的玻璃或来自外部或内部的颗粒粘附于玻璃基板顶面时，碎裂玻璃 等将损坏后续制程中使用的设备。基于上述缘由，设备的运作时间将延长，且设备的维护、修理成本将本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆测试装置，包括：晶圆转移部，其沿转移路径转移晶圆；检查器，位于待转移晶圆的边缘附近，其检查所述晶圆的所述边缘中是否存在裂纹或颗粒，并区分裂纹与颗粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李淳钟，禹奉周，
申请(专利权)人：塞米西斯科株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]