硅片脱水干燥机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效的硅片脱水干燥机构，主要由慢排干燥槽组成，在慢排干燥槽上方左右两侧各设有自动密封盖，自动密封盖可绕铰接轴９０度转动，当两自动密封盖边缘配合即构成封闭空间，自动密封盖中间设置有吹气管；在生产线上，根据工艺时间要求，可多工位设置，同时结合上下料传送机构，可实现自动化控制；本实用新型专利技术用慢排干燥槽和吹气管替代了传统的慢提机构和干燥隧道，降低了设备制造成本；在干燥处理时，硅片处于静止状态，同时由上往下平行于硅片吹气，有效提高了生产率；慢排干燥槽设置有自动密封盖，有利于保证干燥环境的洁净，减少二次污染。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种脱水干燥机构，尤其涉及一种用于硅片生产中的硅片脱水干燥机构。
技术介绍
随太阳能光伏发电技术的发展与推广，近年来制作太阳能电板的原材料-硅片的消耗 量也大幅增加。同时伴随人们对太阳能电板高光电转换率的期求，生产厂商对原料硅片的 质量要求也越来越高。如何提高硅片质量、保证较高的生产率同时有效控制成本，始终是 原料供应商思索的问题。现有在硅片生产中使用的硅片脱水干燥机构，包括机箱、连接机体内外的传送下料台、 设置在机箱内的设置了干燥隧道和慢提机构，其中慢提机构还包括提供动力的电机和慢提 托架。当放置有硅片的花篮到达脱水槽底部，电机驱动慢提机构使隄提托架緩慢上升，之 后通过慢提作用使硅片脱水，硅片和花篮由传送下料台送出设备。这种结构的缺点是在 干燥隧道搬运及干燥过程易造式硅片二次污染，且复杂的慢提机构使干燥设备造价提高； 干燥过程中慢提托架上升和下降消耗时间，设备使生产率降低。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术易造成硅片二次污染、生产率较降低的缺点，提供一种 硅片脱水干燥机构，它通过对现有设备的改进，有效提高生产率同时减少二次污染。为解决上述技术问题，本技术釆用如下技术方案硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片脱水干燥机构，包括半封闭结构的慢排干燥槽（２），其特征在于：所述慢排烘干槽（２）上方设有自动密封盖（４），自动密封盖上设置有吹气管（３）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄进权，余仲，
申请(专利权)人：深圳市捷佳创精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]