形成图案的方法和制作电子元件的方法技术

一种用于稳定地形成微细且精确图案的方法以及用于制作电子元件的方法。该图案化方法包括通过用液体组合物涂覆第一板（１０）而形成导电膜（Ｄ）的步骤；通过将第二板（２０）压向第一板（１０）的形成有导电膜（Ｄ）的表面，将导电膜（Ｄ）的不需要的图案转印到第二板（２０）的凸起（２０ａ）的顶面以去除不需要的图案，从而在第一板（１０）上形成导电图案（Ｄ′）的第二步骤；以及通过将第一板（１０）的形成有导电图案（Ｄ′）的表面压向一基板的要被转印图案的表面来转印导电图案（Ｄ′）的步骤。假设第一板（１０）的要涂覆液体组合物的表面的表面张力由α表示，由最大气泡压力法测量的在１００ｍｓｅｃ时的液体组合物的动态表面张力由β表示，并且第二板（２０）的凸起（２０ａ）的顶面的表面张力由γ表示，液体组合物的成分或者第一板（１０）或第二板（２０）的表面材料设定为满足γ＞α≥β。还提供了一种制作电子元件的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。特别是，本专利技术涉 及形成导电图案的方法和采用该形成导电图案的方法制作电子元件的方法。
技术介绍
为了以低成本在玻璃基板或者塑料基板等上有效地形成微细且精确的图案，已经研究了各种方法。例如，已经公开了这样的印刷方法其中要被 印刷的树脂涂覆在所谓垫板(blanket)的第一板的整个表面上，该第一板的 表面涂覆有可分离性的硅橡胶，然后表面侧具有凸凹图案的第二板被按压在 第一板提供有树脂的表面侧上，以将树脂的不需要的图案转印(transfer)到 第二板凸起的顶面，由此去除不需要的图案，并且保留在第一板表面上的树 脂图案被转印到转印接收基板(例如，参考日本未审查专利申请公开No. 11-58921 )。在釆用该印刷方法形成微细且精确的图案时，必须使其中采用的液体组 合物保持液体组合物的适当特性，特别是在第 一板上涂覆液体组合物的步骤 和将液体组合物涂膜的不需要的图案从第一板转印到第二板的步骤中。首先，在第一板上涂覆液体组合物的步骤中，通常第一板的表面由具有 可分离性的材料形成，并且必须在该具有可分离性的表面上形成薄、光滑且 均勻的液体组合物涂膜。从而，必须适当控制液体组合物的表面张力。另外，在将液体组合物涂膜的不需要的图案从第一板转印到第二板的后 续步骤中，涂覆在第一板上的液体组合物涂膜必须以该图案形状保持原样地 被完全转印到要接触的第二板凸起的顶面。出于这样的目的，必须不仅制备 液体组合物而且设定第一板的表面或第二板的表面的材料，使得第二板凸起 的顶面对液体组合物涂膜的粘附性(adhesiveness )高于第一板的表面对液体 组合物涂膜的粘附性。为了处理这些技术问题，已经公开了用于精确图案化的墨水组合物的示 例，其中通过设定印刷中采用的墨水组合物(液体组合物)的粘度值(viscosity4value)和表面能值，使液体组合物的表面能规定为小于垫板(第一板)的表 面能(例如，参考日本未审查专利申请公开No. 2005-126608)。然而，日本未审查专利申请公开No. 2005-126608中规定的表面能是在 液体组合物处于静止状态时确定的值。在第一板的表面上涂覆液体组合物的 步骤中，进行涂覆液体组合物的运动，并且因此考虑运动时的规格是必要的。 因此，即使液体组合物的表面能规定为小于第一板的表面能，液体组合物涂 膜也不能可靠地形成在第一板上，并且会产生缺陷部分。从而，存在即使采 用上面所述的方法，也难于稳定地形成微细且精确的图案的问题。为了解决上述问题，本专利技术的目的是提供通过调整液体组合物的物理特 性而能稳定地形成微细且精确的图案的形成图案的方法和制作电子元件的 方法。
技术实现思路
为了达到上述目的，在本专利技术形成图案的方法中，依次进行下面的步骤。 首先，在第一步骤中，通过在第一板上涂覆液体组合物而形成液体组合物涂 膜。接下来，在第二步骤中，通过将表面侧具有凸凹图案的第二板按压到第 一板的形成有液体组合物涂膜的表面侧上，以将液体组合物涂膜的不需要的 图案转印到第二板的凸起的顶面，由此去除不需要的图案，从而在第一板上 形成图案。随后，在第三步骤中，通过将第一板的形成有图案的表面侧按压 到转印接收基板的表面上，将图案转印到转印接收基板的表面。这里，该方 法的特征在于，当第一板涂覆液体组合物的表面的表面张力由oc表示，由最 大气泡压力法测量的在100msec时的液体组合物的动态表面张力由P表示， 并且第二板的凸起的顶面的表面张力由Y表示时，制备液体组合物并且设定 第 一板或者第二板的表面的材料以满足，o^f3 。根据上述的形成图案的方法，当第 一板涂覆液体组合物表面的表面张力 由oc表示，由最大气泡压力法测量的在100msec时的液体组合物的动态表面 张力由P表示，并且第二板的凸起的顶面的表面张力由y表示时，满足^a上P。 从而，在第一步骤中，甚至在进行将液体组合物涂覆到第一板上的运动时， 通过规定为采用动态表面张力的上述公式，也可以在第一板上可靠地形成液 体组合物涂膜。另外，因为满足，a，所以在第二步骤中，在第一板上的液 体组合物涂膜的不需要的图案可以可靠地转印到第二板的凸起的顶面。此外，本专利技术中制作电子元件的方法的特征在于，形成图案的上述方法 应用于制作电子元件的方法。从而，液体组合物涂膜可以可靠地形成在第一 板上，并且在第 一板上的液体组合物涂膜的不需要的图案可以可靠地转印到 第二板的凸起的顶面。如上所述，根据本专利技术的形成图案的方法和采用该形成图案的方法的制 作电子元件的方法，可以在第一板上可靠地形成液体组合物涂膜，并且在第 一板上的液体组合物涂膜的不需要的图案可以可靠地转印到第二板的凸起 的顶面，并且因此可以形成微细且精确的图案。从而，通过印刷法可以形成 电子元件的微细电极图案，并且可以简化制作电子元件的工艺。附图说明图1包括图解根据本专利技术实施例制作电子元件的方法的制作工艺截面图 (部分1 )。图2包括图解根据本专利技术实施例制作电子元件的方法的制作工艺截面图 (部分2 )。具体实施方式现在，将在附图的基础上详细描述本专利技术的实施例。将采用制作包括底栅极/底接触型薄膜晶体管的电子元件的方法作为示 例，参考图1的制作工艺截面图描述根据本专利技术实施例的形成图案方法的示 例。在该实施例中，本专利技术的形成图案的方法应用于薄膜晶体管的源极/漏极 电极的形成。如图1 (a)所示，用作垫板的第一板10由包括玻璃基板11和例如提供 在玻璃基板11上的聚烯烃树脂层12的平板构成。例如，通过采用热压法的 热压结合，将聚烯烃树脂涂覆在玻璃基板11上而制备该第一板10，并且聚 烯烃树脂层12提供为使其表面侧平坦。这里，第一板IO在随后步骤中涂覆 液体组合物的表面的表面张力，即聚烯烃树脂层12的表面张力为30mN/m。此外，要涂覆在第一板10上的液体组合物包含溶质以及分散或者溶解 溶质的溶剂。这里，使用液体组合物，其中例如由银纳米颗粒构成的导电颗 粒分散在例如二曱苯(xylene)的有机溶剂中。另外，当第 一板10涂覆液体组合物的表面的表面张力由ot ( mN/m )表示，并且通过最大气泡压力法测量的在100msec时的液体组合物的动态表面 张力由P (mN/m)表示，上述液体组合物的成分或者第一板10的表面的材 料设定为满足a2(3。这里，最大气泡压力法是测量表面张力值的方法，其将由玻璃或者类似 物组成的毛细管浸在要测量的液体中，使得从毛细管的前端形成气泡，并且 在该气泡形成时读取从液体施加到气泡的压力。由该方法测量的表面张力值 称为"动态表面张力"，而由将铂板浸在测量液体中的传统方法测量得到的 表面张力值称为"静态表面张力"。本专利技术的专利技术人发现，当液体经受诸如 涂覆步骤的运动时，对于相对于固体的润湿性(wettability),动态表面张力 是重要的。此外，在通过表面张力规定液体的润湿性的情况下，液体组合物的粘度 优选为50mPa.s或者更低。其原因如下通过液体的粘度和表面张力规定液 体相对于固体的润湿性，并且当液体的粘度高于50mPa's时，粘度的作用增 强，且难于由表面张力规定润湿性。另外，该实施例的目标是形成膜厚度为 500nm或更小的导电图案D'。同样，考虑到这一点，液体组合物的粘度优选 是低的。因为液体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形成图案的方法，包括：　第一步骤，通过将液体组合物涂覆到第一板上而形成液体组合物涂膜；　第二步骤，通过将表面侧具有凸凹图案的第二板压到所述第一板的形成有所述液体组合物涂膜的表面侧，以将该液体组合物涂膜的不需要的图案转印到该第 二板的凸起的顶面，由此去除该不需要的图案，从而在该第一板上形成图案；以及　第三步骤，通过将所述第一板的形成有所述图案的表面侧压到转印接收基板的表面上，将所述图案转印到该转印接收基板的表面，　其特征在于，当所述第一板的涂覆所述液体 组合物的表面的表面张力由α表示，由最大气泡压力法测量的在１００ｍｓｅｃ时所述液体组合物的动态表面张力由β表示，并且所述第二板的凸起的顶面的表面张力由γ表示时，所述液体组合物的成分或者所述第一板或所述第二板的表面的材料设定为满足γ＞α≥β。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：福田敏生，野元章裕，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]