【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学处理设备，尤其涉及一种石i^才料酸腐蚀综合处理装置。
技术介绍
在硅片、硅料与硅芯的处理中，由于硅材料与酸产生剧烈的化学反应， 若这种反应暴露于空气中，会产生氧化物浓烟，为了有效减少硅材料过久暴 露于空气，引起氧化，影响腐蚀效果，同时为了减少浓烟的溢出，腐蚀设备 和伤害人体，需要对该设备进行安全防护处理，以保证产品质量和人身安全。因此，如何设计出一种既能保证产品质量，又能保证人身安全的处理设 备是目前业内亟待解决的一个课题。
技术实现思路
本技术的目的是为克服上述现有技术中存在的问题，提出一种硅材 料酸腐蚀综合处理装置，该装置使得硅材料的腐蚀过程在一带有盖子的主槽 内进行，安全性能好。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是设计一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，包括主槽、副槽和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵；所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀，外槽底部分别设置有排酸阀和排水阀，排酸阀排出的酸液导入副槽中；所述的内槽顶部设置有防护盖、喷淋装置和进水管。在本技术的一个较佳实施例中所述的内槽上部还设置有排酸气的抽 风口；所述副槽中设置有冷却酸液的冷却装置。与现有技术相比，本技术在硅材料进行酸或碱处理的设备中，使硅 材料的腐蚀过程在一带有盖子的主槽内进行，通过快排酸及快速喷淋、注水 浸洗，使硅材料缩短与空气接触时间，减少硅材料的再次氧化，硅产品质量高，安全性好。以下结合附图和实施例对本技术做进一步的说明 附图说明图1为本技术的系统示意图。具体实施方式图1是本技术的一个实施例的示意图。本技术设计...
【技术保护点】
一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于包括：主槽（１）、副槽（２）和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵（３），所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀（４），外槽底部分别设置有排酸阀（５）和排水阀（６），排酸阀（５）排出的酸液导入副槽（２）中，所述的主槽顶部设置有防护盖（７）、喷淋装置（８）和进水管（９）。
【技术特征摘要】
1、一种硅材料酸腐蚀综合处理装置，其特征在于包括主槽(1)、副槽(2)和设置在主槽和副槽之间，用于将副槽中酸液导入主槽中的循环泵(3)，所述的主槽由相互套合的外槽和内槽组成，内槽底部与外槽间隔开并设置有排液阀(4)，外槽底部分别设置有排酸阀(5)和排水阀(6)，排酸阀(5)排出的酸液导...
【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，黄进权，
申请(专利权)人：深圳市捷佳创精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。