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本实用新型公开了一种高效的硅片脱水干燥机构，主要由慢排干燥槽组成，在慢排干燥槽上方左右两侧各设有自动密封盖，自动密封盖可绕铰接轴９０度转动，当两自动密封盖边缘配合即构成封闭空间，自动密封盖中间设置有吹气管；在生产线上，根据工艺时间要求，可多...
该专利属于深圳市捷佳创精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳创精密设备有限公司授权不得商用。

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