一种台车快速降温设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种台车快速降温设备，包括溅镀线体、升降机、冷却隧道、和冷却组件，所述溅镀线体包括缓冲腔体、转接腔体和镀区腔体；所述冷却隧道设置在溅镀线体的下方；所述升降机设置在溅镀线体的两个端头处，所述升降机对应的升起与落下高度，与缓冲腔体和冷却隧道的高度匹配；所述冷却组件通过风机连接管路接入冷却隧道中，所述溅镀线体和冷却隧道中均设置有用于运输产品台车的传送机构；采用本实用新型专利技术，隧道式罩体封闭，保证冷却过程的防尘防污的同时，可以增加风冷过程的风速，提高风冷效率，隐藏式设置在溅镀线体下方，也能减小线体的占地面积，解决生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种台车快速降温设备
本技术涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种台车快速降温设备。
技术介绍
连续式溅镀在长时间持续生产时，样品承载台车会持续被溅镀电浆气团所产生的热源加热，承载台车温度会逐渐升高，在温度到达一定程度时，台车及治具会因高温烫手，使产品出现热变形或人员烫伤的问题。现行处理方法为在台车出腔体进入台车回流线时，以电风扇架设在台车回送段进行降温。由于电风扇的瞬间风速不高，可架设区段有限，致使台车降温效果有限。同时在开放空间下，风扇容易将车间空气中漂浮的污染物吹送到台车或治具内，在下一次进真空腔体进行镀膜时，污染物会连带被带入腔体内，污染物于制程中可能影响产品良率，于抽气过程中也可能被真空泵抽入，长期累积下来容易导致真空泵转子的卡死。
技术实现思路
本技术目的是在于提供一种结构简单，隧道罩覆，防尘防污的降温设备。一种台车快速降温设备，包括溅镀线体、升降机、冷却隧道、和冷却组件，所述溅镀线体包括缓冲腔体、转接腔体和镀区腔体；所述冷却隧道设置在溅镀线体的下方；所述升降机设置在溅镀线体的两个端头处，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种台车快速降温设备，包括溅镀线体、升降机(1)、冷却隧道(6)、和冷却组件、其特征在于，所述溅镀线体包括缓冲腔体(3)、转接腔体(4)和镀区腔体(5)；所述冷却隧道(6)设置在溅镀线体的下方；所述升降机(1)设置在溅镀线体的两个端头处，所述升降机(1)对应的升起与落下高度，与缓冲腔体(3)和冷却隧道(6)的高度匹配；/n所述冷却组件通过风机连接管路(8)接入冷却隧道(6)中，所述溅镀线体和冷却隧道(6)中均设置有用于运输产品台车的传送机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种台车快速降温设备，包括溅镀线体、升降机(1)、冷却隧道(6)、和冷却组件、其特征在于，所述溅镀线体包括缓冲腔体(3)、转接腔体(4)和镀区腔体(5)；所述冷却隧道(6)设置在溅镀线体的下方；所述升降机(1)设置在溅镀线体的两个端头处，所述升降机(1)对应的升起与落下高度，与缓冲腔体(3)和冷却隧道(6)的高度匹配；
所述冷却组件通过风机连接管路(8)接入冷却隧道(6)中，所述溅镀线体和冷却隧道(6)中均设置有用于运输产品台车的传送机构。


2.根据权利要求1所述的一种台车快速降温设备，其特征在于，所述溅镀线体的缓冲腔体(3)之间和线体端部均设置有腔体闸门(2)。


3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴煜明，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32