【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅材料加工中使用的盛载装置,尤其涉及一种用于 硅材料清洗设备中的硅芯盛载装置。
技术介绍
现有硅材料清洗设备中,硅芯在腐蚀处理过程中容易接触在一起,导致 腐蚀不完全,影响产品质量。因此,如何在硅芯材料腐蚀处理过程中使硅芯 相互隔开,保证整个腐蚀处理过程中没有死点,是业内亟待解决的一个技术 问题。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述现有技术中存在的问题,提出一种硅芯盛 载装置,该装置能保证硅芯在腐蚀处理过程进行的更彻底。本技术采用的技术方案是设计一种硅芯盛载装置,该装置包括左 转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在 左右转动轮中心孔之间的中心轴;至少两个套设在该中心轴上的硅芯圓盘, 所述硅芯圓盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。在本技术的一个实施例中,所述硅芯圆盘上的腔体向外设置有开 口 ,所述的硅芯圆盘上设置有两个可打开/封闭所述腔体开口的转动盖板。在本技术的另一个实施例中,所述硅芯圆盘上的腔体为封闭孔,所 述的左右转动轮盘上设置有与所述腔体上的封闭孔对应的插孔。与现有技术相比,本技术采用直接放入或从侧面垂直插入的方式将 硅芯放入硅芯盛载蓝中,保证硅芯在腐蚀处理过程中不接触在一起,使硅芯 在整个腐蚀处理过程中没有死点,腐蚀处理更彻底。附图说明3如图对本技术进行详细的说明,其中图l是本技术一实施例的结构示意图2是沿图1中A-A方向的剖视图3是本技术另一实施例的结构示意图4是沿图3中A-A方向的剖视图。具体实施方式如图1所示,本技术设计的硅芯盛载装置包括左转动轮盘1和右 转动轮盘2,左转动轮盘中心向外側伸出一提手11,右转 ...
【技术保护点】
一种硅芯盛载装置,其特征在于包括:左转动轮盘和右转动轮盘,左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手;安装在左右转动轮中心孔之间的中心轴;至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘,所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:余仲,黄进权,
申请(专利权)人:深圳市捷佳创精密设备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:94[中国|深圳]
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