硅芯盛载装置制造方法及图纸

技术编号:4917477 阅读:143 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种硅芯盛载装置,包括:左转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在所述左右转动轮盘通孔内的中心轴;至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘,所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。本实用新型专利技术采用直接放入或从侧面垂直插入的方式将硅芯放入硅芯盛载蓝中,保证硅芯在腐蚀处理过程中不接触在一起,使硅芯在整个腐蚀处理过程中没有死点,腐蚀处理更彻底。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅材料加工中使用的盛载装置,尤其涉及一种用于 硅材料清洗设备中的硅芯盛载装置
技术介绍
现有硅材料清洗设备中,硅芯在腐蚀处理过程中容易接触在一起,导致 腐蚀不完全,影响产品质量。因此,如何在硅芯材料腐蚀处理过程中使硅芯 相互隔开,保证整个腐蚀处理过程中没有死点,是业内亟待解决的一个技术 问题。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述现有技术中存在的问题,提出一种硅芯盛 载装置,该装置能保证硅芯在腐蚀处理过程进行的更彻底。本技术采用的技术方案是设计一种硅芯盛载装置,该装置包括左 转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在 左右转动轮中心孔之间的中心轴;至少两个套设在该中心轴上的硅芯圓盘, 所述硅芯圓盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。在本技术的一个实施例中,所述硅芯圆盘上的腔体向外设置有开 口 ,所述的硅芯圆盘上设置有两个可打开/封闭所述腔体开口的转动盖板。在本技术的另一个实施例中,所述硅芯圆盘上的腔体为封闭孔,所 述的左右转动轮盘上设置有与所述腔体上的封闭孔对应的插孔。与现有技术相比,本技术采用直接放入或从侧面垂直插入的方式将 硅芯放入硅芯盛载蓝中,保证硅芯在腐蚀处理过程中不接触在一起,使硅芯 在整个腐蚀处理过程中没有死点,腐蚀处理更彻底。附图说明3如图对本技术进行详细的说明,其中图l是本技术一实施例的结构示意图2是沿图1中A-A方向的剖视图3是本技术另一实施例的结构示意图4是沿图3中A-A方向的剖视图。具体实施方式如图1所示,本技术设计的硅芯盛载装置包括左转动轮盘1和右 转动轮盘2,左转动轮盘中心向外側伸出一提手11,右转动轮盘中心向外侧 伸出一提手21;安装在所述左右转动轮盘通孔内的中心轴3;至少两个套设 在中心轴上的硅芯圆盘4。硅芯圆盘4的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体41。在该实施例中,腔 体向外设置有开口 ,硅芯5可直接从硅芯圆盘的圆周边放入腔体。为防止硅 芯从腔体滑出,硅芯圓盘上设置有打开/封闭腔体开口的转动盖板42。转动 盖板可以为两个或多个,该实施例中有三个。转动盖板的内侧可以设计成与 硅芯周边配合的曲面,便于硅芯水平放置后装夹。。图2为本技术的另一个实施例。在该实施例中,硅芯圆盘上的腔体 41为封闭孔,左右转动轮盘上设置有与腔体41上的封闭孔对应的插孔。硅 芯5直接从垂直左右转动轮盘的插孔中插入即可。为防止硅芯滑出,可以在 左右转动轮盘上设置防护装置。本技术适用于不同规格的圆形、方形或其它形状的硅芯处理,有效地保证了硅芯的腐蚀效果。上述公开的具体实施例仅用于说明本技术,在本技术的构思下, 还可以有多种变化,这些变化应该涵盖在本技术权利要求的保护范围之 内。权利要求1、一种硅芯盛载装置,其特征在于包括左转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在左右转动轮中心孔之间的中心轴;至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘,所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。2、 根据权利要求1所述的硅芯盛载装置,其特征在于所述硅芯圆盘上 的腔体向外设置有开口,所述的硅芯圓盘上设置有至少两个可打开/封闭所 述腔体开口的转动盖板。3、 根据权利要求2所述的硅芯盛载装置,其特征在于所述的硅芯圓盘 上设置有三个转动盖板。4、 根据权利要求1所述的硅芯盛载装置,其特征在于所述硅芯圆盘上 的腔体为封闭孔,所述的左右转动轮盘上设置有与所述腔体上的封闭孔对应 的插孔。专利摘要本技术公开了一种硅芯盛载装置,包括左转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在所述左右转动轮盘通孔内的中心轴;至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘,所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。本技术采用直接放入或从侧面垂直插入的方式将硅芯放入硅芯盛载蓝中,保证硅芯在腐蚀处理过程中不接触在一起,使硅芯在整个腐蚀处理过程中没有死点,腐蚀处理更彻底。文档编号H01L21/687GK201378590SQ20092013523公开日2010年1月6日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日专利技术者仲 余, 黄进权 申请人:深圳市捷佳创精密设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅芯盛载装置,其特征在于包括:左转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在左右转动轮中心孔之间的中心轴;至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘,所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:余仲黄进权
申请(专利权)人:深圳市捷佳创精密设备有限公司
类型:实用新型
国别省市:94[中国|深圳]

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