本实用新型公开了一种自动补液装置，包括一个药液恒压槽及与之连接的管路，所述药液恒压槽上设置有液位传感器，药液恒压槽下方连接输液管，并且在输液管上设有精密流量传感器；本实用新型结合了计量泵及恒压槽加注设备的结构，用恒压槽稳定添加管道压力，...

本实用新型公开了一种用于多晶硅片水平在线制绒、清洗设备中进行硅片盛放和传送的硅片承载框，其包括至少一框架、设于该框架中的支撑条。支撑条设有突出接触点。本实用新型将硅片单层放于承载框上，传送时，传送设备上的滚轮及压轮与硅片没有直接接触，而...

本实用新型公开了一种用于硅料腐蚀、清洗设备中的硅料转篮，其包括壁体上开有通孔（２）的转筒（１）、设于该转筒壁体上的进料口（３）、分别设于转筒两端的吊轴（４）。本实用新型将装有硅料的转篮置于转动机构上，通过驱使转篮的转动对硅料进行的翻动，...

本实用新型公开了一种机械手防压装置，包括：立柱、安装在立柱上可移动的横臂、固定在横臂上的吊钩、一使横臂相对立柱转动的铰接装置和一停止吊钩下行的控制装置，该控制装置包括设置在横臂尾部的触点开关、和由该触点开关接通／断开，控制吊钩下行的控制...

本实用新型公开了一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于包括：主槽（１）、副槽（２）和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵（３），所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀（４），外槽底...

本实用新型公开了一种用于硅片处理工艺中的随动喷雾装置，包括：安装在立柱上可移动的横梁；固定在横梁上的一对吊钩，该吊钩中部设置有由一组喷头组成的喷雾装置，所述的吊钩下端设置有提起／放下吊篮的挂钩。所述的横梁上还设置有控制挂钩动作和喷雾装置...

本实用新型公开了一种双层槽，包括：固定在设备上的外槽和活动套装在外槽内的内槽，所述的外槽和内槽之间设置有空腔，外槽底部设置有排液口。本实用新型设计的双层槽有效地提高了设备使用的可靠性和安全性。此外，内槽可取出，便于槽体的维护和更换，更利...

本实用新型公开了一种硅芯盛载装置，包括：左转动轮盘和右转动轮盘，左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手；安装在所述左右转动轮盘通孔内的中心轴；至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘，所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。本实用新型采用直...

本实用新型公开了一种用于硅材料的酸或碱处理设备中的水封防污染装置，它设置在硅的酸或碱处理设备内。该水封防污染装置包括：隔板和一个过渡槽，其内带有液体，隔板下部连接在过渡槽中间位置并延伸至液面以下，隔板及过渡槽均与设备内壁密闭连接，以便将...

本实用新型公开了一种用于硅材料进行酸或碱处理设备中的喷淋防污染装置，公司装置设置在酸碱处理的设备内，其包括过渡槽（１）、设于过度槽（１）中部的上方的喷淋机构（９）、设于该喷淋机构周边的隔板（５），所述的隔板及过渡槽均与所述的设备内壁连接...

一种硅片花篮，应用于硅片清洗的设备，它包括两平行侧板和连接两侧板的四根插片杆，插片杆分别固定于两侧板相向面上的两侧，且每根插片杆上均带有呈直线排布的多个菱锥锯齿，侧板间相向面的下方连接有下挡杆，上方则活动连接有上挡件；硅片在处理过程中，...

本实用新型公开了一种高效的硅片脱水干燥机构，主要由慢排干燥槽组成，在慢排干燥槽上方左右两侧各设有自动密封盖，自动密封盖可绕铰接轴９０度转动，当两自动密封盖边缘配合即构成封闭空间，自动密封盖中间设置有吹气管；在生产线上，根据工艺时间要求，...

本实用新型公开了一种硅片承载框，包括边框和设置在边框内围的加强筋，所述加强筋上设置有至少三个凸起，这些凸起的最高点仅确定一个平面，且这个平面处于边框的高度范围内；所述硅片承载框整体为聚偏氟乙烯材质注塑而成，既保证刚性，又可避免在使用中被...

本实用新型公开了一种用于硅片生产加工中，存载、周转硅片的硅片篮，其包括设于两端的固定板（１）、分别设于该固定板上端两侧的固定杆（２）、设于该固定板（１）下部的可作上下位置调整的支撑杆（３），所述固定板（１）中部的两侧纵向分别设有数个安装...

为了解决现有上位机械手的运动机构在清洗槽的上方容易被腐蚀性气体腐蚀的问题，本实用新型提出下沉式硅片化学处理机械手，其涉及一种硅原料清洗设备上的机械手。它包括吊钩、横向臂、升降臂及其升降机构、吊钩开合机构、机械手平移机构；其中一根横向臂上...