一种活动式电浆处理电极制造技术

本实用新型专利技术涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种活动式电浆处理电极，包括：腔体盖板、真空腔体、磁铁组、传送滚轮、导电台车、滑触集电器和上电极；本实用新型专利技术的实际使用中，上电极固定在真空腔体的内腔壁顶端，导电台车为下电极，下电极便于更与与维修；当导电台车运动到预定位置，与滑触集电器接触导通，通电后的导电台车作为下电极，产品放置于导电台车上，强化了下部电极的解离能力，并在传送滚轮和磁铁组之间形成磁场，进一步利用磁力磁感线引导电子与离子回旋，增加碰撞几率，提高电浆离子密度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种活动式电浆处理电极


[0001]本技术涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种活动式电浆处理电极。

技术介绍

[0002]电浆表面处理须在真空腔体内通入适当的反应气体，使用气体多为氧气、氮气等。被处理产品放置在二电极之中，采中立电位模式放置。在适当的真空度压力下，制程气体经过二电极的高压电场激发形成电浆离子气团，解离出的氧体离子、电子及自由基会与产品表面上的有机物或产品本身进行反应结合，使有机物被分解或在产品表面形成亲水基或改变产品表面成份的化学键结，有利于后制程的接着，直接表现的特征为纯水接触角变得极低。
[0003]现有的电浆处理的上下电极均为固定式，不仅两个电极更换与维护较为麻烦，并且工件底部的处理效果不理想，有待提高。

技术实现思路

[0004]本技术目的是在于提供一种活动式下电极、维护更换便利，产品表面处理效果提高的方案。
[0005]一种活动式电浆处理电极，包括：腔体盖板、真空腔体、磁铁组、传送滚轮、导电台车、滑触集电器和上电极；
[0006]所述腔体盖板安装在真空腔体外部，所述真空腔体的外侧壁上设置有真空气孔，真空腔体的内腔底部上固定设置有若干磁铁组，所述磁铁组之间的间隔距离一定，所述传送滚轮架设在真空腔体中，且位于磁铁组的间隙中，高度高于磁铁组；所述导电台车架设在传送滚轮上，与其滚动接触；所述滑触集电器设置在最外侧的传送滚轮旁；当导电台车到达到达设定位置，与滑触集电器接触；所述上电极固定设置在真空腔体的内腔壁顶端。
[0007]进一步的，所述上电极为水冷电机。
[0008]进一步的，所述滑触集电器和导电台车的接触方式为滚动式接触。
[0009]进一步的，所述滑触集电器和导电台车的接触方式碳刷式压紧连接。
[0010]进一步的，所述上电极与导电台车相距60mm。
[0011]本技术的有益效果是：
[0012]本技术设置有管夹组件和固定螺母，分体式的管夹组件设有夹孔便于使得管道穿过，柜体开设有柜体开孔便于管夹组件1的下封圈顺利通过，下封圈伸入柜体内部后，有固定螺母固定，固定螺母开设有螺母开口，固定螺母通过螺母开口，将管道穿入，并配合管夹组件的下封圈，进行旋紧密封；
[0013]本技术的实际使用中，真空电浆处理工艺下，需要上下电极写作，上电极固定在真空腔体的内腔壁顶端，导电台车为下电极，导电台车与传送滚轮滚动接触，由传送滚轮进行滚动，承载传送；当导电台车运动到预定位置，与滑触集电器接触导通，开始工作时，由真空气孔向腔体内部通入氩气与氧气，进行电浆处理，通电后的导电台车作为下电极，产品
放置于导电台车上，强化了下部电极的解离能力，并在传送滚轮和磁铁组之间形成磁场，进一步利用磁力磁感线引导电子与离子回旋，增加碰撞几率，提高电浆离子密度。
附图说明
[0014]图1是本技术的整体结构正视示意图；
[0015]图2是本技术的整体结构侧视示意图；
[0016]附图标记：1-腔体盖板、2-真空腔体、21-真空气孔、3-磁铁组、4-传送滚轮、5-导电台车、6-产品、7-滑触集电器、8-上电极。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]参考图1-2，一种活动式电浆处理电极，包括：腔体盖板1、真空腔体2、磁铁组3、传送滚轮4、导电台车5、滑触集电器7和上电极8；
[0019]所述腔体盖板1安装在真空腔体2外部，所述真空腔体2的外侧壁上设置有真空气孔21，真空腔体2的内腔底部上固定设置有若干磁铁组3，所述磁铁组3之间的间隔距离一定，所述传送滚轮4架设在真空腔体2中，且位于磁铁组3的间隙中，高度高于磁铁组3；所述导电台车5架设在传送滚轮4上，与其滚动接触；所述滑触集电器7设置在最外侧的传送滚轮4旁；当导电台车5到达到达设定位置，与滑触集电器7接触；所述上电极8固定设置在真空腔体2的内腔壁顶端。
[0020]本技术的实际使用中，真空电浆处理工艺下，需要上下电极写作，上电极8固定在真空腔体2的内腔壁顶端，导电台车5为下电极，导电台车5与传送滚轮4滚动接触，由传送滚轮4进行滚动，承载传送；当导电台车5运动到预定位置，与滑触集电器7接触导通，开始工作时，由真空气孔21向腔体内部通入氩气与氧气，进行电浆处理，通电后的导电台车5作为下电极，产品6放置于导电台车5上，强化了下部电极的解离能力，并在传送滚轮4和磁铁组3之间形成磁场，进一步利用磁力磁感线引导电子与离子回旋，增加碰撞几率，提高电浆离子密度。
[0021]参考图1-2，一种活动式电浆处理电极，进一步的，所述上电极8为水冷电极。
[0022]本实施例中，进一步的，所述滑触集电器7和导电台车5的接触方式为滚动式接触。
[0023]本实施例中，进一步的，所述滑触集电器7和导电台车5的接触方式碳刷式压紧连接。
[0024]本实施例中，进一步的，所述上电极8与导电台车5相距60mm。
[0025]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本专利技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本专利技术的精神所定义的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种活动式电浆处理电极，其特征在于，包括：腔体盖板(1)、真空腔体(2)、磁铁组(3)、传送滚轮(4)、导电台车(5)、滑触集电器(7)和上电极(8)；所述腔体盖板(1)安装在真空腔体(2)外部，所述真空腔体(2)的外侧壁上设置有真空气孔(21)，真空腔体(2)的内腔底部上固定设置有若干磁铁组(3)，所述磁铁组(3)之间的间隔距离一定，所述传送滚轮(4)架设在真空腔体(2)中，且位于磁铁组(3)的间隙中，高度高于磁铁组(3)；所述导电台车(5)架设在传送滚轮(4)上，与其滚动接触；所述滑触集电器(7)设置在最外侧的传送滚轮(4)旁；当导电台车...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴煜明，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：