一种真空加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空加热装置，包括：腔体、加热装置和超低温冷冻管路；所述腔体设置有滚轮，所述滚轮用于运送腔体内的台车以及工件；所述加热装置通过上盖板设置在腔体的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体内的工件；所述超低温冷冻管路通过管路固定架盘绕在腔体的两个内侧面；所述超低温冷冻管路与外界冷媒连通；采用本实用新型专利技术，运用IR加热灯管对工件表面进行微加热动作，经由轻微的表面热源使工件表面的水气能更快速的脱离工件，逸散到腔体内部空间，进而被真空泵抽除或是被超低温冷冻管路吸附，有效且快速的达到降低真空环境内以及工件表面水气的方法。

【技术实现步骤摘要】
一种真空加热装置
本技术涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空加热装置。
技术介绍
溅镀制程中为了提高镀膜质量，在镀膜过程会利用超低温水气吸附系统(Polycold)将水气作吸附，镀膜过程中的水气的主要来源有，来自于外部大气经由真空腔体经由工件或样品承台轮送时被含带进来；以及被镀工件长期在大气环境存放，表面所吸附的微量水气。被溅镀工件表面上的水气来源，主要是因为水气吸附在工件表面的微小孔洞上，或者因为材料本身就容易吸附水气。工件在真空负压环境下，水气会慢慢从物体表面释放出来，若没有特殊外力辅助，要使水气从工件表面有效被抽除，这个过程需要一定的时间才能达到。如果被镀工件有经过清洗/烘烤，那么更容易因干燥未完全，水气残留在结构缝隙内被带入到真空腔体之中，形成镀膜被氧化的来源。
技术实现思路
本技术目的是在于提供一种结构简单，节能环保，抽气效率高的真空抽气系统。一种真空加热装置，包括：腔体、加热装置和超低温冷冻管路；所述腔体设置有滚轮，所述滚轮用于运送腔体内的台车以及工件；所述加热装置通过上盖板设置在腔体的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体内的工件；所述超低温冷冻管路通过管路固定架盘绕在腔体的两个内侧面；所述超低温冷冻管路与外界冷媒连通。进一步的，所述加热装置包括IR加热模块安装座、IR加热灯管、孔梅花，镜面反射板和温度传感器；所述IR加热模块安装座固定安装在上盖板的下方，若干所述镜面反射板等间距安装在IR加热模块安装座内部，所述IR加热灯管安装在镜面反射板的间距内，所述上盖板的下边框内侧还设置有温度传感器。进一步的，所述IR加热灯管通过IR加热模块安装座悬空固定在真空腔体内部上方台车10-20cm处。进一步的，所述管路固定架由聚四氟乙烯，简写为PTFE的材质制成。进一步的，所述超低温冷冻管路所连通冷媒温度为零下140℃。本技术的有益效果是：在本技术的具体实施过程中，1.5KWIR加热灯管等间距并排方式固定在一个镜面反射板上，形成一个平面状照射模块，悬空固定安装在真空腔体内部的上方距离台车约为10～20cm的位置，照射方向朝向承载台车上；照射热源模块的侧面，上盖体的边框处，设置一个温度传感器搭配温控模块作为IR加热灯管的功率输出调节；超低温冷冻管路安装在腔体以管路固定架作为冷冻管路与腔体壁面之间的隔离与固定，以避免腔体低温冻结；加热装置安装于预备进镀膜区前至少1～2节腔体上，将水气及杂气在镀膜前就能有效去除；加热作动模式：当工件在放置承载台车上进入到IR照射区时，IR灯管10启动照射，照射时间依工件表面升温需求去设定秒数，一般为10～30秒之间。此时工件表面温度会上升使水气从工件表面释出，再经由超低温冷冻管路进行水气补捉；采用本技术，运用IR加热灯管对工件表面进行微加热动作，经由轻微的表面热源使工件表面的水气能更快速的脱离工件，逸散到腔体内部空间，进而被真空泵抽除或是被超低温冷冻管路吸附，有效且快速的降低内部真空环境以及工件表面上的水气。附图说明图1是本技术的部分结构隐藏示意图；图2是本技术的上盖板部分的仰视示意图；图3是本技术的整体结构示意图；附图标记：1-上盖板、2-腔体、3-滚轮、4-台车、5-工件、6-超低温冷冻管路、7-管路固定架、8-镜面反射板、9-IR加热模块安装座、10-IR加热灯管、11-温度探头。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参考图1-3，一种真空加热装置，包括：腔体2、加热装置和超低温冷冻管路6；所述腔体2设置有滚轮3，所述滚轮3用于运送腔体2内的台车4以及工件5；所述加热装置通过上盖板1设置在腔体2的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体2内的工件5；所述超低温冷冻管路6通过管路固定架7盘绕在腔体2的两个内侧面；所述超低温冷冻管路6与外界冷媒连通；所述加热装置包括IR加热模块安装座9、IR加热灯管10、孔梅花，镜面反射板8和温度传感器11；所述IR加热模块安装座9固定安装在上盖板1的下方，若干所述镜面反射板8等间距安装在IR加热模块安装座9内部，所述IR加热灯管10安装在镜面反射板8的间距内，所述上盖板1的下边框内侧还设置有温度传感器11；所述IR加热灯管10通过IR加热模块安装座9悬空固定在真空腔体2内部上方台车410-20cm处；所述管路固定架7由聚四氟乙烯，简写为PTFE的材质制成；所述超低温冷冻管路6所连通冷媒温度为零下140℃；在本技术的具体实施过程中，1.5KWIR加热灯管10等间距并排方式固定在一个镜面反射板8上，形成一个平面状照射模块，悬空固定安装在真空腔体2内部的上方距离台车4约为10～20cm的位置，照射方向朝向承载台车4上；照射热源模块的侧面，上盖体1的边框处，设置一个温度传感器11搭配温控模块作为IR加热灯管10的功率输出调节；超低温冷冻管路安装在腔体2以管路固定架7作为冷冻管路与腔体2壁面之间的隔离与固定，以避免腔体2低温冻结；加热装置安装于预备进镀膜区前至少1～2节腔体上，将水气及杂气在镀膜前就能有效去除；加热作动模式：当工件5在放置承载台车4上进入到IR照射区时，IR灯管10启动照射，照射时间依工件表面升温需求去设定秒数，一般为10～30秒之间。此时工件5表面温度会上升使水气从工件表面释出，再经由超低温冷冻管路6进行水气补捉；采用本技术，运用IR加热灯管10对工件5表面进行微加热动作，经由轻微的表面热源使工件表面的水气能更快速的脱离工件，逸散到腔体2内部空间，进而被真空泵抽除或是被超低温冷冻管路6吸附，有效且快速的降低内部真空环境以及工件5表面上的水气。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本专利技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本专利技术的精神所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空加热装置，其特征在于，包括：腔体(2)、加热装置和超低温冷冻管路(6)；/n所述腔体(2)设置有滚轮(3)，所述滚轮(3)用于运送腔体(2)内的台车(4)以及工件(5)；所述加热装置通过上盖板(1)设置在腔体(2)的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体(2)内的工件(5)；所述超低温冷冻管路(6)通过管路固定架(7)盘绕在腔体(2)的两个内侧面；所述超低温冷冻管路(6)与外界冷媒连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空加热装置，其特征在于，包括：腔体(2)、加热装置和超低温冷冻管路(6)；
所述腔体(2)设置有滚轮(3)，所述滚轮(3)用于运送腔体(2)内的台车(4)以及工件(5)；所述加热装置通过上盖板(1)设置在腔体(2)的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体(2)内的工件(5)；所述超低温冷冻管路(6)通过管路固定架(7)盘绕在腔体(2)的两个内侧面；所述超低温冷冻管路(6)与外界冷媒连通。


2.根据权利要求1所述的一种真空加热装置，其特征在于，所述加热装置包括IR加热模块安装座(9)、IR加热灯管(10)、孔梅花，镜面反射板(8)和温度传感器(11)；所述IR加热模块安装座(9)固定安装在上盖板(1)的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴煜明，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32