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旋转头以及使用其夹住基板的方法技术
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下载旋转头以及使用其夹住基板的方法的技术资料
文档序号:4228930
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本发明提供了一种旋转头。卡紧销钉,安装在支承板上以支撑基板的外侧面,并沿与所述支承板的径向垂直的方向移动。在所述支承板旋转期间,施加在所述卡紧销钉的离心力作用被最小化,以便更稳定地支撑基板。...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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