一种用于剥离膜系统的真空抽速装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，包括分子泵、角阀、三通接头、四通接头、微调阀和粗抽泵；所述分子泵的进气端连接剥离膜系统，分子泵的出气端连接三通接头的第一接口，三通接头的第二接口连接角阀的一个接口，角阀的另一个接口连接四通接头的第一接口，四通接头的第二接口连接粗抽泵；三通接头的第三接口连接微调阀的一个接口，微调阀的另一个接口连接四通接头的第三接口，四通接头的第四接口上连接有截止阀。该装置通过角阀和微调阀配合控制真空抽速，有效缩短工作时间，方便控制和调节，同时可降低对操作人员经验的依赖，防止抽真空，及停机检修时造成剥离膜系统损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种用于剥离膜系统的真空抽速装置
本技术属于真空
，具体涉及一种用于剥离膜系统的真空抽速装置。
技术介绍
HIMM是我国第一台具有自主知识产权的碳离子治疗设备，其主体部分包括一台等时性回旋注入器，一台加速能量可至400Mev的同步加速器，以及5个治疗终端。其中，剥离膜系统是同步加速器的重要组成部分，主要用于向主加速器剥离注入C5+离子。剥离膜选用碳膜，膜厚15μg/cm2（约0.1μm），由于其材质为脆性材料，且厚度非常薄，轻微的震动都可能造成膜的破裂。剥离膜系统需要在5×10-7Pa的超高真空环境下工作，因此需要真空获得设备将剥离膜系统抽成真空。在获得真空的初始阶段，气体流动会造成剥离膜扰动，为确保剥离膜的状态完好，要将气体流动速度限制在一定范围。并且在获得真空的不同阶段，剥离膜系统对抽速的需求不同。现有真空抽速设备存在的问题：1.对工作人员的操作要求高，容错率低在现有技术条件下，真空抽速的控制主要依靠操作人员对角阀的开合度大小来调节，该过程需要对真空设备操作十分熟练。操作稍有不慎，就会导致剥离膜因气流扰本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，其特征在于，包括分子泵（3）、角阀（5）、三通接头（4）、四通接头（6）、微调阀（7）和粗抽泵；/n所述分子泵（3）的进气端连接剥离膜系统（1），分子泵（3）的出气端连接三通接头（4）的第一接口，三通接头（4）的第二接口连接角阀（5）的一个接口，角阀（5）的另一个接口连接四通接头（6）的第一接口，四通接头（6）的第二接口连接粗抽泵；三通接头（4）的第三接口连接微调阀（7）的一个接口，微调阀（7）的另一个接口连接四通接头（6）的第三接口，四通接头（6）的第四接口上连接有截止阀（8）。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，其特征在于，包括分子泵（3）、角阀（5）、三通接头（4）、四通接头（6）、微调阀（7）和粗抽泵；
所述分子泵（3）的进气端连接剥离膜系统（1），分子泵（3）的出气端连接三通接头（4）的第一接口，三通接头（4）的第二接口连接角阀（5）的一个接口，角阀（5）的另一个接口连接四通接头（6）的第一接口，四通接头（6）的第二接口连接粗抽泵；三通接头（4）的第三接口连接微调阀（7）的一个接口，微调阀（7）的另一个接口连接四通接头（6）的第三接口，四通接头（6）的第四接口上连接有截止阀（8）。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张剑，柴振，蒙峻，罗成，
申请(专利权)人：兰州科近泰基新技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：甘肃;62