一种硅料转篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于硅料腐蚀、清洗设备中的硅料转篮，其包括壁体上开有通孔（２）的转筒（１）、设于该转筒壁体上的进料口（３）、分别设于转筒两端的吊轴（４）。本实用新型专利技术将装有硅料的转篮置于转动机构上，通过驱使转篮的转动对硅料进行的翻动，以此来保证硅料在转篮中，腐蚀和清洗的更完全、更彻底。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及承载装置，尤其涉及一种用于硅料腐蚀、清洗设备中的硅料转篮。
技术介绍
半导体硅片广泛应用于电子、通信和IT等行业。制作硅片的硅料通常需要进行腐 蚀、清洗等前序工艺的处理。在传统的前序工艺处理中，原有硅料的盛载篮大多为方篮机 构，硅料直接置于方篮(或分层置于方篮)中，硅料在工序处理中无法做到翻动，而改变接 触点，因此，对于硅料的腐蚀和清洗是不完全的。
技术实现思路
本技术为了解决上述的技术问题，提供一种可以保证硅料在前序工序处理中 能够翻动、腐蚀更完全、更彻底的硅料转篮。 为解决上述技术问题，本技术的技术方案是构造一种硅料转篮，其特包括转 筒、设于该转筒壁体上的通孔、设于该转筒壁体上的进料口、分别设于转筒两端的吊轴。 较优的，所述的转筒可以为圆柱体，也可以是正多边形柱体。 本技术将硅料盛载篮设置成圆柱体或正多边形柱体。在对硅料进行前序工艺 的腐蚀、清洗处理时，采用圆周面或侧面的方式先将硅料放入转篮，再将该转篮置于转动机 构上。该转动机构由平行设置的可以同向转动的两根转轴5构成(参阅附图说明图1和图2)。将转 篮的轴线平行转轴轴线放置于转动机构上，随着转动机构的两根转轴的同向转动；转篮便 绕自身的轴线作与转轴转向相反的转动。如此可以保证硅料在转篮中的翻动，以致硅料腐 蚀和清洗的更完全、更彻底。根据需要，还可以改变转篮的转动方向，以达到最佳效果。以下结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中 图1为本技术较佳实施例处于转动机构上的示意图； 图2为图1的侧视图。具体实施方式如图l和图2所示，为本技术较佳实施例的基本结构，所述的一种硅料转篮， 其包括转筒1，该转筒的壁体上开有通孔2，转筒壁体上沿其轴向开有用于进出硅料的进料 口3。还包括分别设于转筒两端的吊轴4，用于提吊转篮。本实施例中，转筒l采用圆柱体 结构，也可以其他采用便于转动的结构，如，可以采用正多边形柱体。 本技术将硅料盛载篮设置成圆柱体或正多边形柱体。在对硅料进行前序工艺 的腐蚀、清洗处理时，采用圆周面或侧面的方式先将硅料放入转篮，再将该转篮置于转动机 构上。该转动机构由平行设置的可以同向转动的两根转轴5构成(参阅图1和图2)。将转 篮的轴线平行转轴轴线放置于转动机构上，随着转动机构的两根转轴的同向转动，转篮便绕自身的轴线作与转轴转向相反的转动。如此可以保证硅料在转篮中的翻动，以致硅料腐 蚀和清洗的更完全、更彻底。根据需要，还可以改变转篮的转动方向，以达到最佳效果。权利要求一种硅料转篮，其特征在于，包括壁体上开有通孔(2)的转筒(1)、设于该转筒壁体上的进料口(3)、分别设于转筒两端的吊轴(4)。2. 根据权利要求l所述的硅料转篮，其特征在于，所述的转筒(1)为圆柱体或正多边形 柱体。专利摘要本技术公开了一种用于硅料腐蚀、清洗设备中的硅料转篮，其包括壁体上开有通孔(2)的转筒(1)、设于该转筒壁体上的进料口(3)、分别设于转筒两端的吊轴(4)。本技术将装有硅料的转篮置于转动机构上，通过驱使转篮的转动对硅料进行的翻动，以此来保证硅料在转篮中，腐蚀和清洗的更完全、更彻底。文档编号H01L21/00GK201440407SQ20092013056公开日2010年4月21日 申请日期2009年4月10日 优先权日2009年4月10日专利技术者余仲, 黄进权 申请人:深圳市捷佳创精密设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅料转篮，其特征在于，包括壁体上开有通孔（２）的转筒（１）、设于该转筒壁体上的进料口（３）、分别设于转筒两端的吊轴（４）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，黄进权，
申请(专利权)人：深圳市捷佳创精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]