随动喷雾装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片处理工艺中的随动喷雾装置，包括：安装在立柱上可移动的横梁；固定在横梁上的一对吊钩，该吊钩中部设置有由一组喷头组成的喷雾装置，所述的吊钩下端设置有提起／放下吊篮的挂钩。所述的横梁上还设置有控制挂钩动作和喷雾装置开启／关闭的控制器。本实用新型专利技术在硅材料进行酸或碱处理的过程中，特别是在搬运过程中，能保证硅片处于汽雾的氛围内，使硅片表面保持湿润，便于后续的清洗工作。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅材料的酸石咸处理设备，尤其涉及一种用于硅材料酸碱 处理设备中可随硅片吊篮一起移动的随动喷雾装置。
技术介绍
在硅片处理中，由于硅片在约85。C高温的NaOH或KOH液体内处理后，反 应生成物(硅酸盐)会随着硅片的提出粘附于硅片表面，硅酸盐在后续的工 序需清洗干净。硅片刚提出时，表面温度很高，且硅片很薄(0. 2mm左右)， 很容易发干。当硅片附着的硅酸盐发干后，很难在后续清洗工序中清洗干净， 从而影响硅片的表面质量和性能。因此，如何在硅片提起时防止其表面附着 的硅酸盐发干是业内亟待解决的 一个技术难题。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术中硅片上附着的硅酸盐发干后难于清洗的 技术问题，提供一种随动喷雾装置，该装置在硅片材料从处理液中提起时保 证硅片表面的湿润。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是设计一种随动喷雾 装置，包括安装在立柱上可移动的横梁；固定在横梁上的一对吊钩；和设 置在该吊钩中部由一组喷头组成的喷雾装置；以及设置在所述吊钩下端用于 提起/放下吊篮的挂钩。所述的横梁上设置有控制挂钩动作和喷雾装置开启/关闭的控制器所述的喷雾装置包括汽液混合装置。与现有技术相比，本技术在硅材料进行酸或^f威处理的过程中，特别 是在搬运过程中，能保证硅片处于汽雾的氛围内，使硅片表面保持湿润，便 于后续的清洗工作。以下结合附图和实施例对本技术做进一步的说明附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式如图1所示，本技术设计的随动喷雾装置包括安装在立柱7上， 可上下或前后移动的横梁1;固定在横梁上的一对吊钩2;设置在该吊钩中部 由一组喷头4组成的喷雾装置3;以及设置在所述吊钩下端用于提起/放下吊 篮的挂钩5。横梁1上设置有控制挂钩5动作，提起/放下吊篮的控制器，当 挂钩5从处理槽中提起装有硅片的吊篮6时，该控制器立即启动喷雾装置开 始对着吊篮中硅片进行喷雾，保证吊篮中的硅片在移动过程中保持湿润。当 挂钩5放下吊篮时，控制器关闭喷雾装置。所述的喷雾装置还包括汽液混合装置，例如，将纯水和压缩气体混合， 使喷头喷出汽液混合物的装置。工作时，喷雾装置固定在横梁的机械手横臂上，同机械手一起运动。当 机械手把硅片从化学处理槽取出后，喷雾装置在搬运过程中，对着硅片喷雾， 使硅片处于汽雾的氛围内，保持湿润，防止硅片附着的硅酸盐发千，方便后 续清洗工作。上述为本技术优选实施例，凡在此原理上改进，均落入本技术 的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种随动喷雾装置，其特征在于包括：安装在立柱上可移动的横梁；固定在横梁上的一对吊钩；设置在该吊钩中部由一组喷头组成的喷雾装置；和设置在所述吊钩下端用于提起／放下吊篮的挂钩。

【技术特征摘要】
1、一种随动喷雾装置，其特征在于包括安装在立柱上可移动的横梁；固定在横梁上的一对吊钩；设置在该吊钩中部由一组喷头组成的喷雾装置；和设置在所述吊钩下端用于提起/放下吊篮的挂钩。2、 根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，黄进权，
申请(专利权)人：深圳市捷佳创精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]