用在塑材上溅射金属中定位的夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具，该夹具用于将塑材工件在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位，塑材工件包括镀膜区和非镀膜区，该夹具包括上框、底座、遮蔽装置、真空离子减弱装置，底座上设置有用于将塑材工件定位在其上的定位装置，底座和上框上设置有相互配合作用的定位机构，该定位机构能对底座和上框之间进行定位；遮蔽装置用于对塑材工件的非镀膜区进行遮蔽，遮蔽装置的尺寸和位置与所述塑材工件上的非镀膜区尺寸和位置相对应；真空离子减弱装置用来减弱金属离子对塑材工件上的镀膜区的较薄弱易产生变形部位的溅射。其优点在于：塑材工件经本实用新型专利技术定位后进行溅射，能够快速、准确的获得织密稳定的沉积薄膜。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具，具体的说是一种 用于将塑材工件在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位的夹具。
技术介绍
塑材工件的金属镀膜采用真空溅射，真空溅射设备腔体内的磁控金属靶 材，经通电金属靶材外缘会产生大量的离子，通过惰性气体撞击金属靶材， 金属离子会溅射出来并在塑材工件上沉积成金属薄膜，这种产品的工艺中， 需要夹具来配合完成。现有传统技术中，利用数控机床或铣床加工技术，已 经有这种夹具的制作，但这种夹具经过真空溅射设备测试验证，不能在塑材 工件上获得织密稳定的薄膜，将进行再修改测试验证，甚至于报废夹具或塑 材工件，浪费时间、人力，而且生产效率低。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种用于将塑材工 件在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位的夹具。为解决以上技术问题，本技术采取的技术方案是 一种用在塑材上溅 射金属中定位的夹具，该夹具用于将塑材工件在进行真空溅射金属沉积薄膜工 艺中进行定位，所述的塑材工件包括镀膜区和非镀膜区，该夹具包括上框、底 座、遮蔽装置、真空离子减弱装置，所述的底座上设置有用于将塑材工件定位 在其上的定位装置，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具，该夹具用于将塑材工件（３）在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位，所述的塑材工件（３）包括镀膜区和非镀膜区，其特征在于：该夹具包括上框（１）、底座（２）、遮蔽装置、真空离子减弱装置，所述的底座（２）上设置有用于将所述的塑材工件（３）定位在其上的定位装置，所述的底座（２）和上框（１）上设置有相互配合作用的定位机构，该定位机构能对所述的底座（２）和上框（１）之间进行定位；所述的遮蔽装置用于对所述的塑材工件（３）的非镀膜区进行遮蔽，所述的遮蔽装置的尺寸和位置与所述塑材工件（３）上的非镀膜区的尺寸和位置相对应；所述的真空离子减弱装置用来减弱金属离子对所述的塑材工件...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林政乾，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，柏腾科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]