本发明专利技术提供了一种旋转头。卡紧销钉，安装在支承板上以支撑基板的外侧面，并沿与所述支承板的径向垂直的方向移动。在所述支承板旋转期间，施加在所述卡紧销钉的离心力作用被最小化，以便更稳定地支撑基板。
【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用 该美国非临时专利申请根据35U. S.C. § 119要求申请日为2008年11月26日、申 请号10-2008-0118072的韩国专利申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
技术介绍
在此公开的本专利技术涉及一种基板加工设备，尤其是，半导体加工工艺中支撑基板 的可旋转的旋转头。 —般而言，半导体器件的制造通过在基板上沉积各种材料形成薄层、并对该薄层 进行构图。为此需要多种工艺，这些工艺包括沉积工艺，显影工艺，蚀刻工艺和清洗工艺。 其中，蚀刻工艺为从基板上去除涂层，清洗工艺为在进行完制造半导体器件的一 组工艺之后、从基板的表面上去除杂质。蚀刻工艺和清洗工艺根据工艺类型分为湿法工艺 和干法工艺，湿法工艺分为分批型工艺(batch-type process)和旋转型工艺。 在旋转型工艺中，支撑基板的销钉部件安装在旋转头的上表面上，且该旋转头是 可旋转的、以旋转由所述销钉部件支撑的基板。化学溶液(蚀刻溶液或清洗溶液)通过设 置为朝向基板上侧的前部喷嘴和设置为朝向旋转头的背部喷嘴，供给至该基板的上表面或 下表面，从而通过此加工基板。
技术实现思路
本专利技术提供的旋转头具有简单的结构，该旋转头稳定地支撑基板。 本专利技术还提供设置有与基板接触的卡紧销钉的旋转头。 本专利技术还提供设置有与高速基板的侧部稳定接触的卡紧销钉的旋转头。本专利技术实施例提供的旋转头，包括支承板；卡紧销钉，安装在所述支承板上，以支撑基板的外侧面；和卡紧销钉移动装置，用于沿第二方向移动所述卡紧销钉，所述第二方向垂直于从所述支承板的中心指向边缘的第一方向。 在有些实施例中，所述支承板为圆形，且所述第一方向为所述支承板的径向。 在其它实施例中，所述卡紧销钉移动装置可以包括移动杆，所述移动杆的纵向沿 所述第二方向，且所述移动杆的第一端部与所述卡紧销钉连接；以及驱动部件，所述驱动 部件沿所述第二方向直线移动所述移动杆，以在支撑位置和等候位置之间移动所述卡紧销 钉。 在其它实施例中，所述驱动部件可以包括导向装置，所述导向装置连接至各个所 述移动杆的第二端部，且所述导向装置具有导向孔；和可旋转的旋转板，所述旋转板为环形 且具有驱动杆，所述驱动杆插入所述导向装置的导向孔中。 在其它实施例中，所述驱动部件还包括复位器，其中当所述旋转板旋转、以便所述 驱动杆向所述导向孔施加接触负荷以移动所述卡紧销钉至等候位置时，所述复位器将所述 旋转板旋转返回至初始位置，且所述复位器包括弹性部件，所述弹性部件的第一端与所述 旋转板连接、第二端与所述支承板连接以通过弹力产生回复力。 在其它的实施例中，所述旋转板可以具有第一锁栓，所述弹性部件的第一端固定 至所述第一锁栓，所述支承板可以具有第二锁栓，所述弹性部件的第二端固定至所述第二 锁栓，所述第二锁栓沿所述支承板的圆周方向与所述第一锁栓间隔设置，且当所述卡紧销 钉位于等候位置时，所述弹性部件保持拉伸状态。 在另外的实施例中，所述驱动部件还包括辊子，所述棍子可旋转地连接至所述驱 动杆，且与所述导向孔的内表面接触，所述辊子可由金属制造。 在另外的实施例中，所述导向孔可以具有长度大于所述辊子外径的狭槽形状，以 使与所述导向孔的第一端相接触的辊子沿所述导向孔移动，然后当所述卡紧销钉在支撑位 置和等候位置之间移动时，所述辊子接触所述导向孔的第二端。 在另外的实施例中，所述旋转板可以具有沿径向从所述旋转板的圆周表面伸出的 多个突出部，所述突出部的数目对应于所述驱动杆的数目，且所述驱动杆分别安装在所述 突出部上。 在另外的实施例中，所述驱动部件还可以包括复位器，其中当所述旋转板旋转、以 使所述驱动杆向所述导向孔施加接触负荷、从而移动所述卡紧销钉至等候位置时，所述复 位器将所述旋转板旋转返回至初始位置，所述复位器可以包括弹性部件，所述弹性部件具 有与所述突出部连接的第一端和与所述支承板连接的第二端，以通过弹力产生回复力，所 述突出部具有固定所述弹性部件的第一端的第一锁栓，所述支承板具有固定所述弹性部件 的第二端的第二锁栓，所述第二锁栓和第一锁栓沿所述支承板的圆周方向间隔设置，且当 所述卡紧销钉位于等候位置时，所述弹性部件保持拉伸状态。 在另外的实施例中，所述驱动部件还可以包括形成在所述支承板上的挡块，当所 述旋转板通过所述弹性部件回复时，所述挡块限制形成在所述旋转板上的所述突出部的旋 转范围。 在更进一步的实施例中，其中每个所述弹性部件的第一端都与相邻的一个所述突 出部连接，所述挡块可以形成在所述支承板上，以限定不与所述弹性部件接触的所述突出 部的旋转范围。 在更进一步的实施例中，所述卡紧销钉移动装置还可以包括接触保持部件，其中 所述接触保持部件旋转所述旋转板，以当所述卡紧销钉位于支撑位置时保持所述传动杆与 所述导向孔接触，且当所述卡紧销钉从支撑位置移动至等候位置时，所述接触保持部件可 移动至允许所述旋转板旋转的位置。 在更一步的实施例中，当所述支承板转动时，所述接触保持部件具有用于通过反 向离心力转动所述旋转板的形状。 在更一步的实施例中，所述接触保持部件可以包括第一突出部，所述第一突出部 从所述旋转板的圆周表面突出；和保持杆，所述保持杆安装在所述支承板上且通过反向离 心力旋转以接触所述第一突出部，其中所述保持杆包括中间部，所述中间部与所述支承板 连接以随所述支承板旋转；施压部，所述施压部从所述中间部向所述旋转板延伸且推动所 述第一突出部；和导向部，所述导向部从所述中间部在所述支承板的圆周方向上延伸。 在更一步的实施例中，所述导向部可以比所述施压部重，且所述导向部和所述施 压部之间的角度为钝角。 在更一步的实施例中，所述旋转板可以具有沿所述旋转板的径向突出的多个第二突出部，所述第二突出部的数目可以对应于所述驱动杆的数目，所述驱动杆可以分别安装 在所述第二突出部上，且所述驱动部件还可以包括设置在所述支承板上的挡块、以限制所 述第一突出部和第二突出部的旋转范围。 在更一步的实施例中，所述卡紧销钉移动装置还可以包括用于调整所述卡紧销钉 支撑位置的距离调整部件，所述距离调整部件可以包括传动轴，所述传动轴沿所述移动杆 的纵向与所述移动杆轴向对齐，所述传动轴可以具有与所述移动杆的第二端旋转连接的端 部、和具有螺纹的外圆周表面，所述导向装置可以包括第一本体，所述第一本体与所述传 动轴螺纹连接；和第二本体，所述第二本体连接至所述第一本体，且与所述移动杆可移动的 接触以防止所述第一本体相对于所述移动杆转动。 在更一步的实施例中，所述距离调整部件还可以包括固定装置，所述固定装置设 在所述传动轴的、以所述第一本体为基准的、且与所述移动杆相对的另一端，且与所述传动 轴螺纹连接。 在更一步的实施例中，所述卡紧销钉移动装置还可以包括导向部件，所述导向部 件安装在所述支承板上且弓I导所述移动杆沿第二方向移动。 在本专利技术的其它实施例中，所述旋转头包括支承板；卡紧销钉，所述卡紧销钉安 装在所述支承板上以支撑基板的外侧面；和卡紧销钉移动装置，所述卡紧销钉移动装置用 于沿第二方向移动所述卡紧销钉，所述第二方向不同与所述第一方向，所述第一方向为所 述支承板的径向。 在一些实施例中，所述卡紧销钉移动装置可以包括移动杆，所述移动杆长度方向 沿所述第二方向，且所本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种旋转头，包括：支承板；卡紧销钉，安装在所述支承板上，以支撑基板的外侧面；和卡紧销钉移动装置，用于沿第二方向移动所述卡紧销钉，所述第二方向垂直于从所述支承板的中心指向边缘的第一方向。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李泽烨，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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