一种变频节能真空抽气系统技术方案

本实用新型专利技术涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；采用本实用新型专利技术，选用一套中型干式泵组加一套小型干式泵组的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制，形成一套智能化控制具变频节能的真空抽气系统，并且整体结构简单，设计与改装成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种变频节能真空抽气系统
本技术涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统。
技术介绍
连续式真空溅镀线采用多段式抽气减压方式，使工件从大气环境下进入到适合镀膜的真空环境。在中型(或大型)连续式真空溅镀线的设计中，入料段真空腔体的抽气泵配置，经常以多套中型(或大型)排气量干式泵+鲁式泵建置(以下简称干式泵组)，采用同时启动及停止(或部份停止)作为真空抽气手段。多段式减压的概念为，当前段腔体内真空压力值与相邻腔体能达到相近时，此时二腔体之间的压力差变小，隔断闸门可以有效开启而不会造成腔体内部的压力波动，压力波动愈小，对腔体内部设置的真空元件，例真空计/真空泵较不易造成冲击导致损坏，甚至是工件的飘移或散落。入料段腔体提任大气与初段真空的衔接工作，所使用的真空泵系统通常会设计以较大排气量的规格。以因应在入料初期有效且快速的抽除空气，将压力下降到合适阶段，使工件得以快速进入下一腔体。此时的真空泵系统在运转的设定，多以全速且长时间工作为原则，基本上开线后就保持全速运转，即使在等待入料或生产空档时，都不作停机休息，相对在电能消耗上占有很大比例处于浪费。
技术实现思路
本技术目的是在于提供一种结构简单，节能环保，抽气效率高的真空抽气系统。一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体和载入腔体的两侧均设置有腔体抽气分流管，所述中型干式泵组设置于载入腔体的一侧，所述小型干式泵组设置于载入腔体的另一侧，所述中型干式泵组和小型干式泵组均通过干式泵抽气连接弯管和干式泵抽气连接管接入腔体抽气分流管；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；所述腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组和涡轮分子泵均与控制器信号连接。进一步的，所述涡轮分子泵和腔体抽气分流管之间还设置有涡轮分子泵用闸阀。进一步的，所述中型干式泵组一侧的干式泵抽气连接管上设置有中型干式泵用直角阀。进一步的，所述小型干式泵租一侧的干式泵抽气连接管上设置有小型干式泵用直角阀。进一步的，所述载入腔体和缓冲腔体中均设置有真空计。进一步的，所述缓冲腔体和载入腔体的外形尺寸相同且内部气体通路连贯。本技术的有益效果是：在本技术的具体实施过程中，当初始抽气时，涡轮分子泵用闸阀为关闭状态，涡轮分子泵为启动状态，中型干式泵用直角阀和小型干式泵用直角阀开启，中型干式泵组及小型干式泵组同时启动工作，此时的真空抽气量为二套真空泵组排气量规格的最大值，此时的用电也会是最高；当腔体配套真空计侦测压力来到9E-1Torr时，中型干式泵组对应的中型干式泵用直角阀会自动关闭并降频运转，小型干式泵组的抽气管路上的主抽小型干式泵用直角阀关闭，连接涡轮分子泵的涡轮分子泵用闸阀开启，切换成涡轮分子泵进行载入腔体的抽气工作，此时由于涡轮分子泵的大排气量接手快速的抽除腔体内的空气，同时由于涡轮分子泵的低能耗，使得整体抽气过程中的电能消耗得以大幅度的下降；采用本技术，选用一套中型干式泵组加一套小型干式泵组的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制，形成一套智能化控制具变频节能的真空抽气系统，并且整体结构简单，设计与改装成本低。附图说明图1是本技术的整体结构示意图；图2是本技术的俯视示意图；附图标记：1-腔体闸门、2-缓冲腔体、3-载入腔体、4-中型干式泵用直角阀、5-腔体抽气分流管、6-中型干式泵组、7-干式泵抽气连接管、8-干式泵抽气连接弯管、9-小型干式泵组、10-涡轮分子泵前级管、11-涡轮分子泵、12-涡轮分子泵前级直角阀、13-涡轮分子泵用闸阀、14-小型干式泵用直角阀。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参考图1-2，一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体2、载入腔体3、腔体闸门1、中型干式泵组6、小型干式泵组9、涡轮分子泵11和控制器；所述缓冲腔体2和载入腔体3连接，并且由腔体闸门1进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体2和载入腔体3的两侧均设置有腔体抽气分流管5，所述中型干式泵组6设置于载入腔体3的一侧，所述小型干式泵组9设置于载入腔体3的另一侧，所述中型干式泵组6和小型干式泵组9均通过干式泵抽气连接弯管8和干式泵抽气连接管7接入腔体抽气分流管5；所述缓冲腔体2两侧和小型干式泵组9连接的腔体抽气分流管5上连接涡轮分子泵11；所述腔体闸门1、中型干式泵组6、小型干式泵组9和涡轮分子泵11均与控制器信号连接；所述涡轮分子泵11和腔体抽气分流管5之间还设置有涡轮分子泵用闸阀13；所述中型干式泵组6一侧的干式泵抽气连接管7上设置有中型干式泵用直角阀4；所述小型干式泵组9一侧的干式泵抽气连接管7上设置有小型干式泵用直角阀14；所述载入腔体3和缓冲腔体2中均设置有真空计；在本技术的具体实施过程中，当初始抽气时，涡轮分子泵用闸阀13为关闭状态，涡轮分子泵11为启动状态，中型干式泵用直角阀4和小型干式泵用直角阀14开启，中型干式泵组6及小型干式泵组9同时启动工作，此时的真空抽气量为二套真空泵组排气量规格的最大值，此时的用电也会是最高；当腔体配套真空计侦测压力来到9E-1Torr时，中型干式泵组6对应的中型干式泵用直角阀4会自动关闭并降频运转，小型干式泵组9的抽气管路上的主抽小型干式泵用直角阀14关闭，连接涡轮分子泵11的涡轮分子泵用闸阀13开启，切换成涡轮分子泵11进行载入腔体3的抽气工作，此时由于涡轮分子泵11的大排气量接手快速的抽除腔体内的空气，同时由于涡轮分子泵11的低能耗，使得整体抽气过程中的电能消耗得以大幅度的下降；采用本技术，选用一套中型干式泵组6加一套小型干式泵组9的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵11作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制，形成一套智能化控制具变频节能的真空抽气系统，并且整体结构简单，设计与改装成本低。本实施例中，参考图1-2，一种变频节能真空抽气系统，进一步的，所述缓冲腔体2和载入腔体3的外形尺寸相同且内部气体通路连贯。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本专利技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本专利技术的精神所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，包括缓冲腔体(2)、载入腔体(3)、腔体闸门(1)、中型干式泵组(6)、小型干式泵组(9)、涡轮分子泵(11)和控制器；/n所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)连接，并且由腔体闸门(1)进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)的两侧均设置有腔体抽气分流管(5)，所述中型干式泵组(6)设置于载入腔体(3)的一侧，所述小型干式泵组(9)设置于载入腔体(3)的另一侧，所述中型干式泵组(6)和小型干式泵组(9)均通过干式泵抽气连接弯管(8)和干式泵抽气连接管(7)接入腔体抽气分流管(5)；所述缓冲腔体(2)两侧和小型干式泵组(9)连接的腔体抽气分流管(5)上连接涡轮分子泵(11)；/n所述腔体闸门(1)、中型干式泵组(6)、小型干式泵组(9)和涡轮分子泵(11)均与控制器信号连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，包括缓冲腔体(2)、载入腔体(3)、腔体闸门(1)、中型干式泵组(6)、小型干式泵组(9)、涡轮分子泵(11)和控制器；
所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)连接，并且由腔体闸门(1)进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)的两侧均设置有腔体抽气分流管(5)，所述中型干式泵组(6)设置于载入腔体(3)的一侧，所述小型干式泵组(9)设置于载入腔体(3)的另一侧，所述中型干式泵组(6)和小型干式泵组(9)均通过干式泵抽气连接弯管(8)和干式泵抽气连接管(7)接入腔体抽气分流管(5)；所述缓冲腔体(2)两侧和小型干式泵组(9)连接的腔体抽气分流管(5)上连接涡轮分子泵(11)；
所述腔体闸门(1)、中型干式泵组(6)、小型干式泵组(9)和涡轮分子泵(11)均与控制器信号连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：吴煜明，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32