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本发明提供一种晶圆测试装置以及具有该装置的处理设备。该晶圆测试装置包含晶圆转移部，后者沿转移路径转移晶圆，且位于待转移晶圆的边缘附近，其检查晶圆边缘是否存在裂纹或颗粒，并区分裂纹与颗粒。晶圆测试装置中设置有检查器，当存在裂纹或颗粒时，检查器...
该专利属于塞米西斯科株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过塞米西斯科株式会社授权不得商用。

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